VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксия процесі кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.
Негізгі өнімдер болып табыладыTaC қапталған бағыттаушы сақина, CVD TaC қапталған үш жапырақты бағыттаушы сақина, Тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал, Тантал карбиді қаптама сақинасы, Тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабынының айналу сенсоры, Тантал карбиді сақинасы, TaC жабынының айналмалы тақтасы, TaC қапталған вафельді сенсор, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабыны, TaC қапталған патронт.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.
TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:
Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.
Негізгі мүмкіндіктер:
●Температураның тұрақтылығы
●Ультра жоғары тазалық
●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі
●Жылу қорына төзімділік
●Графитке күшті адгезия
●Конформды жабу
● Диаметрі 750 мм-ге дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)
Қолданбалар:
●Вафельді тасымалдаушы
● Индуктивті қыздыру қабылдағыш
● Резистивті қыздыру элементі
●Спутниктік диск
●Душ басы
●Бағыттаушы сақина
●LED Epi қабылдағыш
●Инъекцияға арналған саптама
●Маска сақинасы
● Жылу қалқаны
Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:
VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:
|
TaC жабынының физикалық қасиеттері
|
|
Тығыздығы
|
14,3 (г/см³)
|
|
Меншікті эмиссия
|
0.3
|
|
Термиялық кеңею коэффициенті
|
6.3 10-6/Қ
|
|
Қаттылық (HK)
|
2000 HK
|
|
Қарсылық
|
1×10-5Ом*см
|
|
Термиялық тұрақтылық
|
<2500℃
|
|
Графит өлшемі өзгереді
|
-10~-20ум
|
|
Қаптау қалыңдығы
|
≥20um типтік мән (35um±10um)
|
TaC жабыны EDX деректері：
TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:
|
Элемент
|
Атомдық пайыз
|
|
|
Пт. 1
|
Пт. 2
|
Пт. 3
|
Орташа
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
М
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
