VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксистік процесс кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды дамыту арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.
Негізгі өнімдер: TaC жабыны бар бағыттаушы сақина, CVD TaC жабыны бар үш жапырақты бағыттаушы сақина, тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабынымен жабатын планетарлық SiC эпитаксистік жабындық, тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабыны бар R Rotation Coating, TantaC Coating R Rotation Coating Пластина, TaC қапталған вафли қабылдағыш, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабын қақпағы, TaC қапталған патрон және т.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарына жауап бере алады.
TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:
Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C-қа дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC SiC эпитаксисінің cPVT әдісі сияқты жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестеріне тартымды балама етеді.
Негізгі мүмкіндіктер
● Термиялық соққыға тамаша төзімділікпен 2500°C дейін температураның тұрақтылығы.
● Өте жоғары тазалық (<5ppm) және бөлшектердің аз болуы үшін графитке күшті адгезия.
● Қатаң технологиялық орталарда H₂, NH₃, SiH₄ және Si буларына жоғары төзімділік.
● Диаметрі 750 мм-ге дейінгі өлшемді сыйымдылығы бар конформды жабынды жабу, Қытайда бірегей.
Өнімнің сипаттамасы
VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:
| TaC жабынының физикалық қасиеттері |
| Тығыздығы |
14,3 г/см³ |
| Қаттылық |
2000 HK |
| Термиялық кеңею |
6,3×10⁻⁶/К |
| Қарсылық |
1×10⁻⁵ Ом·см |
| Термиялық тұрақтылық |
<2500°C |
| Қаптау қалыңдығы |
≥20μm (әдеттегі 35±10μm) |
микроскопиялық көлденең қимадағы карбидті (TaC) жабын:
TaC жабыны EDX деректері:
TaC жабынының кристалдық құрылымы туралы деректер:
| Элемент |
Атомдық пайыз |
|
|
Пт. 1 |
Пт. 2 |
Пт. 3 |
Орташа |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Та М |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Қолданбалар
Жартылай өткізгіш процестердің әртүрлі қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін VeTek мақсатты тантал карбиді жабыны өнімдерін ұсынады. Төмендегі кесте оларды негізгі қолдану аймақтары бойынша жіктейді, типтік компоненттерді және қолданылатын процестерді тізімдейді:
| Қолданба өрісі |
Типтік өнімдер |
Қолданба сипаттамасы |
| SiC эпитаксисі |
CVD TaC қапталған планеталық сенсор,TaC қапталған вафельді сенсор,TaC қапталған бағыттаушы сақина
|
Жоғары термиялық тұрақтылықты және пленка біркелкілігін қамтамасыз ету үшін төмен ластану интерфейсін қамтамасыз ететін жоғары температуралы SiC эпитаксиалды процестеріне (мысалы, LPE әдісі) қолайлы. |
| GaN / LED эпитаксисі (MOCVD) |
Душ басы, спутниктік диск, маска сақинасы, жылу қалқаны, инъекцияға арналған саптама |
Aixtron MOCVD жүйелеріне жарамды, H₂/NH₃ коррозиясына төзімді, бөлшектердің ластануын азайтады және жарық диодты эпитаксиалды шығымдылығын арттырады. |
| SiC Crystal Growth (PVT әдісі) |
TaC қапталған кеуекті графит,TaC қапталған жарты ай,бағыттаушы сақина,жабу,чак
|
PVT SiC құймасының өсуінде қолданылады, 2500°C дейін төзімді, графит реакцияларының алдын алады және кристалдық тазалықты қамтамасыз етеді. |
| Жоғары температурадағы жылыту және қолдау компоненттері |
Индуктивті қыздыру қабылдағыш,резистивті қыздыру элементі, пластинаны тасымалдаушы
|
Индукциялық немесе резистивті қыздыру жүйелеріне жарамды, жоғары қаттылық пен термиялық соққыға төзімділік береді, құрамдас бөліктердің қызмет ету мерзімін 3-5 есе ұзартады. |
Толығырақ процесті сәйкестендіру шешімдерін қараңызКремний карбиді эпитаксисіқатысты қолданба беті.
Біз тұтынушы талаптарына негізделген теңшелген қызметтерді қолдаймыз. Жақсы сапа бақылауымен ISO9001 өтті.
Қосымша кеңес алу үшін бізге хабарласуға немесе хабарлама қалдыруға қош келдіңіз
