Өнімдер

Тантал карбиді жабыны

VeTek жартылай өткізгіші - жартылай өткізгіш өнеркәсібіне арналған тантал карбиді жабыны материалдарының жетекші өндірушісі. Біздің негізгі өнім ұсыныстарымызға CVD тантал карбиді жабын бөліктері, SiC кристалының өсуіне арналған агломерацияланған TaC жабын бөліктері немесе жартылай өткізгіш эпитаксия процесі кіреді. ISO9001 стандартынан өткен VeTek Semiconductor сапаны жақсы басқарады. VeTek Semiconductor компаниясы үздіксіз зерттеулер мен итеративті технологияларды әзірлеу арқылы тантал карбиді жабыны өнеркәсібінде жаңашыл болуға арналған.


Негізгі өнімдер болып табыладыTaC қапталған бағыттаушы сақина, CVD TaC қапталған үш жапырақты бағыттаушы сақина, Тантал карбиді TaC қапталған жарты ай, CVD TaC жабыны планеталық SiC эпитаксиалды сезімтал, Тантал карбиді қаптама сақинасы, Тантал карбидімен қапталған кеуекті графит, TaC жабынының айналу сенсоры, Тантал карбиді сақинасы, TaC жабынының айналмалы тақтасы, TaC қапталған вафельді сенсор, TaC қапталған дефлектор сақинасы, CVD TaC жабыны, TaC қапталған патронт.б., тазалығы 5 ppm төмен, тұтынушы талаптарын қанағаттандыра алады.


TaC жабыны графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады. Артықшылығы төмендегі суретте көрсетілген:


Excellent properties of TaC coating graphite


Тантал карбиді (TaC) жабыны 3880°C дейінгі жоғары балқу температурасы, тамаша механикалық беріктігі, қаттылығы және термиялық соққыларға төзімділігі арқасында назар аударды, бұл оны жоғары температура талаптары бар құрама жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерге тартымды балама етеді, Aixtron MOCVD жүйесі және LPE SiC эпитаксия процесі сияқты. Ол сонымен қатар PVT әдісінде SiC кристалының өсу процесінде кеңінен қолданылады.


Негізгі мүмкіндіктер:

 ●Температураның тұрақтылығы

 ●Ультра жоғары тазалық

 ●H2, NH3, SiH4,Si төзімділігі

 ●Жылу қорына төзімділік

 ●Графитке күшті адгезия

 ●Конформды жабу

 Диаметрі 750 мм-ге дейін (Қытайдағы жалғыз өндіруші бұл өлшемге жетеді)


Қолданбалар:

 ●Вафельді тасымалдаушы

 ● Индуктивті қыздыру қабылдағыш

 ● Резистивті қыздыру элементі

 ●Спутниктік диск

 ●Душ басы

 ●Бағыттаушы сақина

 ●LED Epi қабылдағыш

 ●Инъекцияға арналған саптама

 ●Маска сақинасы

 ● Жылу қалқаны


Микроскопиялық көлденең қимадағы тантал карбиді (TaC) жабыны:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek жартылай өткізгіш тантал карбиді жабынының параметрі:

TaC жабынының физикалық қасиеттері
Тығыздығы 14,3 (г/см³)
Меншікті эмиссия 0.3
Термиялық кеңею коэффициенті 6.3 10-6
Қаттылық (HK) 2000 HK
Қарсылық 1×10-5Ом*см
Термиялық тұрақтылық <2500℃
Графит өлшемі өзгереді -10~-20ум
Қаптау қалыңдығы ≥20um типтік мән (35um±10um)


TaC жабыны EDX деректері

EDX data of TaC coating


TaC жабынының кристалдық құрылымының деректері:

Элемент Атомдық пайыз
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Орташа
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
SIC-тің жалғыз кристалының ПВТ-ның өсуі үшін TAC жабынды сақинасы

SIC-тің жалғыз кристалының ПВТ-ның өсуі үшін TAC жабынды сақинасы

Қытайда TAC жабық өнім жеткізушілерінің бірі ретінде Ветек Жартылай өткізгіш клиенттерге жоғары сапалы TAC жабыны бар бөлшектерін бере алады. SIC-тің жалғыз кристаллының PVT-дің байлауы үшін TAC қапталған сақинасы - Ветек жартылай өткізгіштің ең танымал және жетілген өнімдерінің бірі. Ол PVT CRIC процесінің PVT өсуінде маңызды рөл атқарады және клиенттерге сапалы SIC кристалдарын өсіруге көмектеседі. Сіздің сұрағыңызды күтеміз.
CVD TAC үш жапыраққа бағытталған сақина

CVD TAC үш жапыраққа бағытталған сақина

Ветек жартылайдюсторы көптеген жылдар бойы технологиялық дамуды бастан өткерді және CVD TAC жабынының жетекші технологиялық технологиясын игерді. CVD TAC-мен қапталған үш жапырақшалы бағыттағыш сақинасы - Vetek жартылай өткізгіштің ең піскен CVD-дің квдақ, Pvt әдісімен SIC кристалдарын дайындаудың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Ветек жартылай өткізгіштің көмегімен, мен сіздің SIC кристалды өндірісі тегіс және тиімдірек болады деп санаймын.
Тантал көмірсутегі жабыны сақинасы

Тантал көмірсутегі жабыны сақинасы

Ветек жартылай өткізгіш тантал көмірсутек жабыны сақинасы - жартылай өткізгіш өнеркәсіпте, арнайы SIC Wafers-тің ажырамас құрамдас бөлігі. Оның графит негізі мен TAC жабынының үйлесімі жоғары температуралы және химиялық агрессивті ортада жоғары өнімділікті қамтамасыз етеді. Жақсартылған жылу тұрақтылығы, коррозияға қарсы тұрақтылықпен және механикалық беріктікпен тантал карбидімен қапталған сақиналар жартылай өткізгіш өндірушілердің өндірістік процестеріне дәл, сенімділікке және жоғары сапалы нәтижелерге қол жеткізуге көмектеседі.
TaC жабу сақинасы

TaC жабу сақинасы

TAC жабыны сақинасы - бұл жартылай өткізгіш процестерде пайдалануға арналған жоғары өнімді компонент, ветек жартылай өткізгіштер TAC SEMINTOSTOR TAC CORMINUST RING Жоғары жылулық тұрақтылығы бар, химиялық коррозияға төзімділік және өте жақсы механикалық беріктікке ие және арнайы процестер кезінде СИК вафаларын ұстау және қолдау үшін қолданылады. Нақтырақ бақылау мен беріктік жоғары сапалы вафлиге қол жеткізу үшін қажет. Біз сіздің одан әрі кеңестеріңізді күтеміз.
TAC жабыны

TAC жабыны

Кәсіби қондырғы ретінде, Қытайдағы ең жақсы жеткізуші және өндіруші ретінде Ветек Жартылай өткізгіштің TAC жабыны ретінде кристалды көміртекті, жартылай өткізгіштердің жақсы термиялық тұрақтылығымен, көрнекті химиялық тұрақтылығы мен коррозияға қарсы тұрақтылығымен алмастырылмайтын рөл атқарады. Әрі қарайғы сұрағыңызбен құттықтаймыз.
Tantalum Carbide жабдығы

Tantalum Carbide жабдығы

Қытай жетекші TAC жабатын бағыттағыштар ретінде сақина жеткізушісі және өндіруші, Ветек Жартылай өткізгіш тантал кәрі-камерасы ПВТ (физикалық бу көлігі) әдісі бойынша реактивті газдардың ағынын басқару және оңтайландыру үшін қолданылатын маңызды компонент. Бұл газ ағынының таралуын және жылдамдығын реттеу арқылы өсу аймағында SIC бірыңғай кристалдарының біркелкі тұндыруына ықпал етеді. Ветек жартылайстағы - Қытайдағы және тіпті әлемдегі TAC жабыны сақиналарының жетекші өндірушісі және жеткізушісі және біз сіздің кеңестеріңізді күтеміз.
Кәсіби Тантал карбиді жабыны өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept