TaC қапталған графит вафли сақинасы

Негізгі техникалық артықшылықтар

• Ерекше химиялық төзімділік: 1200°C және 2000°C аралығындағы температурада қатал газдарға (H₂, NH₃, HCl) төтеп беру үшін әзірленген.

• Термиялық кеңею сәйкестігі: Біздің меншікті CVD процессіміз TaC жабынының жылдам термиялық цикл кезінде пиллинг немесе крекингке жол бермей, графит субстратымен оңтайландырылған CTE (жылулық кеңею коэффициенті) сәйкестігін қамтамасыз етеді.

• Бөлшектерді жоғары бақылау: Кеуекті графитті толығымен тығыздау арқылы TaC қабаты бөлшектердің төгілуін болдырмайды, бұл пластинаның өнімділігін тікелей арттырады және реактордың тоқтап қалу уақытын азайтады.

• Ұзартылған қызмет мерзімі: Қайталанатын тазалау циклдарына төтеп беретін тозуға төзімді бет, қапталмаған немесе SiC жабыны бар баламалармен салыстырғанда айтарлықтай төмен иелену құнын (CoO) ұсынады.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбиді (TaC) жабыны

TaC қапталған графитті вафли сақинасының өнім параметрі

Неліктен біздің TaC қақпақ сақиналарын таңдау керек?

Біз жартылай өткізгіштерді өндіруде сенімділік табыстылыққа тең екенін түсінеміз. Біздің TaC қапталған графит вафли сақиналары жабынның тығыздығы мен тазалығы үшін пакеттік сынақтан өткен. Сіз 6 дюймдік пластинка өндірісінен 8 дюймдік пластинка өндірісіне ауысасыз ба немесе жоғары температуралы MOCVD процесін оңтайландырасыз ба, біздің сақиналар әлемдік деңгейдегі эпитаксия үшін қажетті термиялық және химиялық қорғанысты қамтамасыз етеді.