Тотығу және диффузиялық пеш

Тотығу және диффузиялық пештер әртүрлі өрістерде жартылай өткізгіш құрылғылар, дискретті құрылғылар, оптоэлектрондық құрылғылар, электронды құрылғылар, күн батареялары және кең ауқымды интегралды тізбектелген өндіріс. Олар процестер үшін пайдаланылады, оның ішінде диффузия, тотығу, тазарту, легирлеу және вафлиді біріктіру.

Ветек жартылайдюсторы - бұл жоғары тазалық графит, кремний карбиді және кварцтың тотығу және диффузиялық пештерде мамандандырылған жетекші өндіруші. Біз жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндірістер үшін жоғары сапалы пештің компоненттерін ұсынуға міндеттіміз және квд-СИК, CVD-TAC, PIROcarbon және т.б. сияқты беттік жабын технологиясының алдыңғы қатарында.

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

● Жоғары температураға төзімділік (1600 ℃ дейін)

● Тамаша жылу өткізгіштік және жылу тұрақтылығы

● Жақсы химиялық коррозияға төзімділік

● Жылу кеңеюінің төмен коэффициенті

● Жоғары күш пен қаттылық

● ұзақ қызмет ету мерзімі

Жоғары температуралы және коррозиялық газдардың болуына байланысты тотығу және диффузиялық пештерде көптеген компоненттер жоғары температуралы және коррозияға төзімді материалдарды қолдануды талап етеді, олардың ішінде кремний карбиді (SIC) жиі қолданылатын таңдау болып табылады. Тотығу пештерінде және диффузиялық пештерде кездесетін жалпы кремний карбиді компоненттері бар:

● вафли қайық

Силикон Карбид Вафли Кофер - бұл жоғары температураға төтеп бере алатын және кремний вафкестеріне әсер ете алатын кремнийді төгетін контейнер.

● Пеш түтігі

Пештің түтігі - кремнийді вафлиді орналастыру және реакция ортасын басқару үшін қолданылатын диффузиялық пештің негізгі компоненті болып табылады. Кремний карбиди пештік түтіктері жоғары температуралы және коррозияға төзімділігі бар.

● табақша

Пеш ішіндегі ауа ағынын және температураның таралуын реттеу үшін қолданылады

● Термопара қорғау түтігі

Температураны өлшеу үшін термопараларды коррозиялық газдармен тікелей байланыстырудан қорғау үшін қолданылады.

● Cantilevere

Силикон Карбид-Карбидтер асханалар жоғары температураға және коррозияға төзімді және кремнийдік вафлиді кремнийді вафлиді таратылатын кремнийді қайықтарды тарату үшін қолданылады.

● Газ инжекторы

Пешке реакция газын енгізу үшін қолданылады, ол жоғары температура мен коррозияға төзімді болуы керек.

● Қайық тасымалдаушы

Кремний карбид вафли-вафли тасымалы кремнийді вафлиді жөндеу және қолдау үшін қолданылады, олар жоғары беріктігі, коррозияға төзімділік және жақсы құрылымдық тұрақтылық сияқты артықшылықтары бар кремнийді вафлиді бекіту және қолдау үшін қолданылады.

● Пеш есігі

Кремний карбиді жабындары немесе компоненттері пеш есігінің ішкі жағында да қолданылуы мүмкін.

● Қыздыру элементі

Кремний карбид қыздыру элементтері жоғары температураға, жоғары қуатқа, жоғары қуатқа жарамды және температураны 1000-нан асады.

● SIC LINER

Пеш түтіктерінің ішкі қабырғасын қорғау үшін қолданылады, ол жылу энергиясының жоғалуын азайтуға және жоғары температура мен жоғары қысым сияқты қатал ортаға төтеп бере алады.

View as

Кремний карбиді робот қолы

Біздің кремний карбидіміз (SIC) Роботты қолмен жоғары деңгейдегі жартылай өткізгіштер өндірісінде жоғары сапалы вафлиге арналған. Жоғары тазалық кремний карбидінен жасалған, бұл роботты қару таза температураға, плазмалық коррозияға, плазмалық коррозияға және химиялық шабуылға ерекше төзімділікті ұсынады, таза залалдан бастап, таза залалдан тұрады. Оның ерекше механикалық беріктігі мен өлшемді тұрақтылығы ластану қаупін азайтып, оны MOCVD, эпитакси, ион имплантациясы және басқа да маңызды вафлиге арналған ең жақсы таңдау жасау үшін дәл вафлиді пайдалануға мүмкіндік береді. Біз сіздің сұрақтарыңызды құптаймыз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Карбидтің сик-вафирлі қайықтары

Veteksemicon SIC вафли-қайықтары жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары температуралық процестерде кеңінен қолданылады, бұл теріні тотығу, диффузиялық және кремнийге негізделген интегралды схемалар үшін пайдалы тасымалдаушы ретінде қызмет етеді. Сондай-ақ, олар SIC және GAN энергетикалық құрылғыларына арналған эпитаксиальды өсу (ЭПИ) және металл-органикалық химиялық бумен (MOCVD) және металл-органикалық химиялық булар (MOCVD) үшін өте қолайлы үшінші буынды жартылай өткізгіш секторында Excel-ді ұсынады. Сондай-ақ, олар фотоэлектрлік өнеркәсіптегі жоғары тиімділігі жоғары күн жасушаларының жоғары температуралы өндірісін қолдайды. Сіздің одан әрі кеңесіңізді күтеміз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Sic Cantilevervever

Ветексемикон SIC Cantilever Жанғыштар - бұл горизонтальды диффузиялық пештерде және эпитаксиальды реакторларда вафлиге арналған кремнийді карбидке арналған жоғары тазалық. Ерекше жылу өткізгіштік, коррозияға қарсы тұрақтылықпен және механикалық беріктікпен, бұл төсектер жартылай өткізгіш орталарда тұрақтылық пен тазалықты қамтамасыз етеді. Жеке өлшемдерде қол жетімді және ұзақ қызмет ету мерзімі үшін оңтайландырылған.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Sic Ceramics мембранасы

Ветексемикон SIC керамикасы мембраналары - бұл бейорганикалық мембрананың түрі және мембраналық бөлу технологиясындағы қатты мембраналық материалдарға жатады. SIC мембраналары 2000-нан жоғары температурада жұмыстан шығарылады. Бөлшектердің беті тегіс және дөңгелек. Қолдау қабатында және әр қабатта жабық тесіктер немесе арналар жоқ. Олар әдетте әр түрлі тері тесігі бар үш қабаттан тұрады.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Кеуекті сиктік керамикалық табақ

Біздің кеуекті Sic Cericals - бұл арнайы компонент ретінде кремний карбидінен жасалған кеуекті керамикалық материалдар, арнайы процестермен өңделген. Олар жартылай өткізгіштерді, химиялық бумен тұндыру (CVD) және басқа процестердегі бөлшектелген материалдар.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

СИК керамикасы вафли қайықтары

Ветек жартылайдюсторы - SIC-тің Quer Ceramics Waper Baffer жеткізушісі, Қытайда өндіруші және зауыт. Біздің SIC керамикасы вафли қайық - бұл вафлидің алдыңғы қатарлы процестеріндегі, фотоэлектрлік, электроникаға, және жартылай өткізгіштік салалардағы маңызды компонент. Сіздің кеңесіңізді күтеміз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Кәсіби Тотығу және диффузиялық пеш өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Тотығу және диффузиялық пеш

Ветек жартылай өткізгіш кремний карбид компоненттерінің артықшылықтары:

Кремний карбиді робот қолы

Карбидтің сик-вафирлі қайықтары

Sic Cantilevervever

Sic Ceramics мембранасы

Кеуекті сиктік керамикалық табақ

СИК керамикасы вафли қайықтары

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай