Кремний карбиді (SiC) керамикалық вафельді қайық дегеніміз не?

Жартылай өткізгішті жоғары температуралық процестерде пластиналарды өңдеу, тіреу және термиялық өңдеу арнайы тірек құрамдас бөлікке - вафельді қайыққа сүйенеді. Процесс температурасы көтеріліп, тазалық пен бөлшектерді бақылау талаптары артқан сайын, дәстүрлі кварц пластинкалы қайықтар бірте-бірте қысқа қызмет ету мерзімі, жоғары деформация жылдамдығы және нашар коррозияға төзімділік сияқты мәселелерді анықтайды.Кремний карбиді (SiC) керамикалық вафельді қайықтаросы контексте пайда болды және жоғары сапалы термиялық өңдеу жабдықтарының негізгі тасымалдаушысы болды.

Кремний карбиді (SiC) - жоғары қаттылықты, жоғары жылу өткізгіштігін және тамаша химиялық тұрақтылықты біріктіретін инженерлік керамикалық материал. Жоғары температурада агломерациялау нәтижесінде пайда болған SiC керамикалары тек жоғары термиялық соққыға төзімділік танытып қана қоймайды, сонымен қатар тотықтырғыш және коррозиялық ортада тұрақты құрылым мен өлшемді сақтайды. Нәтижесінде, вафельді қайық пішінінде дайындалған кезде ол диффузия, жасыту және тотығу сияқты жоғары температуралық процестерді сенімді түрде қолдай алады, бұл оны әсіресе 1100 ° C жоғары температурада жұмыс істейтін жылу процестеріне қолайлы етеді.

Вафельді қайықтардың құрылымы әдетте бір уақытта ондаған немесе тіпті жүздеген пластиналарды ұстауға қабілетті көпқабатты, параллельді тор конфигурациясымен жасалған. SiC керамикасының термиялық кеңею коэффициенттерін басқарудағы артықшылықтары оларды жоғары температурада көтерілу және төмендеу процестері кезінде термиялық деформацияға немесе микрокрекингке бейімділігін азайтады. Сонымен қатар, металл қоспаларының құрамын қатаң бақылауға болады, бұл жоғары температурада ластану қаупін айтарлықтай төмендетеді. Бұл оларды қуат құрылғыларын, SiC MOSFETs, MEMS және басқа өнімдерді өндіру сияқты тазалыққа өте сезімтал процестерге өте қолайлы етеді.

Дәстүрлі кварцты вафельді қайықтармен салыстырғанда, кремний карбидті керамикалық вафельді қайықтар әдетте жоғары температурада, жиі термиялық цикл жағдайында қызмет ету мерзімі 3-5 есе ұзағырақ болады. Олардың жоғары қаттылығы және деформацияға төзімділігі вафлиді неғұрлым тұрақты теңестіруге мүмкіндік береді, бұл кірісті жақсартуға көмектеседі. Ең бастысы, SiC материалдары жиі қыздыру және салқындату циклдері кезінде минималды өлшемдік өзгерістерді сақтайды, пластинаның жиектерінің қиыршықталуын немесе вафельді қайықтың деформациясынан туындаған бөлшектердің төгілуін азайтады.

Өндіріс тұрғысынан кремний карбидті вафельді қайықтар әдетте реакциялық агломерация (RBSiC), тығыз агломерация (SSiC) немесе қысыммен агломерациялау арқылы шығарылады. Кейбір жоғары сапалы өнімдер сонымен қатар вафли деңгейіндегі дәлдік талаптарын қанағаттандыру үшін дәл CNC өңдеуді және бетті жылтыратуды пайдаланады. Әртүрлі өндірушілер арасындағы формуланы бақылау, қоспаларды басқару және агломерациялау процестеріндегі техникалық айырмашылықтар вафельді қайықтардың соңғы өнімділігіне тікелей әсер етеді.

Өнеркәсіптік қосымшаларда кремний карбиді керамикалық вафельді қайықтар бірте-бірте термиялық өңдеу процестерінде, дәстүрлі кремний құрылғыларынан үшінші буын жартылай өткізгіш материалдарға дейін жоғары деңгейлі жабдық өндірушілері үшін таңдаулы таңдауға айналады. Олар тік құбырлы пештер және көлденең тотығу пештері сияқты әртүрлі термиялық өңдеу жабдықтары үшін жарамды болып қана қоймайды, сонымен қатар олардың жоғары температурада, жоғары коррозиялық ортада тұрақты жұмыс істеуі процестің консистенциясы мен жабдықтың сыйымдылығына күшті кепілдік береді.

Кремний карбидті керамикалық вафельді қайықтарды бірте-бірте танымал ету жартылай өткізгіш жабдықтардың негізгі тірек компоненттеріне енетін озық керамикалық материалдардың жеделдеуін көрсетеді. Дәстүрлі кварцтық материалдармен салыстырғанда, олардың жоғары температура тұрақтылығындағы, құрылымдық қаттылықтағы және термиялық шаршауға төзімділіктегі артықшылықтары жоғары температура мен қатаң процесс терезелерінің үздіксіз эволюциясы үшін сенімді материалдық негізді қамтамасыз етеді. Қазіргі уақытта 6-дюймдік және 8-дюймдік кремний карбидті керамикалық вафельді қайықтар жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі энергетикалық құрылғыларды жаппай өндірісте термиялық өңдеу процестерінде кеңінен қолданылады. 12 дюймдік спецификация бірте-бірте жоғары деңгейлі процестерге және жетілдірілген өндірістік желілерге енгізіліп, жабдық пен материалды ынтымақтастықтың келесі кезеңі үшін маңызды бағытқа айналады. Сонымен қатар, 2-4 дюймдік вафельді қайықтар зерттеу платформаларында және жарықдиодты субстратты өңдеу және процесті тексеру сияқты нақты процесс сценарийлерінде рөл атқаруды жалғастыруда. Кремний карбидті керамикалық вафельді қайықтар тұрақтылық, өлшемді бақылау және вафли сыйымдылығы бойынша үлкен артықшылықтарды көрсетеді, бұл керамикалық материалдар технологиясының үздіксіз эволюциясын басқарады.