Жоғары тазалық SIC вафлиді қайық тасымалдаушысы

Ветексеми Биік тазалығы СИК вафли тасымалы - бұл өндірістік пештерде, диффузиялық пештерде және жартылай өткізгішті өндіріс кезінде басқа да жабдықтарда қолданылатын маңызды мойынтірек компоненті. Жоғары тазалық СӨП вафли тасымалы әдетте кремний карбидінің жоғары тазалығыдан жасалған және негізінен келесі бөлшектерді қамтиды:

• Қаймақты қолдау органы: арнайы тасымалдау үшін қолданылатын кронштейнге ұқсас құрылымкремний вафлилерінемесе басқа жартылай өткізгіш материалдар.

• Қолдау құрылымы: Оның қолдау құрылымының дизайны жоғары температурада ауыр жүктемелерді көтеруге мүмкіндік береді және жоғары температуралы өңдеу кезінде деформация немесе зақымдамайды.

Кремний карбиді материалы

Физикалық қасиеттеріҚайта кристалданған кремний карбиді：

Егер өндірістік процеске қойылатын талаптар жоғары болса,CVD SIC жабынытазалықты 99,99995%-дан жоғары етіп, оның жоғары температураға төзімділігін одан әрі жақсарту үшін жоғары тазалықтағы SiC вафельді қайық тасымалдаушысында орындауға болады.

CVD-дің негізгі физикалық қасиеттері:

Жоғары температурада өңдеу кезінде жоғары тазалықтағы SiC вафельді қайық тасымалдаушысы жергілікті қызып кетуді болдырмау үшін кремний пластинасын біркелкі қыздыруға мүмкіндік береді. Сонымен қатар, кремний карбиді материалының жоғары температураға төзімділігі оның құрылымдық тұрақтылығын 1200 ° C немесе одан да жоғары температурада сақтауға мүмкіндік береді.

Диффузия немесе тазарту процесінде, асқабақ, аспан вафли-вафлидің жоғары сапалы тасымалдаушысы бірге жұмыс істейді. ТаCantilevereСИК-ті баяу итермелейді, кремний вафлиін кремний вафлиін пештің камерасына алып, өңдеуге арналған белгіленген позицияда тоқтайды. 

Жоғары тазалық Quare Wafer Carrier кремний вафлиімен байланысады және жылу өңдеу процесінде белгілі бір жағдайға ие, ал мысаққа арналған өңдеу процесі кезінде белгілі бір қалыпта бекітілген, ал температураның біркелкілігін қамтамасыз ету кезінде бүкіл құрылымды дұрыс күйде ұстауға көмектеседі.

Жоғары Тазалық за вафли тасымалы және асқабақ айдыны жоғары температура процесінің дәлдігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін цанттық жастықпен жұмыс істейді.

VeTek жартылай өткізгішсізге қажеттіліктеріңізге сәйкес теңшелген жоғары таза SiC вафельді қайық тасымалдағышын ұсынады. Сіздің сұрауыңызды күтеміз.

VeTek жартылай өткізгішЖоғары тазалық SIC вафлиді қайық тасымалдаушы дүкендер: