Силикон карбид эпитаксиі

Жоғары сапалы кремний карбидінің эпитаксиін дайындау озық технологиялар мен жабдықтар мен жабдықтарға арналған аксессуарларға байланысты. Қазіргі уақытта ең көп қолданылатын кремний карбидінің эпитаксиді өсу әдісі - химиялық будың тұнбасы (CVD). Оның эпитаксиальды қабатының қалыңдығы мен допинг концентрациясын, азауды, орташа өсу қарқынын, процестерді автоматты басқарудың және т.б. нақты бақылаудың артықшылығы бар. Және коммерциялық түрде сәтті қолданылған сенімді технология.

Силикон Карбид Карбидінің епитаксиі, әдетте, ыстық қабырға немесе жылы қабырға жабдықтарын қабылдайды, бұл инфекциялық ауа ағындарының, ыстық қабырға немесе жылы қабырға, ыстық қабырға, ыстық қабырға, Ынт қабырға, реакция камерасы, реакция камерасына және тік құрылымдық реакторға бөлінеді.

SIC эпитаксилі пешінің сапасына үш негізгі көрсеткіш бар, бірінші болып эпитаксиалды өсу өнімділігі, оның ішінде қалыңдығы біркелкілік, допинг, ақаулар және өсу қарқыны; Екіншісі - бұл жабдықтың температуралық өнімділігі, оның ішінде жылыту / салқындату жылдамдығы, максималды температура, температура біркелкі; Соңында, жабдықтың өзіндік құны, оның ішінде бір блоктың бағасы мен сыйымдылығы.

Силикон карбидінің үш түрі эпитаксиальды өсу пеші және негізгі аксессуарлар айырмашылықтары

Ыстық қабырға көлденең CVD (LPE компаниясының типтік моделі), жылы қабырға планетарлық CVD (AIXTRON G5WWWC / G10) және квази-ыстық қабырға CVD (Nuflare компаниясының EPIREVOS6) және осы кезеңдегі коммерциялық қосымшаларда жүзеге асырылған негізгі эпитаксиалды жабдық. Үш техникалық құрылғы да өз сипаттамалары бар және оларды сұранысқа сәйкес таңдауға болады. Олардың құрылымы келесідей көрсетілген:

Тиісті негізгі компоненттер келесідей:

(a) Ыстық қабырға көлденең типтегі типтегі типтегі жартысы - жарты градус бөліктері тұрады

Төменгі оқшаулау

Негізгі оқшаулау

Жоғарғы жартыжылдық

Жоғарыдан оқшаулау

Өтпелі бөлік 2

Өтпелі бөлік 1

Сыртқы ауа саптамасы

Сноркель

Сыртқы аргон газ саптамасы

Аргон газ саптамасы

Вафли тірек тақтасы

Ортаңғы түйреуіш

Орталық гвардия

Төменгі ағымдағы қорғаныс қақпағы

Төменгі оң қорғаныс қақпағы

Сол жақ қорғаныс қақпағын

Жоғары сапалы қорғаныс қақпағы

Бүйір қабырға

Графит сақинасы

Қорғаныс киіз

Қолдаушы киіз

Байланыс блогы

Газды шығатын цилиндр

(b) жылы қабырға планетарлық түрі

SIC жабыны планетарлық дискісі және TAC Planety Disk

(c) квази-термиялық қабырға

Nuflare (Жапония): Бұл компания өндірістің өнімділігін арттыруға ықпал ететін қос камералық тік пештер ұсынады. Жабдық эпитаксиальды біркелкілік үшін өте пайдалы, бұл минутына 1000-ға дейін революцияға дейін жылдам айналу ерекшеліктерімен ерекшеленеді. Сонымен қатар, оның ауа ағынының бағыты басқа жабдықтардан, тігінен төмен, сондықтан бөлшектердің пайда болуын азайтып, бөлшектердің ұрпақтарын азайтады және вафлиге түсетін бөлшек тамшыларының ықтималдығын азайтады. Біз осы жабдыққа арналған SIC-тегі графит компоненттерін береміз.

SIC Epitaxial жабдықтарының компоненттері ретінде Ветек жартылайдеттемесі ретінде SIC эпитаксиінің сәтті жүзеге асырылуын қолдау үшін клиенттерге сапалы жабын компоненттерін беруге дайын.

View as

Кремний карбиді жабыны вафли ұстағыш

Ветексемиконның вафлиді иесі кремний карбидінің вафли ұстаушысы, мысалы, MOCVD, LPCVD және жоғары температуралы тазарту сияқты жартылай өткізгіш процестердегі дәл және өнімділік үшін жобаланған. Бірыңғай CVD CIT жабынымен, бұл вафлидің иесі ерекше жылу өткізгіштік, химиялық инерстік және механикалық беріктігін қамтамасыз етеді - ластану, ақысыз, жоғары өнімді вафлиді өңдеу үшін қажет.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

CVD SIC ҚОСЫМША ҚАТЫСТЫ СУСЕРЦИЯ

Ветексемиконның CVD-дің вафли-экспенкцепторы - бұл ультра жоғары тазалық (≤100ppb, ICP-e10 сертификатталған) және ган, СИК, силиконға негізделген эпи-қабаттардың ластануына төзімді жылу / химиялық тұрақтылықты және ерекше жылу / химиялық тұрақтылықты білдіреді. Дәлдік CVD технологиясымен жобаланған, ол 6 «/ 8» / 12 »вафлиді қолдайды, минималды термиялық стрессті қамтамасыз етеді және 1600 ° C-қа дейін температураға төтеп береді.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Эпитакси үшін SIC жабылған жабынды сақина

Эпитаксиге арналған SIC жабылған герметикалық сақинасы графитке немесе көміртекті композиттерге негізделген, ол графиттің термиялық тұрақтылығымен (CIT) негізіндегі герметикалық композиттер (CIT), ол графиттің термиялық тұрақтылығымен (SIC) және жартылай өткізгіштің эпитаксикалық жабдықтарына арналған (мысалы, моквд, Мбе).

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Жалғыз вафли Эпи графиті

Ветексемиконның жалғыз вафли-графиті гипиц қабылдауы жоғары өнімді кремний карбидіне (SIC), галлий нитриді (gan) және басқа үшінші буынның жартылай өткізгішті эпитаксиальды процедураларына арналған, және жаппай өндірістегі жоғары дәлдіктегі эпитаксиалды парақтың құрамдас бөлігі.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

CVD SIC Fockus Ring

Ветек Жартылай өткізгіш - жетекші отандық отандық өндіруші және Жартылай өткізгіш өнеркәсіптің жоғары өнімді, жоғары сапалы, жоғары сапалы шешімдерін ұсынуға арналған жетекші отандық өндіруші және жеткізуші. Ветек Жартылай өткізгіштің CVD-ші CVD-дегі SIC-ке арналған сақиналар, жетілдірілген химиялық бумен тұндыру (CVD) технологиясын қолданады, жоғары температураға төзімділікке ие, коррозияға төзімділік және жылу өткізгіштік, және жартылай өткізгіштер процестерінде кеңінен қолданылады. Сіздің сұраныстарыңыз әрқашан қош келдіңіз.

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Aixtron G5 + Төбелік компонент

Ветек жартылай өткізгіштері жоғары өңдеу мүмкіндіктері бар көптеген Mocvd жабдықтарына арналған шығын материалдарын жеткізуші болды. Aixtron G5 + Ceibron компоненті - біздің Aixtron компонентінің түпнұсқалық құрамымен бірдей және клиенттерден жақсы пікірлер алған соңғы өнімдеріміздің бірі. Егер сізге осындай өнімдер қажет болса, Vetek жартылай өткізгішке хабарласыңыз!

Қосымша көру >> Сұрау жіберу >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Кәсіби Силикон карбид эпитаксиі өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
anny@veteksemi.com
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

Веб-мәзір

Өнім іздеу

Тіл

Мәзірден шығу

Силикон карбид эпитаксиі

Силикон карбидінің үш түрі эпитаксиальды өсу пеші және негізгі аксессуарлар айырмашылықтары

Тиісті негізгі компоненттер келесідей:

(a) Ыстық қабырға көлденең типтегі типтегі типтегі жартысы - жарты градус бөліктері тұрады

(b) жылы қабырға планетарлық түрі

(c) квази-термиялық қабырға

Кремний карбиді жабыны вафли ұстағыш

CVD SIC ҚОСЫМША ҚАТЫСТЫ СУСЕРЦИЯ

Эпитакси үшін SIC жабылған жабынды сақина

Жалғыз вафли Эпи графиті

CVD SIC Fockus Ring

Aixtron G5 + Төбелік компонент

Сұрау жіберу

QR коды

Біз туралы

Өнімдер

Бізбен хабарласыңы

Телефон

Факс

Электрондық пошта

Мекенжай