Жалғыз вафли Эпи графиті

Сипаттама:

Жалғыз вафли Графиттің графиті гипиттері жоғары температуралы графит субстратын, графит сақинасы және басқа керек-жарақтарының жиынтығын қамтиды, бұл жоғары температуралық графит, химиялық жабын, химиялық инерция және жылу өрісінің біркелкілігін ескереді. Бұл жаппай өндірістегі жоғары дәлдіктегі эпитаксиалды парақтың негізгі мойынтірек компоненті.

Материалдық инновациялар: графит + SIC жабыны

Графигі

● Ультра жоғары жылу өткізгіштік (> 130 Вт / м / м), технологиялық тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін температураны бақылауға қойылатын талаптарға тез жауап беру.

● Төмен жылу кеңейту коэффициенті (CTE: 4,6 × 10⁻⁶ / ° C), жоғары температуралы деформацияны азайтыңыз, қызмет көрсету мерзімі.

CVD SIC жабыны

● Коррозияға төзімділік. H₂, HCL және SIH₄ сияқты реакция газдарымен шабуылға қарсы тұрыңыз. Бұл эпитаксиальды қабаттың негізгі материалды төсеуімен ластамайды.

● Беттік тығыздау: Қаптау кеуектілігі 0,1% -дан аз, бұл графит пен вафли арасындағы байланысқа кедергі келтіреді және көміртегі қоспаларының диффузиясына жол бермейді.

● Жоғары температуралы толеранттылық: 1600 ° C-тан жоғары қоршаған ортадағы ұзақ мерзімді тұрақты жұмыс, SIC эпитаксиінің жоғары температуралы сұранысына бейімделген.

Жылу алаңы және ауа ағынын оңтайландыру дизайны

Біркелкі жылу сәулелену құрылымы

Сусепторлық беті бірнеше жылулық шағылысу ойықтарымен жасалған, және ASM құрылғысының жылу өрісін басқару жүйесі ± 1,5 ° C (6 дюймдік вафли, 8 дюймдік вафли), эпитаксиальды қабаттың қалыңдығының дәйектілігі мен біркелкілігін қамтамасыз етеді (тербеліс).

Әуе рульдік техникасы

Жиісті диверсиялық тесіктер және көлбеу тіректер бағандары вафли бетіне реакция газының ламинар ағынын оңтайландыруға арналған, EDDY токтарынан туындаған тұндыру жылдамдығының айырмашылығын азайту және допингтің біркелкілігін арттыру.