Өнімдер

Ветексемиконның кеуекті Sic Ceramich Cheric Cuck - дәл және бөлшектерсіз вакуумдық платформа, мысалы, ион имплантациясы, CMP және инспекция сияқты алдыңғы жартылай өткізгіш процестерде қауіпсіз және бөлшексіз вакуумдық платформа. Жоғары тазалықта кеуекті кремний карбидінен жасалған, ол керемет жылу өткізгіштік, химиялық тұрақтылық және механикалық беріктік ұсынады. Тік ыдыстары мен өлшемдерімен VetekSemicon Технологиялық за вафлиді өңдеу орталарының қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы шешімдер жеткізеді.

Біздің кварц Вафли қайықтары - бұл жартылай өткізгіш, жарықдиодты, күн батареяларына және аккумулятор өндірісінің процестеріне арналған жоғары сапалы вафли ерітіндісі. Жоғары температура мен химиялық агрессивті орталарға төзімді, бұл кварциялық қайық аз жылу кеңеюі, керемет электр оқшаулау және ұзақ мерзімді өлшемді тұрақтылықпен ерекшеленеді. Диффузиялық, тотығу және LPCVD процестері үшін өте ыңғайлы, ол вафлиді теңестіруді қолдайды және әр түрлі мөлшерде әр түрлі мөлшерде қол жетімді.

Ветексемикон SIC Cantilever Жанғыштар - бұл горизонтальды диффузиялық пештерде және эпитаксиальды реакторларда вафлиге арналған кремнийді карбидке арналған жоғары тазалық. Ерекше жылу өткізгіштік, коррозияға қарсы тұрақтылықпен және механикалық беріктікпен, бұл төсектер жартылай өткізгіш орталарда тұрақтылық пен тазалықты қамтамасыз етеді. Жеке өлшемдерде қол жетімді және ұзақ қызмет ету мерзімі үшін оңтайландырылған.

Ветексемиконның ӘЖК блогы кремний мен сапфир вафлидерінің жоғары тиімділігі мен жұқаруына арналған. Тамаша жылу өткізгіштікпен (≥120 Вт / м / м / м / м / м / м.) Өлшемдермен 120 мм-ден 480 мм-ге дейін, жеке өндіріс қажеттіліктеріне сәйкес келетін және жылдам жеткізу мүмкіндігі бар.

Ветексемиконның вафлиді иесі кремний карбидінің вафли ұстаушысы, мысалы, MOCVD, LPCVD және жоғары температуралы тазарту сияқты жартылай өткізгіш процестердегі дәл және өнімділік үшін жобаланған. Бірыңғай CVD CIT жабынымен, бұл вафлидің иесі ерекше жылу өткізгіштік, химиялық инерстік және механикалық беріктігін қамтамасыз етеді - ластану, ақысыз, жоғары өнімді вафлиді өңдеу үшін қажет.

Ветексемикон, жартылай өткізгіштер үшін арнайы жасалған, арнайы жабдықталған жабдықтар, ерекше коррозияға қарсы тұрақтылық пен жылу тұрақтылығы үшін арнайы жасалған жоғары тазалық