Өнімдер

VETEK CVD кремний карбиді (SiC) қапталған графит RTP RTA тасымалдаушысы жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын жылдам термиялық өңдеу (RTP) және жылдам термиялық күйдіру (RTA) жүйелеріне арналған. Тығыз CVD SiC жабыны бар жоғары таза изостатикалық графиттен жасалған, ол тамаша термиялық тұрақтылықты, тамаша температура біркелкілігін, жоғары химиялық төзімділікті және өте төмен бөлшектердің пайда болуын қамтамасыз етеді. Қайталанатын жылдам қыздыру және салқындату циклдарына төтеп беру үшін жасалған, тасымалдаушы пластинаның сенімді қолдауын және кремний пластинасын жасыту және басқа да жоғары температурада жартылай өткізгіш қолданбалар үшін тұрақты технологиялық өнімділікті қамтамасыз етеді.

VETEK CVD TaC қапталған қабылдағыш жоғары таза изостатикалық графитті субстратты тығыз CVD тантал карбиді (TaC) жабынымен біріктіріп, ерекше термиялық тұрақтылықты, коррозияға төзімділікті және талап етілетін жартылай өткізгіш эпитаксия үшін аз бөлшектердің генерациясын қамтамасыз етеді. SiC, GaN және AlN эпитаксиалды өсуіне арналған, ол ластануды азайтады, пластинаның температурасының біркелкілігін жақсартады және жоғары температурадағы MOCVD және CVD процестерінде құрамдастардың қызмет ету мерзімін ұзартады.

VeTek Semiconductor компаниясының CVD SiC қапталған RTP сенсоры жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын жылдам термиялық өңдеу (RTP) және жылдам термиялық күйдіру (RTA) жабдықтарына қызмет етеді. Субстрат жоғары таза изостатикалық графиттен өңделеді, оның үстіне тығыз CVD кремний карбиді (SiC) қабаты салынады. Бұл конструкция жоғары жылу өткізгіштік, берік химиялық инерттілік және қайталанатын жоғары температура циклі кезінде тұрақты өлшемдік тұрақтылықты береді.

Жартылай өткізгішті кристалды өсіруге арналған талап етілетін қолданбалар үшін VETEK үш бөлікті графит тигель процесс талап ететін тұрақтылықты, тазалықты және жылу біркелкілігін қамтамасыз етеді. Қосымша SiC, TaC немесе PyC жабындары бар жоғары сортты изостатикалық графиттен жасалған оның бөлінген дизайны ыңғайлылық үшін ғана емес. Ол термиялық кернеуді белсенді түрде төмендетеді, техникалық қызмет көрсетуді жылдамдатады және циклден кейін циклді орындауды жалғастырады.

VETEK PG (пиролиттік графит) қапталған сақинасы біркелкі жылу бөлінуі және тұрақты температуралар келіспейтін жартылай өткізгіш жылу өрісі мен кристалды өсіретін орталар үшін арнайы жасалған. Тазалығы жоғары графит негізінен басталып, тығыз пиролитикалық графит жабыны бар бұл компонент ерекше жылу өткізгіштік береді, қатты термиялық соққыға төтеп береді және экстремалды температураларда ұзақ уақыт бойы өлшемдерін сақтайды. Сіз бұл сақиналарды кристалды өсіретін пештерде, жоғары температуралы пештерде және жартылай өткізгіштерге арналған термиялық өріс жинақтарында кеңінен қолданылатын кез келген жерден таба аласыз - температураны дәл бақылау процестің қайталануын және соңғы өнім сапасын тікелей басқаратын кез келген жерде.

Егер сіз тұндыру камерасында біркелкі емес газ ағынымен немесе бөлшектердің ластануымен айналысқан болсаңыз, VETEK CVD SiC қапталған графит душ басы оны шешуге арналған. Ол термиялық тұрақтылық пен оңай өңдеу үшін жоғары таза изостатикалық графиттен басталады, содан кейін бетті тығыздайтын, коррозиялық газдарға (HCl немесе NF₃ сияқты) қарсы тұратын және газдың шығуын болдырмайтын тығыз CVD кремний карбиді (SiC) жабынына ие болады. Нәтиже – пластинка бойынша біркелкі ағынды қамтамасыз ететін, жоғары температуралы эпитаксияны өңдейтін және жалаңаш графит немесе кварцқа қарағанда әлдеқайда ұзағырақ қызмет ететін газ тарату тақтасы – оны CVD, PECVD, MOCVD, кремний эпитаксисі және SiC эпитаксисі процестері үшін сенімді құрамдас етеді. Біз сондай-ақ арнайы тесік үлгілері мен өлшемдерін ұсынамыз, өйткені екі реактор бірдей емес.