CVD кремний карбиді (SiC) қапталған графит RTP RTA тасымалдаушысы

Өнім ерекшеліктері

· Негізгі жабдық:Жылдам термиялық өңдеу (RTA) және жылдам термиялық өңдеу (RTP) жүйелеріне арналған.

· Примаry Aқолдану: Жартылай өткізгіш пластинаны жасыту процестері үшін оңтайландырылған.

· Опeбағалау Teтемпература:200°C-тан 700°C-қа дейін тұрақты жұмыс.

· Excellent Therбіркелкілігі: Вафельді дәйекті өңдеу үшін жылуды біркелкі бөлуді қамтамасыз етеді.

· Төмен бөлшектерGэнергия: Тығыз CVD SiC жабыны ластануды азайтады және өндіріс өнімділігін арттырады.

· Жоғары химиялық төзімділік:Термиялық өңдеу кезінде тотығуға және коррозиялық технологиялық газдарға төзімді.

· Кереметg ТермСоққыға төзімділік: Қайталанатын жылдам қыздыру және салқындату циклдары арқылы құрылымдық тұтастықты сақтайды.

· Ұзақ қызмет ету мерзімі:Тозуға төзімді SiC жабыны компоненттің қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.

· АрнаулыӨндіріс:Әртүрлі RTP/RTA жабдығына сәйкес келетін әртүрлі өлшемдер мен конфигурацияларда қол жетімді.

Техникалық сипаттамалар

Қолданбалар

·Жылдам термиялық күйдіру (RTA)

· Жылдам термиялық өңдеу (RTP)

· Кремний пластинасының күйдіруі

· Допантты белсендіру

· Тотығу

· Диффузия

·Құрама жартылай өткізгіштерді өндіру

·MEMS өндірісі

·Қуатты жартылай өткізгішті өңдеу

Жиі қойылатын сұрақтар

1. RTP/RTA тасымалдаушысы дегеніміз не?

RTP/RTA тасымалдаушысы - жылдам термиялық өңдеу және жылдам термиялық жасыту жүйелерінде қолданылатын пластинаны қолдау компоненті. Ол термиялық цикл бойы біркелкі жылу беруді қамтамасыз ете отырып, жартылай өткізгіш пластиналарды сенімді ұстайды.

2. Неліктен CVD SiC жабынына артықшылық беріледі?

Жалаңаш графитпен салыстырғанда, CVD SiC жабыны жоғары тотығуға төзімділікті, бөлшектердің азаюын, жақсы химиялық тұрақтылықты және айтарлықтай ұзағырақ қызмет ету мерзімін ұсынады.

3. VETEK теңшелген RTP/RTA тасымалдаушыларын ұсына ала ма?

Иә. VETEK тұтынушы сызбалары негізінде теңшелген RTP/RTA тасымалдаушыларын ұсынады.