Өнімдер

Қатты кремний карбиді

Vetek жартылай өткізгішті кремний көмірсущы - плазмалық майлау жабдықтары, қатты кремний карбидіндегі маңызды керамикалық компонент (CVD кремний карбиді) Жабдыққа бөлшектер кіредісақиналар, газ душын, науа, шеті сақиналар және т.б. Қатты кремний карбидінің (CVD кремний карбидінің) құрамында хлор-фторлы газдар мен фторлы газдар мен басқа компоненттерге арналған тамаша материал болып табылады.


Мысалы, фокустық сақина вафлиден тыс және вафлимен тікелей қойылған маңызды бөлігі және вафлимен тікелей байланыста, сақинаның кернеуін сақинадан өткен плазманы фокуста қолдану арқылы өңдеудің біркелкілігін арттыру үшін плазманы вафлиге аударыңыз. Дәстүрлі фокус сақинасы кремнийден жасалған немесекварц, Жүргізетін кремнийдің жиі фокус-рингтік материал ретінде, бірақ жетіспеушілік, бірақ жетіспеушілік фторлы плазманың өткізгіштігі нашар.


SOlid Sic фокус қоңырауыЖұмыс принципі

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI негізіндегі фокустық сақинаны және CVD фокустық сақинасын салыстыру:

SI негізіндегі фокустық сақинаны және CVD фокустық сақинасын салыстыру
Зат Жіне CVD SIC
Тығыздық (г / см)3) 2.33 3.21
Топтық алпау (EV) 1.12 2.3
Жылу өткізгіштік (W / CM ℃) 1.5 5
Cte (x10)-6/ ℃) 2.6 4
Серпімді модуль (GPA) 150 440
Қаттылық (GPA) 11.4 24.5
Тозуға және коррозияға төзімділік Жарлы Үздік


Ветек жартылайдюсторы жартылай өткізгіш жабдыққа арналған SIC фокустық сақиналар сияқты дамыған қатты кремний карбиді (CVD кремний карбиді) ұсынады. Біздің мықты кремний карбидіміз сақиналар дәстүрлі кремнийді механикалық беріктік, химиялық тұрақтылық, жылу өткізгіштік, жоғары температуралы беріктік және ионының төзімділігі тұрғысынан идентификатордан бастайды.


Біздің SIC-ке арналған сақиналардың негізгі ерекшеліктері кіреді:

Айқындық мөлшерлемелерінің төмендеуі үшін жоғары тығыздық.

Тамаша оқшаулануы бар дақылдар.

Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті.

Механикалық әсерге төзімділік және серпімділік.

Жоғары қаттылық, тозу және коррозияға төзімділік.

ПайдаланылғанПлазмалық жақсартылған химиялық будың тұнбасы (Pecvd)әдістері, біздің СИК-ке арналған сақиналар жартылай өткізгіш өндірісіндегі процестердің өсіп келе жатқан талаптарына жауап береді. Олар жоғары плазмалық қуат пен энергияға қарсы тұруға арналған, атап айтқандасыйымдайтын плазмалық (CCP)Жүйелер.

Ветек Жартылай өткізгіштің SIC-ке арналған сақиналар жартылай өткізгіш құрылғыны өндіруде ерекше жұмыс және сенімділік береді. Жоғары сапалы және тиімділігі үшін біздің SIC компоненттерін таңдаңыз.


View as  
 
CVD кремний карбиді (SiC) қапталған графит RTP RTA тасымалдаушысы

CVD кремний карбиді (SiC) қапталған графит RTP RTA тасымалдаушысы

VETEK CVD кремний карбиді (SiC) қапталған графит RTP RTA тасымалдаушысы жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын жылдам термиялық өңдеу (RTP) және жылдам термиялық күйдіру (RTA) жүйелеріне арналған. Тығыз CVD SiC жабыны бар жоғары таза изостатикалық графиттен жасалған, ол тамаша термиялық тұрақтылықты, тамаша температура біркелкілігін, жоғары химиялық төзімділікті және өте төмен бөлшектердің пайда болуын қамтамасыз етеді. Қайталанатын жылдам қыздыру және салқындату циклдарына төтеп беру үшін жасалған, тасымалдаушы пластинаның сенімді қолдауын және кремний пластинасын жасыту және басқа да жоғары температурада жартылай өткізгіш қолданбалар үшін тұрақты технологиялық өнімділікті қамтамасыз етеді.
CVD кремний карбиді (SiC) қапталған RTP қабылдағыш

CVD кремний карбиді (SiC) қапталған RTP қабылдағыш

VeTek Semiconductor компаниясының CVD SiC қапталған RTP сенсоры жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын жылдам термиялық өңдеу (RTP) және жылдам термиялық күйдіру (RTA) жабдықтарына қызмет етеді. Субстрат жоғары таза изостатикалық графиттен өңделеді, оның үстіне тығыз CVD кремний карбиді (SiC) қабаты салынады. Бұл конструкция жоғары жылу өткізгіштік, берік химиялық инерттілік және қайталанатын жоғары температура циклі кезінде тұрақты өлшемдік тұрақтылықты береді.
Қатты SiC фокус сақиналары

Қатты SiC фокус сақиналары

Вафельді бақылау аймағын қоршауға арналған, Solid SiC фокус сақинасы плазманың сызықтық таралуын және дәл шеттен орталыққа тегістеу профильдерін қамтамасыз етеді. Бұл жоғары сапалы β-SiC құрамдастары Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) компаниясымен меншікті Chemical Vapor Deposition (CVD) технологиясын пайдалана отырып құрастырылған. Шикізатты тығыз, байланыстырғышсыз матрицаға буландыру арқылы Ветек ескі материалдарда жиі кездесетін кеуекті микро-саңылауларды жояды. Стандартты кварцты немесе кремнийді қорғаумен салыстырғанда, біздің CVD SiC құрамдастары коррозиялық галогендік газдарға жақсырақ төтеп береді, пластинаны тереңде 7 нм логикада және тығыз жад чиптерін өндіруде қорғайды. Бұдан әрі сұрауыңызды асыға күтеміз.
Қатты кремний карбид фокустау сақинасы

Қатты кремний карбид фокустау сақинасы

Veteksemicon қатты кремний карбиді (SiC) фокустау сақинасы - плазманың таралуын, термиялық біркелкілігін және пластинаның жиектерінің әсерлерін дәл бақылау маңызды болатын жетілдірілген жартылай өткізгіш эпитаксия және плазмалық ою процестерінде қолданылатын маңызды тұтынылатын компонент. Тазалығы жоғары қатты кремний карбидінен жасалған бұл фокустау сақинасы плазмалық эрозияға ерекше төзімділікті, жоғары температура тұрақтылығын және химиялық инерттілікті көрсетеді, бұл агрессивті процесс жағдайында сенімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді. Біз сіздің сұрауыңызды күтеміз.
Кремний карбид фокус сақинасы

Кремний карбид фокус сақинасы

Veteksemicon Focus Riber арнайы жартылай өткізгішті, әсіресе SIC қолданбаларын алу үшін арнайы жасалған. Электростатикалық Чактың айналасына (ESC), вафлиге жақын жерде оның негізгі функциясы вафлидің негізгі функциясы ішінде электромагниттік өрісті оңтайландыру болып табылады, бұл бүкіл вафли бетіне бірыңғай және бағытталған плазмалық әрекетті қамтамасыз етеді. Жоғары өнімді фокустық сақина этчтің мөлшерін айтарлықтай жақсартады және өнімнің тиімділігі мен өндіріс тиімділігін тікелей арттырады.
Қатты SIC фокустық сақинасы

Қатты SIC фокустық сақинасы

Veteksemi Қатты SIC FOCUS сақинасы электр өрісімен және ауа ағынын вафли жиегінде дәл басқару арқылы біртектілік пен процестің тұрақтылығын айтарлықтай жақсартады. Ол кремний, диэлектриктер және құрама жартылай өткізгіш материалдарды дайындау процестерінде кеңінен қолданылады және бұқаралық өндірістің кірістілігін және ұзақ мерзімді сенімді жабдықтың жұмысын қамтамасыз етудің негізгі компоненті болып табылады.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


X
Біз cookie файлдарын сізге жақсырақ шолу тәжірибесін ұсыну, сайт трафигін талдау және мазмұнды жекелендіру үшін пайдаланамыз. Осы сайтты пайдалану арқылы сіз cookie файлдарын пайдалануымызға келісесіз.Құпиялылық саясаты
ҚабылдамауҚабылдау