Сіз Mocvd Succeptor туралы білесіз бе?

Металл-органикалық бумалық будың тұндыруында (MOCVD) процесс, Suckeptor вафлиді қолдауға және судың біркелкілікті және нақты бақылауды қамтамасыз етуге жауапты негізгі компонент болып табылады. Оның материалдық таңдауы және өнім сипаттамалары эпитаксиальды процестің тұрақтылығына және өнімнің сапасына тікелей әсер етеді.

MOCVD қолдауы(Металл-органикалық бумалық буынды тұндыру) - жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі процестің құрамдас бөлігі. Ол негізінен моквд (металл-органикалық бумалық буынды тұндыру), ал жұқа пленкалық тұндыру үшін вафлиді қолдау және қыздыру үшін қолданылады. Скептордың дизайны мен материалдық таңдауы біркелкілікке, түпкілікті өнімнің тиімділігі мен сапасы үшін өте маңызды.

Өнім түрі және материалды таңдау:

MOCVD сезімталдығының дизайн және материалдық таңдауы әр түрлі, әдетте, технологиялық талаптар мен реакция шарттары бойынша анықталады.Төменде жалпы өнім түрлері және олардың материалдары бар:

Sic қапталған Сусептор(Кремний карбиді:

Сипаттама: SIC жабыны бар, графитпен немесе басқа да жоғары температуралы материалдармен, субстрат немесе CVD-дің корпусы (CVD SIC жабыны), оның тозуға төзімділігі мен коррозияға төзімділігін жақсарту үшін.

Өтінім: жоғары температурада және жоғары коррозиялық газ ортасында, әсіресе кремний эпитаксиінде және құрама жартылай өткізгіштерде кеңінен қолданылады.

TAC жабылған ішкі заттар:

Сипаттама: TAC жабыны бар сезімтал (CVD TAC жабыны), өйткені негізгі материал өте жоғары қаттылығы мен химиялық тұрақтылығы бар және өте коррозиялық ортада қолдануға жарамды.

Өтінім: Галлий нитриді (gan) және галлий арсениді (GAAS) мен механикалық беріктігін қажет ететін MOCVD процестерінде қолданылады.

Карбид-карбид-карбид:

Сипаттама: субстрат - графит, ал беті жоғары температурада тұрақтылық пен ұзақ өмір сүру үшін CVD SIC жабынының қабатымен жабылған.

Қолдану: Aixron Mocvd реакторлары сияқты жабдықты пайдалануға жарамды, мысалы, жоғары сапалы құрама жартылай өткізгіш материалдарды шығару.

EPI қолдауы (эпитакси жақтаушысы):

Сипаттама: Сусептор, әдетте, эпитаксиальды өсу процесі үшін арнайы жасалған, әдетте, SIC жабыны немесе TAC жабыны бар, оның жылу өткізгіштігі мен беріктігін арттыру үшін.

Қолдану: кремний эпитаксиінде және жартылай өткізгіш эпитаксиде, ол вафлиді жылыту мен тұндыруды қамтамасыз ету үшін қолданылады.

Саясаттың жартылай өткізгіштердегі MOCVD-дің негізгі рөлі:

Вафлиді қолдау және біркелкі жылыту:

Функция: Сусептор Mocvd реакторларындағы вафлиді қолдау үшін қолданылады және индукциялық жылыту немесе бірыңғай пленкалық тұндыруды қамтамасыз ету үшін бірыңғай жылу бөлуді қамтамасыз етеді.

Жылу өткізгіштік және тұрақтылық:

Функция: Жылу өткізгіштік және сезімталдық материалдарының жылу тұрақтылығы өте маңызды. SIC Қапталған Сусептор және TAC PET PAT SUSPEPTOR жоғары жылу өткізгіштілігі мен жоғары температураға төзімділігі, температураның жоғары төзімділігіне байланысты тұрақтылықты сақтай алады, бұл тегіс емес температурадан туындаған кинофильмдерден аулақ бола алады.

Коррозияға төзімділік және ұзақ өмір:

Функция: Mocvd процесінде сезімталдық әр түрлі химиялық прекурсорлық газдарға ұшырайды. SIC жабыны мен TAC жабыны коррозияға төзімділікті қамтамасыз етеді, материалдық бет пен реакция газының өзара әрекеттесуін азайтады және сезімталды қызмет ету мерзімін ұзартуда.

Реакция ортасын оңтайландыру:

Функция: Жоғары сапалы сезімталдарды пайдалану арқылы MOCVD реакторындағы газ ағындары мен температура өрісі оңтайландырылған, бірыңғай пленкалық тұндыру процесін қамтамасыз ету және құрылғының кірістілігі мен өнімділігін арттыру. Ол әдетте Sucvd реакторлары мен Aixtron Mocvd жабдықтарына арналған сорғышта қолданылады.

Өнімнің ерекшеліктері және техникалық артықшылықтары：

Жоғары термиялық өткізгіштік және жылу тұрақтылығы:

Ерекшеліктері: SIC және TAC PAT PACEPREPTSERSEPRSEPTS өте жоғары жылу өткізгіштікке ие, жылуды тез және біркелкі таратады және вафлидің біркелкі жылытуын қамтамасыз ету үшін жоғары температурада бөлуге болады және жоғары температурада құрылымдық тұрақтылықты сақтай алады.

Артықшылықтары: Галлий нитриді (gan) және галлий арсендиі (GAAS) сияқты тығыз үстірт көктемнің эпитаксиальды өсуін қажет ететін MOCVD процестеріне жарамды.

Тамаша коррозияға төзімділік:

Ерекшеліктері: CVD SIC жабыны және CVD TAC жабыны өте жоғары химиялық инерстерге ие және хлоридтер мен фторидтер сияқты коррозияға қарсы тұра алады, мысалы, хлоридтер мен фторидтер, сондай-ақ сезімталдық, зақымданудың субстрасын қорғайды.

Артықшылықтары: Сусептураның қызмет ету мерзімін ұзарту, техникалық қызмет көрсету жиілігін азайту және MOCVD процесінің жалпы тиімділігін арттыру.

Жоғары механикалық беріктік және қаттылық:

Ерекшеліктері: SIC және TAC жабындарының жоғары қаттылығы мен механикалық беріктігі Сусептураға жоғары температурада және жоғары қысымды ортада механикалық күйзеліске ұшырайды және ұзақ мерзімді тұрақтылық пен дәлдікті сақтайды.

Артықшылықтары: әсіресе эпитаксиальды өсу және химиялық будың тұнбасы сияқты жоғары дәлдікті қажет ететін жартылай өткізгіш өндіріс процестеріне өте қолайлы.

Нарықты қолдану және даму перспективалары

Mocvd сезімтiңЖарықтық жарықдиодтар, электронды құрылғылар (мысалы, ган негізіндегі хемалар), күн батареялары және басқа да оптоэлектрондық құрылғыларды өндіруде кеңінен қолданылады. Жоғары өнімділікке және қуатты тұтынудың жоғарылауымен жартылай өткізгіш құрылғылар, MOCVD технологиясы алға жылжуды жалғастыруда, сезімтал инновацияны, инновацияларды сезім мен дизайнда жүргізуді жалғастыруда. Мысалы, жоғары тазалығы бар және төменгі ақаулық тығыздығы бар SIC жабыны технологиясын жасау және үлкен вафлиге және көп қабатты көп қабатты эпитакситтік процестерге бейімделуге арналған сезімтал дизайнын оңтайландыру.

Vetek Semicondudor Technology Co., Ltd - жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған кеңейтілген жабын материалдарының жетекші жеткізушісі. Біздің компания сала үшін заманауи шешімдерді әзірлеуге назар аударады.

Біздің өнімнің негізгі ұсыныстарымызға CVD кремний карбиді (SIC) жабындары, цикт-жабындар, SIC жабынды графиттері және жоғары тазалық, графиттер және т.с.с. диалсин сақинасы, такпен қапталған сақиналар, т.ғ.к., т.с.с.

Ветек Жартылай өткізгішті кесудің заманауи технологиялары мен жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін өнімді әзірлеу шешімдерін дамытуға бағытталған. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуға шын жүректен үміттенеміз.