Жоғары тазалық кварц

Ветексемикон платформасы ұсынған жоғары тазалық кварцы ультра жоғары тазалықтың синтетикалық кварцінен жасалған. Таңдалған кварц шикізатындағы SiO2 мазмұны әдетте 99,998% немесе одан да көп (4N8). Жетілдірілген балқу және қалыптау процестері арқылы қоспалық мөлшері, әсіресе металл иондары (NA, K, LI, Fe, Fe, Fe, al, al, al, al, al, al, al, al, ob) және жартылай өткізгіш процестерге зиянды.

Бұл кварц критуры төмен ластануды, жоғары беріктігін және кристалл өсуіне және вафлиді өңдеумен жақсы үйлесімділікті қамтамасыз ету үшін жоғары температуралы ортада жұмыс істеуге арналған.

Ⅰ. Жартылай өткізгіш өндіріс процестеріндегі негізгі қосымшалар

Жоғары тазалық кварцтың критркалары көптеген негізгі физикалық қасиеттері бар жартылай өткізгіш процестерде маңызды рөл атқарады:

1. Бірыңғай кристалды кристалды кремнийдің өсуі (Цочральск процесі - CZ)

Пайдалану: Czochralski әдісімен бір кристалды кристалды кремний өсуі, жоғары тазалық кварцтың критриктері балқытылған кремний үшін негізгі контейнерлер болып табылады. Кремний шыбықтарының сапасы мен тазалығына тікелей айқталатын материал әсер етеді.

Тамаша физикалық қасиеттері:

● Ультра жоғары тазалық: жоғары тазалық кварц материалынан жасалған, бұл өте төмен қоспалар жауын-шашынды қамтамасыз етеді және жоғары интеграцияланған және жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін өте маңызды болып табылады. Алкали металлдары мен ауыр металдар сияқты қоспалар құрылғының электрлік қасиеттеріне қатты әсер ететін тасымалдаушылар немесе шашыраңқы орталықтарға айналуы мүмкін.

● Жоғары температураның керемет төзімділігі: кварц материалында еріген балы бар (шамамен 1700 ∘C), балқытылған кремнийдің өте жоғары температурасына төтеп бере алады (шамамен 1420 ∘C), және ұзақ уақыт бойы деформациясыз немесе жұмсартпай жұмыс істейді.

● Жақсы жылу тұрақтылығы: жоғары температурада жылу кеңейту коэффициенті өте төмен, бұл термиялық күйзеліске төзімді және жылыту және салқындату кезінде крекингтен аулақ бола алады, осылайша процестің тұрақтылығы мен қауіпсіздігін қамтамасыз етеді.

● Химиялық инерстер: балқытылған кремнийге жақсы химиялық инерстері бар, кремниймен реакция жасау оңай емес, кремнийдің қоспалары мен көміртектенуді азайтады және кремний кристалдарының тазалығын қамтамасыз етеді.

2. Поликристалды кремний құймасы

Қолдану.

Тамаша физикалық қасиеттері:

● Термиялық соққыға қарсы тұрақтылық: ол тіпті тез қыздыру және салқындату циклдарында да, температураның кенеттен өзгеруіне байланысты крекингке жол бермеу үшін құрылымдық тұтастықты сақтай алады.

● Өлшемді тұрақтылық: Дәл өлшемді бақылау және пішін тұрақтылығы, техникалық сипаттамаларға сәйкес келетін поликристалды кремний құймаларын құю үшін қажет.

3. Жоғары температуралы басқа қосымшалар

Қолданады: Жартылай өткізгіштерде, көптеген жоғары температуралы пештерде, мысалы, диффузия, тотығу, тазарту және т.б. сияқты жоғары температуралы пештер процестері, процесстің ортасында кварц контейнерлері, процестер ортасын таза және тұрақты ұстайды.

Ⅱ. Ветексемиконның жоғары тазалығы кварцтың артықшылықтары

Ветексемикон жартылай өткізгіш өнеркәсіпке сапалы, жоғары сапалы өнімдермен қамтамасыз етуге ұмтылады. Біздің жоғары тазалық кварцтың критркалары келесі артықшылықтарға ие:

● Ультра жоғары тазалық кепілдігі: Өнімнің жартылай өткізгіштік-ультра жоғары тазалыққа жетуіне және технологиялық ластану қаупін азайтуға мүмкіндік беретін шикізат пен өндірістік процестерді қатаң бақылау.

● Керемет беріктік: Тамаша жылу тұрақтылық және механикалық беріктік, өнімнің қызмет ету мерзімін ұзарту және өндіріс шығындарын азайту.

● Реттелген қызмет: Әр түрлі өлшемдегі, пішіндер мен техникалық сипаттамалардың жеке шешімдері нақты процесс қажеттіліктеріне сәйкес берілуі мүмкін.

Ветексемикон өнімдері қоймасы