Жартылай өткізгіш кварц Белл құмырасы

ТұқымЖартылай өткізгішКварц Белл құмырасыжартылай өткізгіштерді өңдеуде бірнеше негізгі рөлдерді ойнатады. та қоңыраулы банка вакуум жүйесітұрақты және басқарылатын реакция ортасын қамтамасыз етіп қана қоймайды, сонымен қатар оның тамаша термиялық тұрақтылығы, химиялық инерттілігі және оптикалық мөлдірлігі арқылы әртүрлі процестердің тиімділігі мен дәлдігін қамтамасыз етеді. Бұл сипаттамалар да соны анықтайдыBell вакуум камерасыжартылай өткізгіштерді өндіру процесінде таптырмас құрамдас өнім болып табылады.

ТұқымЖартылай өткізгіш кварц Технологиялық газдарды біркелкі бөлуге және бақыланатын жағдайларда вафли бетіне реакцияға мүмкіндік беретін мөрленген өңдеу ортасын жасайды. Сондықтан,Жартылай өткізгішті кварц қоңырауыәдетте атмосфераның құрамы мен қысымын дәл бақылау үшін CVD, диффузия және тотығу сияқты процестерде қолданылады, осылайша пленканың біркелкілігі мен материалдың тазалығын қамтамасыз етеді.

Сонымен бірге, кварц материалдарында керемет термиялық тұрақтылық, жоғары температураға төзімділік (жартылай өткізгішті өңдеудегі жоғары температура орта, әдетте, 1000 ° C немесе одан жоғары) және жылыту және салқындату кезінде тұрақты пішінді және көлемді ұстаудың сипаттамалары. Бұл анықтайдыКварц Белл құмырасыдиффузия мен тотығудың жоғары температуралық ортасында пластинаның бетінің температурасының біркелкілігін толығымен қамтамасыз ете алады, осылайша тұндырылған немесе диффузиялық қабаттың сапасы мен біркелкілігін жақсартады.

Ең бастысы,ТұқымSemiconductor жоғары тазалықтағы кварц жоғары температуралы ортада технологиялық газдармен әрекеттесу оңай емес және коррозияға төзімділігі жоғары. Өнімнің бұл сипаттамасы коррозиялық газдарды пайдаланатын процестерде (мысалы, кейбір CVD процестері)Жартылай өткізгішті кварц қоңырауыхимиялық тұрақтылықты толығымен сақтай алады, осылайша жартылай өткізгіш құрылғылардың ластануын болдырмайды.

VeTek жартылай өткізгішКварц Белл құмырасы:

Жартылай өткізгіш чипке шолу Epitaxy Industry Желілік: