Ald кварцтың тұғыры

Vetek жартылай өткізгіш ALD Quartz тұғыры жартылай өткізгішті өндіру процесінде негізгі рөл атқарадыкварц қайықұстау үшін пайдаланыладывафли. Балқытылған кварц тұғыры жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен сенімділігіне тікелей әсер ететін тұрақты температураны сақтау арқылы пленканың біркелкі тұндырылуына қол жеткізуге көмектеседі. Сонымен қатар, Кварц тұғыры технологиялық камерада жылу мен жарықтың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, осылайша тұндыру процесінің жалпы сапасын жақсартады.

ALD балқытылған кварц тұғыр материалының артықшылықтары

Жоғары температураға төзімділік: Балқытылған кварц тұғырының жұмсарту температурасы шамамен 1730°C және ол 1100°C-ден 1250°C-қа дейінгі жоғары температура жұмысына ұзақ уақыт бойы төтеп бере алады және 1450°C-қа дейінгі төтенше температуралық орталарға ұшырауы мүмкін. қысқа уақытқа.

Тамаша коррозияға төзімділік: Балқытылған кварц фтор қышқылынан басқа барлық дерлік қышқылдарға өте химиялық инертті. Оның қышқылға төзімділігі керамикадан 30 есе, тот баспайтын болаттан 150 есе жоғары. Балқытылған кварц жоғары температурада химиялық жағынан теңдесі жоқ, бұл оны күрделі химиялық процестер үшін тамаша материал етеді.

Жылу тұрақтылығы: Балқытылған кварц тұғыр материалының басты ерекшелігі оның термиялық кеңеюдің өте төмен коэффициенті болып табылады. Бұл оның температураның күрт ауытқуларын крекингсіз оңай жеңе алатынын білдіреді. Мысалы, балқытылған кремнеземдік кварцты 1100 ° C-қа дейін жылдам қыздыруға және зақымдамай тікелей суық суға батыруға болады, бұл жоғары кернеулі өндіріс жағдайында маңызды қасиет.

Өңдеу процесі: Балқытылған кремний тұғырларын өндіру процесі жоғары сапа стандарттарын қатаң сақтайды. Өндіріс процесінде әдетте 10 000 класты таза бөлме жағдайында аяқталатын ыстық қалыптау және дәнекерлеу процестері қолданылады. Содан кейін балқытылған кварц шыны тұғыры өнімнің тазалығы мен оңтайлы өнімділігін қамтамасыз ету үшін өте таза сумен (18 МΩ) мұқият тазаланады. Әрбір дайын өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің жоғары стандарттарына сай болу үшін 1000 немесе одан жоғары класты таза бөлмеде мұқият тексеріледі, тазаланады және оралады.

Жоғары таза мөлдір емес кремний кварц материалы

VeTeksemi ALD балқытылған кварц тұғыры жылу мен жарықты тиімді оқшаулау үшін жоғары тазалықтағы мөлдір емес кварц материалын пайдаланады. Оның тамаша жылудан қорғайтын және жарықтан қорғайтын қасиеттері технологиялық камерада біркелкі температураның таралуын сақтауға мүмкіндік береді, бұл жұқа қабаттың біркелкілігі мен консистенциясын қамтамасыз етеді.фильмді тұндырувафли бетіне.

Қолданба өрістері

Балқытылған кварц тұғырлары тамаша өнімділігіне байланысты жартылай өткізгіш өнеркәсібінің көптеген салаларында кеңінен қолданылады. жылыАтомдық қабатты тұндыру (ALD) процесі, ол пленканың өсуін дәл бақылауды қолдайды және жартылай өткізгіш құрылғылардың жетілдірілуін қамтамасыз етеді. жылыТөмен қысымды химиялық будың тұндыру (LPCVD) процесі, жылу тұрақтылығы мен жоғары тазалыққа арналған кварц тұғырының тұғыры жұқа қабықтардың біркелкі тұндыруына кепілдік береді, осылайша құрылғының жұмысы мен өнімділігін арттырады.

Сонымен қатар, диффузиялық ваффер процесінде, кварцтың жоғары температураға төзімділігі мен химиялық коррозияға төзімділігі жартылай өткізгіш материалдың допинг процесінің сенімділігі мен дәйектілігін қамтамасыз етеді. Бұл негізгі процестер жартылай өткізгіш құрылғылардың электрлік жұмысын анықтайды, ал сапалы кварцтың жоғары сапалы материалдары осы процестердің жақсы нәтижелеріне қол жеткізуде қажет емес рөл атқарады.

Ветек жартылай өткізгіш ALD кварц тұғырларының дүкендерімен аяқталды: