VeTek Semiconductor кеңейтілген өңдеуге арналған жартылай өткізгіш керамиканың кең ауқымын ұсынады. Біздің кремний карбидті жабындар тығыздығымен, жоғары температураға төзімділігімен және химиялық төзімділігімен танымал, бұл оларды жартылай өткізгіштерді өндірудің әртүрлі кезеңдері үшін өте қолайлы етеді. Бұл жабындар тиімділік пен сенімділікті қамтамасыз ететін жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеуде және өндіруде қолданылады.
Бұдан басқа, біз басқа жартылай өткізгіш керамикалық бұйымдарды ұсынамыз:
Кварц: Кварц тамаша жоғары температура тұрақтылығын, химиялық инерттілікті және оптикалық мөлдірлікті көрсетеді. Ол фотолитография, химиялық бу тұндыру (CVD) және физикалық бу тұндыру (PVD) қоса алғанда, жартылай өткізгіштер өндірісінде кең қолданбаларды табады. Кварц астары, түтіктер және терезелер жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде маңызды рөл атқарады.
Алюминий оксиді керамика: Алюминий оксиді керамика тамаша оқшаулау қасиеттерін, жоғары температура тұрақтылығын және химиялық инерттілікті ұсынады. Олар әдетте оқшаулағыштар, тығыздағыштар, қаптамалар және субстраттар сияқты компоненттерге арналған жартылай өткізгіш жабдықтарда қолданылады. Алюминий тотығы керамикасының жоғары оқшаулауы және жоғары температураға төзімділігі оларды жартылай өткізгіш өндірісінде маңызды материал етеді.
Бор нитридті керамика: бор нитриді керамика тамаша жылу өткізгіштікке, жоғары қаттылыққа және химиялық инерттілікке ие. Олар жасыту, термиялық өңдеу және орау сияқты жартылай өткізгіштер өндірісінде жоғары температуралы орталарда кеңінен қолданылады. Бор нитридті керамика әдетте арматураларды, қыздыру элементтерін, жылу қабылдағыштарды және субстраттарды өндіру үшін қолданылады.
Циркония: Циркония - беріктігі жоғары, қаттылығы жоғары және ыстыққа төзімді керамикалық материал. Ол ерекше химиялық тұрақтылыққа және жақсы оқшаулау қасиеттеріне ие. Жартылай өткізгішті өндірісте цирконий жоғары температуралы ортада оқшаулағыш компоненттерді, терезелерді және сенсорларды жасау үшін жиі қолданылады. Керемет жылу өткізгіштікке және төмен диэлектрлік жоғалтуға байланысты циркония сонымен қатар радиожиілік және микротолқынды құрылғыларда кеңінен қолданылады.
Кремний нитриді: кремний нитриді - тамаша механикалық беріктігі мен жылу өткізгіштігі бар жоғары температураға және коррозияға төзімді керамикалық материал. Ол әдетте жұқа пленкалы инкапсуляция, оқшаулау қабаттары, сенсорлар және аралық бөлшектер сияқты маңызды компоненттер үшін жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылады. Кремний нитриді жоғары температурада және қатал ортада тұрақты жұмыс істеуге мүмкіндік беретін керемет оқшаулау қасиеттері мен химиялық тұрақтылығын көрсетеді. Оған қоса, оның төмен диэлектрлік өтімділігі және төмен диэлектрлік шығыны оны жоғары жиілікті электронды құрылғылар мен микроэлектрондық қаптамалар үшін тамаша таңдау жасайды.
VeTek Semiconductor компаниясында біз саланың күрделі талаптарына жауап беретін жоғары сапалы басқа жартылай өткізгішті керамикамен қамтамасыз етуге міндеттенеміз.
Негізгі мүмкіндіктер
● Жан-жақты материал қоржыны: кварц, алюминий тотығы (Al₂O₃), бор нитриді (BN), цирконий (ZrO₂) және кремний нитриді (Si₃N₄).
● Жартылай өткізгішті технологиялық орталар үшін қолайлы жоғары тазалық және төмен ластану.
● Жоғары температурада тамаша тұрақтылық, химиялық инерттілік және әрбір материал үшін арнайы жасалған жылу/электрлік қасиеттер.
● Қайықтарды, түтіктерді, терезелерді, қалқандарды, оқшаулағыштарды, арматураларды, сенсорларды және тапсырыс бойынша бөлшектерді дәл өңдеу мүмкіндігі.
● CVD/PVD, фотолитография, диффузия, күйдіру, орау және RF/микротолқынды құрылғыларда дәлелденген қолданбалар.
● ISO9001 сертификатталған сапаны бақылау және арнайы жабдық пен процесс талаптарына сәйкестендіруді қолдау.
Қолданбалар
Жартылай өткізгіш процестердің әртүрлі қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін VeTek басқа жартылай өткізгіш керамиканың мақсатты өнімдерін ұсынады. Төмендегі кестеде оларды негізгі материалдар мен қолдану аймақтары бойынша жіктейді:
| Материал / өріс |
Типтік өнімдер |
Қолданба сипаттамасы |
| Кварц |
Кварцты вафельді қайықтар, мөлдір емес кварцты қалқандар/жалғаулар, төбелерді жабу, тигельдер, түтіктер, терезелер |
Фотолитография, CVD, PVD, диффузия, тотығу, күйдіру және MOCVD камерасын қорғау үшін жоғары температура тұрақтылығы, химиялық инерттілік және оптикалық мөлдірлік. |
| Алюминий оксиді (Al₂O₃) |
Оқшаулағыштар, тығыздағыштар, орау бөліктері, астарлар |
Электрлік оқшаулауды және термиялық төзімділікті қажет ететін жартылай өткізгіш жабдықтардың құрамдас бөліктері үшін тамаша оқшаулау, жоғары температура тұрақтылығы және химиялық инерттілік. |
| Бор нитриді (BN) |
Арматуралар, қыздыру элементтері, радиаторлар, астарлар |
Жоғары температуралы жартылай өткізгіш процестерде жасыту, термиялық өңдеу және орау үшін тамаша жылу өткізгіштік, жоғары қаттылық және химиялық инерттілік. |
| Циркония (ZrO₂) |
Оқшаулағыш компоненттер, терезелер, сенсорлар |
Жақсы оқшаулаумен жоғары беріктік, қаттылық және ыстыққа төзімділік; төмен диэлектрлік шығынға байланысты жоғары температуралы орталарда және RF/микротолқынды құрылғыларда қолданылады. |
| Кремний нитриді (Si₃N₄) |
Жұқа пленкалы инкапсуляция, оқшаулау қабаттары, сенсорлар, аралық |
Өте жақсы механикалық беріктігі бар жоғары температураға және коррозияға төзімділік; жоғары жиілікті құрылғылар мен микроэлектрондық қаптамалар үшін өте қолайлы (төмен диэлектрлік тұрақты/шығын). |
Толығырақ процесті сәйкестендіру шешімдерін мына жерден қараңызЖартылай өткізгіш кварцқатысты беттер.
Қытайдағы кәсіби басқа жартылай өткізгіш керамика өндірушісі және жеткізушісі ретінде бізде өз зауытымыз бар. Аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін теңшелген қызметтер қажет пе немесе Қытайда жасалған жетілдірілген және берік басқа жартылай өткізгіш керамика сатып алғыңыз келе ме, сізбізге хабарлама қалдырыңыз.
