Жоғары тазалықтағы кварц пластинасы

1. Негізгі мүмкіндіктер мен артықшылықтар

• Ультра жоғары тазалықтағы дегидроксилденген балқытылған кварц (SiO₂ ≥ 99,999%) металл қоспалары бар ppb деңгейінде бақыланады — пластинаның ластануын азайтады

• 1100 ° C дейін ұзақ мерзімді жұмыс температурасы; 1200 °C дейін қысқа мерзімді ең жоғары төзімділік

• Температураның жиі айналуы кезінде тамаша термиялық соққыға төзімділік және өлшемдік тұрақтылық

• Тотықтыратын технологиялық газдарға және ылғалды технологиялық химиялық заттарға (HF, H₂O₂, қышқылдар/сілтілер) қарсы күшті химиялық инерттілік

• Біркелкі пластинаны қолдау және жиектерге зақым келтіруді азайту үшін дөңгелек шеттері бар жоғары тегістік және дәлдікпен тегістелген бет

• Төмен вакуумды газ шығару және төмен беттік адсорбция — дәл вакуумдық процестерге қолайлы

• Толығымен реттелетін құрылымдар: қатты тасымалдағыштар, перфорацияланған/желдейтін конструкциялар, сатылы орналастыру мүмкіндіктері, орналасу тесіктері, көп нүктелі тіректер және 2–12 дюймдік пластиналар үшін қалыңдатылған деформацияға қарсы конструкциялар

2. Типтік қолданбалар

Бұл тасымалдаушылар пластиналар жоғары температурада немесе агрессивті химия жағдайында таза, өлшемді тұрақты қолдауды қажет ететін жерлерде қолданылады:

• Диффузиялық және күйдіру пештерін жүктеу

• PECVD және LPCVD пленкасының өсу процесін қолдау

• Вакуумдық камера және жоғары температуралы технологиялық құрал

• Кептіруден кейінгі кептіру және дымқыл тазалау станциясының тасымалдаушылары

• SiC және GaN қуат құрылғысының термиялық өңдеуі

• Оптоэлектронды субстратты өңдеу және зертханалық термиялық құралдар

3. Негізгі техникалық параметрлер

• Негізгі материал: жартылай өткізгіштегі дегидроксилденген балқытылған кварц, SiO₂ ≥ 99,999%

• Үйлесімді вафли өлшемдері: 2, 4, 6, 8 және 12 дюйм (Si, SiC, GaN, сапфир)

• Ұсынылатын үздіксіз температура диапазоны: −20 °C - 1100 °C; қысқа мерзімді шыңы шамамен 1200 °C дейін

• Өндіріс жолы: бір бөліктен қалыптау, бетті тегістеу, жиектерді дөңгелектеу, кернеуді жеңілдету және өте таза соңғы тазалау

• Қолжетімді конфигурациялар: тұтас, желдеткіш/перфорацияланған, сатылы орналастыру, саңылау үлгісі және толығымен реттелетін геометриялар

• Өнімділік фокусы: жоғары тазалық, термиялық тұрақтылық, коррозияға төзімділік, беттің тегістігі, төмен газ шығару және ұзақ мерзімді өлшемді сақтау

• Теңшеу ауқымы: сыртқы өлшемдер, қалыңдық, тірек геометриясы, тесіктердің орналасуы және тұтынушы сызбаларына негізделген арнайы мүмкіндіктер

4. Неліктен VeTek жоғары тазалықтағы кварцты вафельді тасымалдаушыларды таңдау керек?

Жартылай өткізгіш кварц компоненттерінің кәсіби өндірушісі ретінде VeTek Semiconductor мыналарды ұсынады:

• Термиялық, вакуумдық және дымқыл технологиялық орталар үшін жасалған жоғары тазалықтағы кварцты вафельді тасымалдаушылар

• Жетілдірілген жартылай өткізгіш өндірісіне жарамды тазалықты қатаң бақылау, бетінің тегістігі және тазалығы

• Пештерге, камераларға және технологиялық станцияларға арналған толық теңшеу және OEM-үйлесімді конструкциялар

• Қосымша жартылай өткізгіш кварц өнімдері, соның ішінде пеш түтіктері, вафельді қайықтар, тигельдер және басқа технологиялық компоненттер

Біздің жоғары тазалықтағы кварц пластинкалары біркелкі жылу байланысын сақтауға, бөлшектер мен металдың ластануын азайтуға және үздіксіз жоғары температура мен коррозиялық процесс жағдайында құралдың қызмет ету мерзімін ұзартуға көмектеседі, бұл жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары кірістілік пен төмен меншік құнын қолдайды.