ICP/PSS өңдеу процесі

VeTek Semiconductor ICPPSS (индуктивті байланысқан плазмалық фоторезисттік аршу) штамптау процесі вафельді тасымалдаушы жартылай өткізгіш өнеркәсібінің ою процестерінің күрделі талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Жетілдірілген мүмкіндіктерінің арқасында ол өңдеу процесінде оңтайлы өнімділікті, тиімділікті және сенімділікті қамтамасыз етеді.

VeTek Semiconductor ICP/PSS Etching Process Susveptors артықшылығы:

Жетілдірілген химиялық үйлесімділік: Вафельді тасымалдаушы өңдеу процесінің химияларымен тамаша химиялық үйлесімділікті көрсететін материалдар арқылы жасалған. Бұл химиялық реакциялардың немесе ластану қаупін барынша азайта отырып, еріткіштердің кең ауқымымен, резистенттік тазартқыштармен және тазалау ерітінділерімен үйлесімділікті қамтамасыз етеді.

Жоғары температураға төзімділік: Вафельді тасымалдаушы ою процесі кезінде кездесетін жоғары температураға төтеп беруге арналған. Ол өзінің құрылымдық тұтастығын және механикалық беріктігін сақтайды, тіпті экстремалды жылу жағдайында деформацияны немесе зақымдануды болдырмайды.

Этчтің жоғары біркелкілігі: Тасымалдаушы вафли беті бойынша қышқылдар мен газдардың біркелкі таралуына ықпал ететін нақты жобаланған дизайнға ие. Бұл дәл және сенімді ою нәтижелеріне қол жеткізу үшін қажетті тұрақты өңдеу жылдамдығына және жоғары сапалы, біркелкі үлгілерге әкеледі.

Вафельдің тамаша тұрақтылығы: Тасымалдаушы тұрақты орналасуды қамтамасыз ететін және вафлидің жылжуын немесе сырғуын болдырмайтын қауіпсіз ұстау механизмін біріктіреді. Бұл ақаулар мен өнімділік жоғалуларын барынша азайтып, дәл және қайталанатын сызу үлгілеріне кепілдік береді.

Cleanroom Compatibility: The wafer carrier is designed to meet strict cleanroom standards. It features low particle generation and excellent cleanliness, preventing any particle contamination that could compromise the quality and yield of the etching process.Impurity is below 5ppm.

Берік және берік құрылыс: Тасымалдаушы беріктігімен және ұзақ қызмет ету мерзімімен танымал жоғары сапалы материалдарды қолдану арқылы жасалған. Ол өзінің өнімділігін немесе құрылымдық тұтастығын бұзбай, қайталап пайдалану мен қатаң тазалау процестеріне төтеп бере алады.

Теңшелетін дизайн: Біз тұтынушылардың нақты талаптарын қанағаттандыру үшін теңшелетін опцияларды ұсынамыз. Тасымалдаушы әртүрлі вафли өлшемдерін, қалыңдықтарды және технологиялық сипаттамаларды орналастыру үшін бейімделуі мүмкін, бұл әртүрлі оюлау жабдықтары мен процестерімен үйлесімділікті қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі өңдеу процесін оңтайландыруға арналған біздің ICP/PSS Etching Process пластинаның сенімділігі мен өнімділігін көріңіз. Оның жақсартылған химиялық үйлесімділігі, жоғары температураға төзімділігі, жоғары тегістеу біркелкілігі, пластинаның тамаша тұрақтылығы, таза бөлмеге үйлесімділігі, берік конструкциясы және теңшелетін дизайны оны өңдеу қолданбалары үшін тамаша таңдау етеді.

PSS ою тақтасы ICP ою тақтасы ICP Эттинг сенсоры