SIC ICP пластинаны алу

ICP DEching (индуктивті түрде жұпталған плазманы алу) Технология - бұл жоғары дәлдіктегі және жоғары сапалы және жоғары сапалы, әсіресе терең шұңқырға, микро-үлгіні өңдеуге және т.б. үшін жеткілікті мөлшерде қолданылатын дәл өңдеу процесі

Жартылайон«S SIC ICP» плитасы жоғары сапалы SIC материалдарын қолдана отырып, ICP процесі үшін арнайы жасалған және жоғары температурада, күшті коррозиялық және жоғары энергетикалық ортада жақсы нәтиже береді. Подшипник және қолдаудың негізгі компоненті ретінде,ICP etchПластина процесс кезінде тұрақтылық пен тиімділікті қамтамасыз етеді.

SIC ICP пластинаны алуӨнімнің ерекшеліктері

● Жоғары температуралы толеранттылық

SIC ICP-ді жазу температураны 1600 ° C-қа дейін өзгеруі мүмкін, бұл қоршаған ортаға тұрақты пайдалану қоршаған ортада тұрақты пайдалануды және температура ауытқуларынан туындамауды болдырмайды.

●  Тамаша коррозияға төзімділік

Кремний карбиді материалыСутегі фторид, сутегі хлориді, күкірт қышқылы, күкірт қышқылы, күкірт қышқылы және т.б. сияқты жоғары коррозиялық химикаттарға және т.б. қарсы болуы мүмкін.

●  Төмен термиялық кеңейту коэффициенті

SIC ICP-ді қабылдау тақтайшасының жоғары температуралық кеңею коэффициентіне ие, бұл жоғары температуралық ортада жақсы өлшемді тұрақтылықты сақтай алады, температураның өзгеруінен туындаған стресс пен деформацияны азайтады және процедураны дәл қамтамасыз етеді.

●  Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік

SIC-те 9-ға дейін қаттылығы бар, бұл өңдеу процесінде пайда болуы мүмкін механикалық тозуға, қызмет ету мерзімін ұзартуға және ауыстыру жиілігін азайтуға мүмкіндік беретін қаттылыққа ие.

● excellent жылу өткізгіштігі

Тамаша жылу өткізгіштікті қамтамасыз етедіSic науасыӨткізу процесі кезінде жылуды тез арада тарата алады, бұл жылу жинақталуынан туындаған жергілікті температураның жоғарылауына жол бере алады, осылайша, егер бұл процестің тұрақтылығы мен біркелкілігін қамтамасыз ете аласыз.

Күшті техникалық команданың қолдауымен Veteksemicon SIC ICP ICP Науа әр түрлі қиын жобаларды аяқтап, сіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес арнайы өнімдерді ұсынады. Біз сіздің сұрағыңызды күтеміз.

SIC CVD негізгі физикалық қасиеттері: