Плазма фокус сақинасы

Вафли өндірісі саласында Ветек жартылай өткізгіштің фокустық сақинасы басты рөл атқарады. Бұл жай ғана қарапайым компонент емес, сонымен қатар плазмалық есепте маңызды рөл атқарады. Біріншіден, плазмалық etchig фокустық сақинасы вафлидің қажетті позицияда берік болуын қамтамасыз ету үшін жасалған, осылайша, процестің дәлдігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жасалған. Вафлиді орнында ұстау арқылы фокустау сақинасы плазмалық тығыздықтың біркелкілігін тиімді сақтайды, бұл сәттілік үшін қажетПроцесс.

Сонымен қатар, вафлидің жан-жақты ластануының алдын-алуда фокус сақинасы да маңызды рөл атқарады. Вафлилердің сапасы мен тазалығы чип өндірісі үшін өте маңызды, сондықтан вафлилерді бүкіл вафлиттердің барлық процестерінде таза болуын қамтамасыз ету үшін қажет. Фокус сақинасы сыртқы қоспалар мен ластаушы заттарды вафли бетінің бүйірлеріне кіруге, осылайша түпкілікті өнімнің сапасы мен орындалуын қамтамасыз етеді.

Бұрын,сақиналарнегізінен кварц пен кремнийден жасалған. Алайда, озық вафли өндірісінде құрғақ майлаудың артуымен кремний карбидінен (SIC) жасалған сақиналарға сұраныс артып келеді. Таза кремний сақиналарымен салыстырғанда, SIC сақиналары тұрақты және ұзаққа созылатын қызмет мерзімі бар, осылайша өндірістік шығындарды азайтады. Кремний сақиналарын әр 10-нан 12 күнге дейін ауыстыру керек, ал SIC сақиналары әр 15-20 күн сайын ауыстырылады. Қазіргі уақытта Samsung сияқты кейбір ірі компаниялар SIC орнына Бор Карбидті керамиканы (B4C) қолдануды зерттейді. B4C-тің қаттылығы жоғары, сондықтан құрылғы ұзаққа созылады.

Плазмалық жабдықпен жабдықталған жабдыққа, фокустық сақинаны орнату, субстрат бетін тазарту кемедегі негізде кесу қажет. Фокустарға арналған сақинаның ішкі жағындағы бірінші аймақтағы субстратпен қоршалған, ол түсіп, жиналу кезінде пайда болған реакция өнімдерінің алдын алу және сақтау кезінде пайда болатын шағын бетінің кедір-бұдыры бар бірінші аймақты қоршап алады. 

Сонымен бірге, бірінші аймақтан тыс екінші аймаққа қойылып, жиналу процесінде пайда болатын реакциялық өнімдерді ынталандыру үшін орташа беттің орташа өрісі бар. Алғашқы аймақ пен екінші аймақ арасындағы шекара - бұл плазмалық рингке салынған, ал плазмалық рингпен жабдықталған, ал плазмалық майлау субстратта жұмыс істейді.

Ветексемикон өнімдері дүкендері: