Kic қапталған e-Chuck

Gallium Nitride (GAN) үшінші буын жартылай өткізгіштің негізгі материалына айналады, оның жоғары жиілігі жоғары, жоғары қуатты, жоғары қуатты және оптоэлектрондық өрістердегі қосымшалары, мысалы, 5G байланыс базалық станциялары, қуат модульдері және жарықдиодты құрылғылар. Алайда, жартылай өткізгіштер өндірісінде, әсіресе кесіп өтетін процесте, әсіресе, вафли жоғары температураға, жоғары химиялық коррозияға ұшырап, өте жоғары дәлдікке ие болуы керек, олар вафли-вафли құралдары үшін өте жоғары техникалық стандарттарды ұсынады.

Vetek жартылай өткізгіштің SIC Cerical паллеттері GAN вафлиіне арналған, сонымен қатар сіздің өндірістік процесті қолдау үшін жоғары тазалық, жылу және химиялық тұрақтылықты ұсынуға арналған. Ол плазмалық (ICP / RIE) процесі үшін жарамды және заманауи жартылай өткізгіштердегі ең жақсы таңдау болып табылады.

Негізгі күштер

1. Жоғары тазалық SIC керамикалық материалы

Химиялық тұрақтылық: Материалдың тазалығы 99,5% -дан асады, ал ган вафлиінің ластануы жоқ.

Жоғары қаттылық пен тозу кедергісі: жоғары жиілікті қолдануға, көзге көрінбейтін өзгерістерге және сызаттарға төтеп бере алатын гауһарға жақын қаттылық.

2. Тамаша жылу өнімділігі

Жоғары жылу өткізгіштік, жылу кеңейту коэффициенті (CTE): КТРО-ның вафаланған қаупін азайту процесінде вафлидің бұзылу қаупін азайтыңыз.

3. Супер химиялық коррозияға төзімділік

Ол фторид, хлорид және басқа да коррозиялық газдың жоғары концентрациясында ұзақ уақыт жұмыс істей алады.

4. Дәлдік дизайн және өңдеу

Беттің кедір-бұдырлығы мен тегістігі вафлидің тегіс орналасуын қамтамасыз етеді және жоғары дәлдікке сәйкес келетін біркелкілікті қамтамасыз етеді.

Өлшемдер, ойықтар, тұрақты тесіктер және басқа құрылымдар тұтынушы талаптарына сәйкес реттелуі мүмкін.

SIC жабылған E-Chuck қосымшасы

● Plasma Etching (ICP / Rie)

Ол ган, ӘЖК және басқа материалдарды иемденуге жарамды жоғары температуралы және жоғары химиялық коррозия ортасында вафлиді және қолдауды қамтамасыз етеді.

● вафлиді беру және сақтау

Вафлидің қауіпсіздігін өндіріс процесінде қорғау үшін жоғары жалпақ және ластанусыз платформаны беріңіз.

Реттелген қызметтер

Ветек Жартылай өткізгіш сіздің нақты процесс қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін арнайы қызметтерді ұсынады:

● Өлшемді теңшеу: Паллет өлшемін вафли өлшеміне сәйкес (ø4 ~ 12 дюйм) сәйкес реттеуге болады.

● құрылымды оңтайландыру: Groove, позициялау саңылауы, бекітілген нүкте және басқа құрылымды теңшеу.

Ол жартылай өткізгішSIC жабылған E-Chuck өнімдері: