VeTek Semiconductor – жартылай өткізгіштерді өңдеу саласындағы сіздің инновациялық серіктесіңіз. Жартылай өткізгіштегі кремний карбиді керамика материалдарының комбинацияларының, құрамдастарды өндіру мүмкіндіктерінің және қолданбалы инженерлік қызметтердің кең портфолиосымен біз сізге маңызды қиындықтарды жеңуге көмектесе аламыз. Инженерлік техникалық кремний карбиді керамика жартылай өткізгіш өнеркәсібінде олардың ерекше материалдық өнімділігіне байланысты кеңінен қолданылады. VeTek Semiconductor компаниясының ультра таза кремний карбиді керамикасы жартылай өткізгішті өндіру мен өңдеудің бүкіл циклінде жиі пайдаланылады.
ДИФФУЦИЯ ЖӘНЕ LPCVD ӨҢДЕУ
VeTek Semiconductor сериялық диффузия және LPCVD талаптары үшін арнайы әзірленген инженерлік керамика компоненттерін қамтамасыз етеді, соның ішінде:
● Қалқандар мен ұстағыштар
● Инжекторлар
● Түтіктер және технологиялық түтіктер
● Кремний карбиді консоль қалақтары
● Вафельді қайықтар мен тұғырлар
ETCH ПРОЦЕСС КОМПОНЕНТТЕРІ
Ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді плазмалық қышқылды өңдеудің күрделілігіне арналған жоғары тазалықтағы компоненттермен азайтыңыз, соның ішінде:
● Фокус сақиналары
● Саңылаулар
● Қалқандар
● Душқа арналған бастар
● Терезелер / Қақпақтар
● Басқа пайдаланушы құрамдастары
ЖЫЛДАМ ТЕРМИЯЛЫҚ ӨҢДЕУ ЖӘНЕ ЭПИТАКСИАЛДЫҚ ПРОЦЕСС КОМПОНЕНТТЕРІ
VeTek Semiconductor жартылай өткізгіш өнеркәсібінде жоғары температурада термиялық өңдеу қолданбаларына бейімделген жетілдірілген материал компоненттерін ұсынады. Бұл қолданбалар RTP, Epi процестерін, диффузияны, тотығуды және күйдіруді қамтиды. Біздің техникалық керамика сенімді және тұрақты өнімділікті қамтамасыз ететін термиялық соққыларға төтеп беруге арналған. VeTek Semiconductor компоненттерінің көмегімен жартылай өткізгіш өндірушілер жартылай өткізгіш өндірісінің жалпы табысына ықпал ете отырып, тиімді және жоғары сапалы термиялық өңдеуге қол жеткізе алады.
● Диффузорлар
● Оқшаулағыштар
● Суцепторлар
● Басқа арнайы жылу құрамдастары
Негізгі мүмкіндіктер
● Өте жоғары тазалық: SiC мазмұны >99,96%, бос кремний <0,1%, металдың ластануын азайтады.
● Жоғары температурада тамаша өнімділік: жұмыс температурасы 1600°C (тотықтырғыш) / 1700°C (тотықсыздандырғыш) дейін.
● Жылдам термиялық циклдар кезінде сенімді жұмыс үшін жоғары термиялық соққыға төзімділік және төмен термиялық кеңею.
● Жоғары механикалық беріктік (сығымдау >600 МПа) және технологиялық газдар мен плазмаларға қарсы химиялық инерттілік.
● Диффузия/LPCVD, өңдеу, RTP және эпи процестеріне арналған кең ауқымды өнім ассортименті — вафельді қайықтардан фокус сақиналары мен реттелетін бөлшектерге дейін.
● Ұзақ қызмет ету мерзімі және бөлшектердің түзілуі азаяды, бұл техникалық қызмет көрсету жиілігін төмендетуге және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
Өнімнің техникалық сипаттамалары
Қайта кристалданған кремний карбидінің физикалық қасиеттері
| Меншік |
Типтік мән |
| Жұмыс температурасы (°C) |
1600°C (оттегімен), 1700°C (тотықсыздандыратын орта) |
| SiC / SiC мазмұны |
> 99,96% |
| Si / тегін Si мазмұны |
< 0,1% |
| Көлемдік тығыздық |
2,60-2,70 г/см³ |
| Көрінетін кеуектілік |
< 16% |
| Қысу күші |
> 600 МПа |
| Суық иілу күші |
80-90 МПа (20°C) |
| Ыстық иілу күші |
90-100 МПа (1400°C) |
| Термиялық кеңею @1500°C |
4,70 × 10⁻⁶/°C |
| Жылу өткізгіштік @1200°C |
23 Вт/м·К |
| Серпімділік модулі |
240 ГПа |
| Термиялық соққыға төзімділік |
Өте жақсы |
Қолданбалар
Жартылай өткізгіш процестердің әртүрлі қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін VeTek мақсатты кремний карбиді керамика өнімдерін ұсынады. Төмендегі кесте оларды негізгі қолдану аймақтары бойынша жіктейді:
| Қолданба өрісі |
Типтік өнімдер |
Қолданба сипаттамасы |
| Диффузия және LPCVD |
SiC вафельді қайықтар, консольдық қалақшалар, технологиялық түтіктер, төсемдер, инжекторлар,қалқандар мен ұстағыштар
|
Пакеттік диффузиялық және LPCVD пештері үшін жоғары таза SiC компоненттері; тамаша термиялық тұрақтылық және 1600–1700°С дейін химиялық тұрақтылық, төмен ластану. |
| Плазмалық сүзгілеу процесі |
Фокус сақиналары, саптамалар, қалқандар, душ бастиектері, терезелер/қақпақтар, таңдамалы өңдеу компоненттері |
Плазмалық өңдеу ортасына арналған жоғары таза SiC бөліктері; бөлшектердің пайда болуын және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді, жоғары плазмалық төзімділікті азайту. |
| RTP / эпитаксиалды / термиялық өңдеу |
сезгіштер, диффузорлар, оқшаулағыштар, тапсырыс бойынша жылу компоненттері |
RTP, эпи, диффузия, тотығу және күйдіру компоненттері; термиялық соққыларға төтеп беруге және тұрақты жоғары температура өнімділігін қамтамасыз етуге арналған. |
| SiC Crystal Growth (PVT) |
Тазалығы жоғары SiC ұнтағы,7N CVD SiC шикізаты, тұқымды байланыстыруға қатысты бөліктер |
Ультра таза SiC бастапқы материалдары және PVT SiC монокристалының өсуіне қолдау көрсететін компоненттер, кірістілік пен кристалл сапасын жақсартады. |
| Вафельді өңдеу және тасымалдаушылар |
Вертикаль/көлденең SiC пластинкалы қайықтар, кремнийлі кассеталық қайықтар, тұғырлар, тығыздағыш сақиналар
|
Жоғары температурада өңдеу кезінде термиялық біркелкілікті, механикалық тұрақтылықты және ең аз ластануды қамтамасыз ететін дәлдіктегі тасымалдағыштар мен тығыздағыш компоненттер. |
Толығырақ процесті сәйкестендіру шешімдерін мына жерден қараңызТотығу және диффузиялық пешқатысты беттер.
Қытайдағы кремний карбиді керамикасының кәсіби өндірушісі және жеткізушісі ретінде бізде өз зауытымыз бар. Аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін теңшелген қызметтер қажет пе немесе Қытайда жасалған озық және берік кремний карбиді керамикасын сатып алғыңыз келе ме, сізбізге хабарлама қалдырыңыз.
