Тазалығы жоғары CVD SiC қапталған вафельді қайық

1. Негізгі өнімділік факторлары?

• 7N деңгейіндегі тазалық:Біз 99,99999% (7N) тазалық стандартын сақтаймыз. Бұл ұзақ жүру немесе тотығу қадамдары кезінде металды ластаушы заттардың вафлиге ауысуын болдырмау үшін келіспейді.
• CVD тығыздағыш (50–300 мкм):Біз бетті жай ғана «боямаймыз». Біздің 50–300 мкм CVD SiC қабатымыз субстрат үстінде толық тығыздағыш жасайды. Бұл кеуектілікті жояды, яғни реактивті газдардың бірнеше рет әсерінен немесе агрессивті SPM/DHF тазалаудан кейін де қайық химиялық заттарды ұстамайды немесе бөлшектерді төгпейді.
• Термиялық қаттылық:Кремний карбидінің табиғи төмен термиялық кеңеюі бұл қайықтарды түзу ұстайды. Жылдам термиялық күйдіру (RTA) кезінде олар салбырап кетпейді немесе бұралмайды, бұл робот қолының кептеліссіз әрқашан дұрыс ұяшыққа соғылуын қамтамасыз етеді.
• Тұрақты кірістілік:Беті төмен жанама өнім адгезиясы үшін жасалған. Азырақ жиналу вафлиге түсетін бөлшектердің аз болуын және дымқыл орындықты тазалау циклдері арасында көбірек жүгіруді білдіреді.
• Арнаулы геометрия:Әрбір фабтың өз қондырғысы бар. Көлденең пешті немесе тік 300 мм автоматтандырылған желіні іске қосып жатсаңыз да, біз оларды нақты Pitch және Slot сызбаларына өңдейміз.

2. Процесс үйлесімділігі

• Атмосфера:TMGa, AsH₃ және жоғары концентрациялы O₂ орталарына төзімді.
• Жылу диапазоны:1400°C дейін тұрақты ұзақ мерзімді жұмыс.
• Материалдар:Логикалық, қуаттылық және аналогты пластинкалардың тотығу және диффузия процестері үшін арнайы әзірленген.