PZT пьезоэлектрлік пластиналар (Si/SOI бойынша PZT)

1. Техникалық сәулет

Біздің пластиналар күрделі MEMS өңдеу кезінде оңтайлы адгезияны, өткізгіштікті және пьезоэлектрлік реакцияны қамтамасыз етуге арналған күрделі көп қабатты стек құрылымын ұсынады:

 ●Жоғарғы электрод (кілттік қабат): Pt (платина).

● Пьезо қабаты (негізгі қабат): PZT.

● Аралық қабаттар: дәннің бағытын және құрылымдық тұрақтылығын оңтайландыру үшін буфер қабатын, төменгі электродты және адгезия қабатын қамтиды.

● Субстрат: Si немесе SOI пластиналарымен үйлесімді.

2. Сапаны қамтамасыз ету және микроқұрылымды талдау

Біз қатаң техникалық сипаттама арқылы жоғары сенімділікті қамтамасыз етеміз:

 ●SEM талдауы: Сканерлеуші ​​электронды микроскопия (SEM) кескіндері жоғары сенімді MEMS қолданбалары үшін өте ыңғайлы, түйір өлшемі біркелкі таралатын тығыз, жарықтарсыз бет морфологиясын көрсетеді.

 ●XRD сипаттамасы: Рентген сәулелерінің дифракциясы (XRD) үлгілері пьезоэлектрлік өнімділіктің максималды коэффициенттерін қамтамасыз ететін күшті (100) артықшылықты бағдармен таза перовскит фазасының түзілуін растайды.

3. Техникалық сипаттамалар (сипаттамалар)

4. Негізгі қолданбалар

 ● Пьезоэлектрлік микромашиналы ультрадыбыстық түрлендіргіштер (pMUT): Саусақ ізі сенсорлары, қимылдарды тану және автомобильдің ультрадыбыстық радарына арналған жоғары жиілікті кішірейтілген массивтер.

 ● Байланыс: 5G/6G жүйесінде FBAR немесе SAW сүзгілерін өндіру кілті, өткізу қабілеттілігінің кеңеюіне және кірістіру жоғалуын азайтуға мүмкіндік береді.

 ● Акустикалық MEMS: MEMS динамиктері үшін қуатты өтпелі жауап береді және MEMS микрофондары үшін сигнал-шу қатынасын (SNR) жақсартады.

 ● Сұйықтықты дәл басқару: Сия бүріккіш басып шығару механизмдеріндегі тамшылардың көлемін нанолитр масштабында дәл бақылау үшін d31 режимі арқылы жоғары жылдамдықты діріл.

 ● Медицина және сұлулық (микросорғы): Жоғары сенімділігі және ықшам өлшемі бар медициналық небулайзерлерді немесе косметикалық ультрадыбыстық сорғыларды басқарады.

5. Баптау қызметтері

Si вафлилеріне стандартты тұндырумен қатар, біз арнайы орналастыру қызметтерін де ұсынамыз:

 ●Фильм мен қалыңдықты теңшеу: Дизайн талаптарына сәйкес арнайы пленка түрлерін және тапсырыс қалыңдығын орналастыру.

 ●OEM құю зауыты: Жоғары сапалы пьезоэлектрлік жұқа қабықшаны өсіру үшін тұтынушылардан жеткізілетін вафельді қабылдау.

 ●SOI субстрат қолдауы: Келесі сипаттамалармен SOI пластинкаларына мамандандырылған тұндыру: