Quartz компоненттерін жартылай өткізгіш жабдыққа қолдану

Кварц өнімдеріЖартылай өткізгішті өндіріс процесінде олардың жоғары тазалығына, температураға төзімділігі мен күшті химиялық тұрақтылыққа байланысты кеңінен қолданылады.

1.quartz-тің мұрагері

Өтініш - ол монокристалды кремнийдің өзектерін салу үшін қолданылады және кремний вафли өндірісінде тұтынушылық өзекті болып табылады.

Кварц крестМеталл қоспалармен ластануды азайту үшін жоғары тазалық кварц құмынан (4N8 және одан жоғары) жасалған. Оның жоғары температуралы тұрақтылығы (балқу нүктесі> 1700 ° C) болуы керек және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті болуы керек. Жартылай өткізгіш өрісіндегі кварцтың кристорлары негізінен кремнийдің жалғыз кристалдарын өндіру үшін қолданылады. Олар поликристалды кремний шикізатын тиеу үшін тұтынылатын кварц контейнерлері және оны төртбұрышты және дөңгелек түрлерге бөлуге болады. Шаршы квадрат поликристалды кремний құймаларын құю үшін қолданылады, ал дөңгелектер монокристалды кремний шыбықтарының сызбаларында қолданылады. Ол жоғары температураға төтеп беріп, химиялық тұрақтылықты сақтай алады, кремнийдің жалғыз кристалдарының тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді.

2. Кварц пешінің түтіктері

Кварц түтіктеріЖартылай өткізгіш өнеркәсіпте олардың сипаттамаларына байланысты кеңінен қолданылады (ұзақ мерзімді жұмыс температурасы 1100 ° C), химиялық коррозияға төзімділік (гидроторлы қышқыл сияқты бірнеше реагенттерден басқа тұрақты), жоғары тазалық (плиткалық құрамы төмен болуы мүмкін) және жақсы жеңіл таратылуы (әсіресе ультракүлгін сәулелермен). Негізгі сценарийлер вафли өндірісінің бірнеше негізгі процесінде шоғырланған.

Қолданудың негізгі сілтемелері:Диффузиялық, тотығу, CVD (химиялық будың тұнбасы)

Мақсаты:

• Диффузиялық түтік: жоғары температуралы диффузиялық процестерде қолданылады, ол кремнийді допингке өткізеді.
• Пеш түтігі: жоғары температуралы тотығу процесін емдеуге арналған тотығу пешіндегі кварцтық қайықтарды қолдайды.

Ерекше өзгешеліктері:

Ол жоғары тазалық (металл ионы ≤1ppm) және жоғары температуралы деформацияға төзімділік талаптарына сәйкес келуі керек (1200 ° C-тан жоғары).

3. Кварц кристал қайық

Әр түрлі жабдыққа байланысты ол тік және көлденең түрлерге бөлінеді. Әр түрлі FAB өндіріс сызықтарына байланысты, мөлшері 4-тен 12 дюймге дейін. Жартылай өткізгіш ИКЖ өндірісінде,Кварц кристалды қайықтарынегізінен вафлиді беру, тазарту және өңдеу процестерінде қолданылады. Жоғары температуралы және жоғары температуралы төзімді вафли-вафли-вафли-вафли бар, олар таптырмайтын рөл атқарады. Пештің түтігінің диффузиясы немесе тотығу процесінде бірнеше вафли Кварц кристалл қайықтарына орналастырылады, содан кейін партия өндірісі үшін пештің түтігіне итеріледі.

Жартылай өткізгіштердегі инжекторлар негізінен газ немесе сұйық материалдарды дәл тасымалдау үшін қолданылады және жұқа пленкалар мен допинг сияқты бірнеше негізгі процестерде қолданылады.

Кремний транзисторы мен интеграцияланған тізбекті өндіру процесінде ол кремнийді вафлиді алып жүреді және кремнийдің вафаландары тазалау кезінде ластанбағанына көз жеткізу үшін қышқыл мен алкалиге төзімді болуы керек.

6.. Кварц фланецтері, кварц сақиналары, сақиналар және т.б.

Ол жартылай өткізгішті өткізіп, басқа кварц өнімдерімен бірге, басқа кварц өнімдерімен біріктірілген, қуыстарды тығыз қоршалған, вафлиді тығыз қоршауға, вафлиді тығыз қоршауға, өндірістік процессте және қорғаныс рөлін ойнауға мүмкіндік беретін, ластанудың әр түрлі түрлерімен бірге қолданылады.

Кварц Белл банкаларыЖартылай өткізгіш өнеркәсіпте жиі қолданылатын негізгі компоненттер, сонымен қатар жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі және жоғары жарық таратылуы. Полисиликон өндірісінде, жоғары тазалық трихлоросилан сутектік трихлормен бірге белгілі бір пропорцияда араласады, содан кейін кварц қоңырауының қақпағымен жабдықталған, содан кейін Quartz Bell қақпағымен жабдықталған, мұнда полисиликонның өткізгіштігі бар кремний өзегінде төмендетілген реакция пайда болады.

8. Quartz дымқыл тазалау ыдысы

Қолдану кезеңі: кремнийді дымқыл тазалау

Пайдалану: ол қышқыл жуу (HF, H₂SO₄ және т.б.) және ультрадыбыстық тазалау үшін қолданылады.

Ерекшеліктері: күшті химиялық тұрақтылық және күшті қышқыл коррозиясына төзімділік.

9. Кварц сұйық коллекциясы бөтелкесі

Сұйық коллекция бөтелкесі негізінен ылғалды тазарту процесінде қалдықтарды немесе қалдық сұйықтықты жинау үшін қолданылады

Вафлиді дымқыл тазарту процесінде (мысалы, RCA тазалау, SC1 / SC2 тазалау), вафлиді шаю үшін көп мөлшерде ультрапи сулар немесе реагенттер қажет, ал шаюдан кейін құрамында шаюдан кейін бар, құрамында сұйықтық пайда болады. Біршама жабындық процестерден кейін (мысалы, фоторесті жабын), сонымен қатар жиналу қажет артық сұйықтықтар (мысалы, фоторезистикалық қалдықтар)) артық сұйықтықтар болады.

Функционалды кварц сұйық коллекциясы бөтелкелер, әсіресе «жоғары дәлдікті тазалау сатысында» (мысалы, жоғары дәлдікті тазалау сатысы »(мысалы, вафлидің алдын-ала сатысы), қалдық сұйықтық әлі де жоғары құнды реагенттер немесе одан кейінгі талдау қажет болуы мүмкін. Кварц бөтелкелерінің аз ластануы қалдық сұйықтықтың қайта ластануына кедергі келтіруі мүмкін, кейіннен қалпына келтіруге (реагент тазарту сияқты) немесе нақты анықтауға көмектеседі (мысалы, қалдық сұйықтықтағы қоспалар мөлшерін талдау).

Сонымен қатар, синтетикалық кварц материалдарынан жасалған кварц маскалары фотолитографияда үлгіні аудару үшін фотолитография машиналарының «негативтері» ретінде қолданылады. Және кварц кристалды осцилляторлары жұқа пленкамен (PVD, CVD, ALD) жұқа пленканың қалыңдығын бақылау және көптеген басқа аспектілер арасында, көптеген басқа аспектілер арасында қолданылған.

Қорытындылай келе, кварц өнімдері жартылай өткізгіш өндірісінің бүкіл процесінде, кварталы кремний (кварц критриктері), кварцтың бөренелері (кварцтың қисық сызықтары), кварцтың маскалары), иелену (кварцтық сақиналар), ал жұқа физикалық және химиялық қасиеттеріне сүйенеді. Жартылай өткізгіш процестердің эволюциясы арқылы тазалыққа, температураға төзімділікке және кварц материалдарының өлшемді дәлдігіне қойылатын талаптар одан әрі жетілдірілетін болады.