TAC жабдығы

Жоғары сапалы TAC APENT бекітілген бағытталған сақинаны Қытай өндірушісі Ветек жартылайдюсторы ұсынады. ТАК Қойылған бағытталған бағыттау сақинасы, ол төмен бағамен жоғары сапалы.

Сонымен қатарCVD TAC жабыныСондай-ақ, біз жапон компаниясымен бірге жапон компаниясымен бірге осы әдісті және TAC жабынының технологиясы керемет өнімділікті, оның ішінде 2500 ° C-тан жоғары және коррозиялық газдарға төзімділікті көрсетті. Қаптау қалыңдығы 20 мм-ден 200 мкм, ұзақ процестер мен жоғары циклдер кезінде тиімді қорғауды қамтамасыз ете алады. Әр түрлі мөлшердегі және геометриядағы қапсырмалармен қапталған ерекше икемділік. CVD-ге сәйкес келмеуі TACS, бұл әдіс қоршаған ортаға зиян келтірген кезде жартылай жабындар мен компоненттерді жаңартуды қолдайды. Негізгі кеуекті графиттің жанына байланысты біздің TAC жабындары сызаттар сынағымен тексерілген керемет механикалық тұрақтылыққа ие. Қаптау ластануды тудырмайды, ал өңделген SIC вафлиі бетінің ластануынан босатылады.

● Жоғары температураға төзімділік, жоғары тығыздық және жоғары ықшамдылық; Тамаша коррозияға төзімділік.

● Қасиеті бар жоғары тазалық <5ppm.

● жоғары температурада аммиак және сутегі газдарына химиялық инертті; Тамаша жылу тұрақтылығы.

● Crystal өсуі.

● Кремний карбид эпитаксиальды реакторлары.

● Газ турбиналық пышақтар.

● Жоғары температуралы және тотығуға төзімді саңылаулар.