Технология және шешімдер

Қуатты микросхемалар мен модульдердің термиялық кедергісі көбінесе «өткізгіштік жеткілікті жоғары» ғана емес, сонымен қатар өткізгіштік пен жылу кеңеюі бірге сәйкес келеді. Алмаз композиттері жылу өткізгіштікті жоғарылатады және жоғары алмазды көлемдік фракция арқылы CTE төмендетеді, үш жалпы жолды құрайды: алмаз-мыс, алмаз-алюминий және алмаз-SiC. Әдеттегі өнімділік ауқымдарына негізделген бұл мақала таңдау шекараларын, қолданба сценарийлерін және кіріспе бақылау нүктелерін түсіндіреді.

Камералық бөліктерді таңдаудағы нақты мәселе көбінесе «керамика немесе кварц» емес, бірақ: ағымдағы температура, коррозия, электрлік және механикалық шектеулер кезінде, қандай материал бөлшектерді, қызмет ету мерзімін және құнын бірге басқара алады. Бұл мақала жартылай өткізгішті кеңейтілген керамика мен кварц үшін бірыңғай іріктеу негізін жасайды, олардың рөлдік бөлінуін, төрт өлшемді бағалау тәсілін және сәтсіздікке, теңшеуге және сатып алуға оқу жолдарын түсіндіреді — және көлемді кремний карбиді мен графит + CVD SiC жабыны арасындағы нақты сызықты сызады.

Қатты SiC - бұл «қымбатырақ жабынды алмастырғыш» емес, интерфейссіз, плазмаға төзімді және өте ұзақ қызмет ету сценарийлері үшін басқа техникалық жол. Бұл мақалада оның оюлау және жоғары тазалықта қолданудағы қолдану шекаралары, қапталған графитпен ТШО-ны салыстыру және енгізу үшін тексеру нүктелері түсіндіріледі. Сызық жабын қабатының деламиминациясын немесе бөлшектердің фокус сақиналарына және ұқсас позицияларға көтерілуін қайта-қайта көргенде, мәселе көбінесе «тазалаудың жеткіліксіздігі» немесе «нашар партия» ғана емес, сонымен қатар плазмалық пішіннің сәйкестігі болып табылады.

Қапталған бөлшектерді әр қызмет ету мерзімінде толығымен жою қажет емес. Бұл мақалада CVD SiC қапталған графит бөлшектері тазалау және қалпына келтіру үшін қашан қолайлы болатынын, оларды кейіннен қалай қабылдауға болатынын және толық өмірлік циклді ойлау арқылы ауыстыру каденциясын қалай басқаруға болатынын түсіндіреді — бұл кірістілік пен бір жұмыстың құнын сенімдірек тепе-теңдендіруге көмектеседі. Желідегі қабылдағыштардың, алдын ала қыздыру сақиналарының және ұқсас бөлшектердің нақты құны тек сатып алу бағасы ғана емес, сонымен қатар ауыстыру жиілігі және жұмыс істемей қалу уақыты.