Кеуекті ӘЖК

Кеуекті ӘЖК


Ветек жартылайдюсторы - жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған кеуекті Sic-дің жетекші өндірушісі. ISO9001 өткен ISO9001, Ветек жартылай өткізгіш сапалы бақылауға ие. Vetek жартылай өткізгіш әрқашан кеуекті жүктерді керамикалық салада инноватор мен көшбасшы болуға ұмтылды.


Porous SiC Ceramic Disc

Кеуекті Sic Ceramic Dish


Кеуекті Sic керамикасы - бұл жоғары температурада жұмыстан шығарылған және ішіндегі көптеген аралас немесе жабық тесіктер бар керамикалық материалдар. Ол сонымен қатар 2-ден 100минге дейін тепе-дәрілермен масштабты сору тоғайы ретінде белгілі.


Кеуекті Sic керамикасы металлургия, химия өнеркәсібі, қоршаған ортаны қорғау, биология, жартылай өткізгіш және басқа да кен орындарында кеңінен қолданылады. Кеуекті Sic керамикасын көбіктендіру әдісімен, Sol гель әдісімен, ленталық құю әдісімен, қатты салған әдіс және сіңдіру әдісімен дайындалуы мүмкін.


Preparation of porous SiC ceramics by sintering method

Кеуекті Sic керамикасын бір-бірімен дайындау

Compressive strength of Porous SiC ceramicsFlexural strength of Porous SiC ceramicsFracture toughness of Porous SiC ceramicsthermal conductivity ofPorous SiC ceramics

Кеуекті кремний карбидінің керамикасының қасиеттері, әр түрлі әдістермен дайындалған, кеуектің функциясы ретінде



porous SiC ceramics Suction Cups in Semiconductor Wafer Fabrication

Жартылай өткізгіш вафирдегі кеуекті сиктік керамиканы сору кубогы


Ветек жартылай өткізгіштің кеуекті Sic-тің кеуекті Sic Ceramics ойнайды және жартылай өткізгіш өндірісінде вафлиді қысып, алып жүру рөлін ойнайды. Олар тығыз және формалы, күшті, күшті, ауа өткізгіште жақсы, адсорбцияда біркелкі.


Олар вафли шегініс және чип электростатикалық бөліну сияқты көптеген қиын мәселелерді тиімді шешеді және өте жоғары сапалы вафлиді өңдеуге көмектеседі.

Кеуекті сиктік керамиканың жұмыс диаграммасы:

Working diagram of porous SiC ceramics


Кеуекті сиктік керамиканың жұмыс принципі: кремний вафли вакуумдық адсорбция принципімен бекітілген. Өңдеу кезінде кеуекті сиктік керамикадағы кішкене тесіктер кремний вафлиі мен керамикалық беті арасындағы ауаны силикон вафлиі мен керамикалық беті арасындағы ауаны алу үшін қолданылады, осылайша кремний вафлиін бекітеді.


Өңдеуден кейін плазмалық су саңылаулардан шығады, кремнийдің вафлиінің керамикалық бетіне жабысып қалмас үшін, және сонымен бірге кремний вафлиі мен керамикалық беті тазаланады.


Microstructure of the porous SiC ceramics

Кеуекті сиктік керамиканың микроқұрылымы


Артықшылықтары мен ерекшеліктерін бөлектеңіз:


● Жоғары температураға төзімділік

● тозуға төзімділік

● Химиялық тұрақтылық

● Жоғары механикалық беріктік

● қалпына келтіру оңай

● Тамаша жылу соққыларына төзімділік


зат
бірлік
Кеуекті Sic керамикасы
Тері тесігі диаметрі
бір
10 ~ 30
Тығыздық
г / см3
1.2 ~ 1.3
Беттік Rougлалықану
бір
2.5 ~ 3
Ауаны сіңіру мәні
Кпа
-45
Иілгіш күш
МПа
30
Диэлектрлік тұрақты
1мхц
33
Жылу өткізгіштік
W / (МӘН)
60 ~ 70

Кеуекті сиктік керамикаларға арналған бірнеше қажеттілік бар:


1. Күшті вакуум адсорбциясы

2. Жұяқтым өте маңызды, әйтпесе жұмыс кезінде проблемалар туындайды

3. Деформация және металл қоспалар жоқ


Сондықтан Ветек жартылай өткізгіштің кеуекті Sic-тің ауа сіңіру құндылығы -45 кпаға жетеді. Сонымен бірге, олар зауыттан қоспаларды кетірмес бұрын, 1200 ℃ температурада 10 сағаттан тұрады және вакуумдық қапшықтарға оралған.


Кеуекті Sic керамикасы вафлиді өңдеу технологиясында, ауысу және басқа сілтемелерде кеңінен қолданылады. Олар байланыстыру, туралау, монтаждау, жылтырату және басқа сілтемелерде үлкен жетістіктерге жетті.


View as  
 
Кеуекті Sic вакуумы

Кеуекті Sic вакуумы

Vetek Semiconductor компаниясының кеуекті SiC вакуумдық патроны әдетте жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының негізгі компоненттерінде, әсіресе CVD және PECVD процестеріне қатысты қолданылады. Vetek Semiconductor компаниясы өнімділігі жоғары кеуекті SiC вакуумдық патронды өндіруге және жеткізуге маманданған. Қосымша сұрақтарыңызға қош келдіңіз.
Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон

Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон

Vetek жартылай өткізгішті кеуекті керамикалық вакуумдық патрон кремний карбидті керамикалық (SiC) материалдан жасалған, ол жоғары температураға тамаша төзімділікпен, химиялық тұрақтылықпен және механикалық беріктігімен ерекшеленеді. Бұл жартылай өткізгіш процесінде таптырмас негізгі компонент. Қосымша сұрауларыңызға қош келдіңіз.
Кеуекті сиктік керамикалық Чак

Кеуекті сиктік керамикалық Чак

Ветек жартылайдюстор вафлиді өңдеу технологиясында, трансферті және басқа сілтемелерде кеңінен қолданылатын кеуекті Sic Ceram Ceric ұсынады, байланыстыру, жазылу, патч, жылтырату, жылтырату, жылтырату және басқа сілтемелер, лазерлік өңдеу. Біздің кеуекті Sic Ceram Cheric Chuck Ultra күшті вакуумдық адсорбциясы, жоғары тегістік және жоғары тазалық көп жартылай өткізгіш салалардың қажеттіліктерін қанағаттандырады.

Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.


Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.


Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.


Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.


Кәсіби Кеуекті ӘЖК өндірушісі және Қытайда жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Сіздің аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін немесе Қытайда жасалған алдыңғы және берік және ұзақ уақыт берілетін және ұзақ уақыт беретін қызметтерді қаласаңыз, сізге жеке қызметтер қажет пе, жоқ па, бізге хабарлама қалдыра аласыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept