QR коды

Біз туралы
Өнімдер
Бізбен хабарласыңы
Телефон
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай
Ветек жартылайдюсторы - жартылай өткізгіш өнеркәсіпке арналған кеуекті Sic-дің жетекші өндірушісі. ISO9001 өткен ISO9001, Ветек жартылай өткізгіш сапалы бақылауға ие. Vetek жартылай өткізгіш әрқашан кеуекті жүктерді керамикалық салада инноватор мен көшбасшы болуға ұмтылды.
Кеуекті Sic Ceramic Dish
Кеуекті Sic керамикасы - бұл жоғары температурада жұмыстан шығарылған және ішіндегі көптеген аралас немесе жабық тесіктер бар керамикалық материалдар. Ол сонымен қатар 2-ден 100минге дейін тепе-дәрілермен масштабты сору тоғайы ретінде белгілі.
Кеуекті Sic керамикасы металлургия, химия өнеркәсібі, қоршаған ортаны қорғау, биология, жартылай өткізгіш және басқа да кен орындарында кеңінен қолданылады. Кеуекті Sic керамикасын көбіктендіру әдісімен, Sol гель әдісімен, ленталық құю әдісімен, қатты салған әдіс және сіңдіру әдісімен дайындалуы мүмкін.
Кеуекті Sic керамикасын бір-бірімен дайындау
Кеуекті кремний карбидінің керамикасының қасиеттері, әр түрлі әдістермен дайындалған, кеуектің функциясы ретінде
Жартылай өткізгіш вафирдегі кеуекті сиктік керамиканы сору кубогы
Ветек жартылай өткізгіштің кеуекті Sic-тің кеуекті Sic Ceramics ойнайды және жартылай өткізгіш өндірісінде вафлиді қысып, алып жүру рөлін ойнайды. Олар тығыз және формалы, күшті, күшті, ауа өткізгіште жақсы, адсорбцияда біркелкі.
Олар вафли шегініс және чип электростатикалық бөліну сияқты көптеген қиын мәселелерді тиімді шешеді және өте жоғары сапалы вафлиді өңдеуге көмектеседі.
Кеуекті сиктік керамиканың жұмыс диаграммасы:
Кеуекті сиктік керамиканың жұмыс принципі: кремний вафли вакуумдық адсорбция принципімен бекітілген. Өңдеу кезінде кеуекті сиктік керамикадағы кішкене тесіктер кремний вафлиі мен керамикалық беті арасындағы ауаны силикон вафлиі мен керамикалық беті арасындағы ауаны алу үшін қолданылады, осылайша кремний вафлиін бекітеді.
Өңдеуден кейін плазмалық су саңылаулардан шығады, кремнийдің вафлиінің керамикалық бетіне жабысып қалмас үшін, және сонымен бірге кремний вафлиі мен керамикалық беті тазаланады.
Кеуекті сиктік керамиканың микроқұрылымы
Артықшылықтары мен ерекшеліктерін бөлектеңіз:
● Жоғары температураға төзімділік
● тозуға төзімділік
● Химиялық тұрақтылық
● Жоғары механикалық беріктік
● қалпына келтіру оңай
● Тамаша жылу соққыларына төзімділік
зат
бірлік
Кеуекті Sic керамикасы
Тері тесігі диаметрі
бір
10 ~ 30
Тығыздық
г / см3
1.2 ~ 1.3
Беттік Rougлалықану
бір
2.5 ~ 3
Ауаны сіңіру мәні
Кпа
-45
Иілгіш күш
МПа
30 Диэлектрлік тұрақты
1мхц
33 Жылу өткізгіштік
W / (МӘН)
60 ~ 70
Кеуекті сиктік керамикаларға арналған бірнеше қажеттілік бар:
1. Күшті вакуум адсорбциясы
2. Жұяқтым өте маңызды, әйтпесе жұмыс кезінде проблемалар туындайды
3. Деформация және металл қоспалар жоқ
Сондықтан Ветек жартылай өткізгіштің кеуекті Sic-тің ауа сіңіру құндылығы -45 кпаға жетеді. Сонымен бірге, олар зауыттан қоспаларды кетірмес бұрын, 1200 ℃ температурада 10 сағаттан тұрады және вакуумдық қапшықтарға оралған.
Кеуекті Sic керамикасы вафлиді өңдеу технологиясында, ауысу және басқа сілтемелерде кеңінен қолданылады. Олар байланыстыру, туралау, монтаждау, жылтырату және басқа сілтемелерде үлкен жетістіктерге жетті.
Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.
Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.
Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.
Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.
+86-579-87223657
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай
Авторлық құқық © 2024 Vetek Semicontustor Technology Co., Ltd. Барлық құқықтар қорғалған.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |