Кеуекті Sic вакуумы

Ветек жартылай өткізгіш кеуекті Sic вакуумдық Чак негізінен кремний карбидінен (SIC), керемет өнері бар керамикалық материалдан тұрады. Кеуекті Sic вакуумдық шұңқырлар вафлидің рөлін және жартылай өткізгіштерді өңдеу процесінде қолданылуы мүмкін. Бұл өнім вафли мен Чактардың арасына жақын орналасуын қамтамасыз етуі мүмкін, сонымен қатар, вафлидің бүлінуі мен деформациялануынан тиімді, осылайша вафлидің деформациялануынан және өңдеу кезінде ағынның жазықтығын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, кремний карбидінің жоғары температураға төзімділігі Чактың тұрақтылығын қамтамасыз ете алады және вафлидің термиялық кеңеюіне байланысты құлап кетуіне жол бермейді. Әрі қарай кеңес алуға қош келдіңіз.

Электроника саласында Porous SiC вакуумдық патронды лазерлік кесу, қуат құрылғыларын, фотоэлектрлік модульдерді және электр энергиясының компоненттерін жасау үшін жартылай өткізгіш материал ретінде пайдалануға болады. Оның жоғары жылу өткізгіштігі және жоғары температураға төзімділігі оны электронды құрылғылар үшін тамаша материал етеді. Оптоэлектроника саласында Porous SiC вакуумдық патрон лазерлер, жарықдиодты қаптама материалдары және күн батареялары сияқты оптоэлектронды құрылғыларды өндіру үшін пайдаланылуы мүмкін. Оның тамаша оптикалық қасиеттері мен коррозияға төзімділігі құрылғының өнімділігі мен тұрақтылығын жақсартуға көмектеседі.

Ветек жартылай өткізгіш бере алады:

1. Тазалық: СИК тасымалдаушысын өңдеуден кейін, нақыштау, тазалау және қорытынды жеткізу, оны тазарту және қорытынды жеткізу, ол барлық қоспаларды күйдіруге, содан кейін вакуумдық қапшықтарға оралғаннан кейін 1200 градус температурада болуы керек.

2. Өнімнің тегістігі: Веферді орналастырмас бұрын, ол жылдам беріліс кезінде тасымалдаушының ұшуына жол бермеу үшін жабдыққа орналастырылған кезде -60 кпадан жоғары болуы керек. Ваферді орналастырғаннан кейін ол -70 кпадан жоғары болуы керек. Егер жүктеме температурасы -50 кпаға қарағанда төмен болса, машина ескертеді және жұмыс істей алмайды. Сондықтан артқы жағындағы тегістік өте маңызды.

3. Газ жолының дизайны: Тапсырыс берушінің талаптарына сәйкес реттелген.

Клиенттерді тестілеудің 3 кезеңі:

1. Тотығу сынағы: оттегі жоқ (тұтынушы 900 градусқа дейін тез қызады, сондықтан өнімді 1100 градуста күйдіру керек).

2. Металл қалдықтарын сынау: 1200 градусқа дейін жылдам қыздырыңыз, пластинаны ластайтын металл қоспалары шығарылмайды.

3. Вакуумдық тест: вафлидің қысымы менсіз қысым арасындағы айырмашылық + 2KA (сору күші).

VeTek жартылай өткізгіш кеуекті SiC вакуумдық патрон сипаттамалары кестесі:

VeTek жартылай өткізгіш кеуекті SiC вакуумдық патрон цехтары:

Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: