Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон

Vetek Semiconductor – бұл материалдар өңдеу кезінде жылжып кетпеуін немесе деформацияланбауын қамтамасыз ету үшін кремний пластинкаларын немесе басқа негіздерді вакуумды адсорбция арқылы бекіту және ұстау үшін пайдаланылатын кеуекті керамикалық вакуумдық патронды қытайлық өндіруші. Vetek Semiconducto бағасы жоғары өнімділігі жоғары таза кеуекті керамикалық вакуумдық патрон өнімдерін ұсына алады. Сұрауға қош келдіңіз.

Vetek Semiconductor компаниясы заманауи жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген тамаша кеуекті керамикалық вакуумдық патрон өнімдерінің сериясын ұсынады. Бұл тасымалдаушылар тазалық, тегістік және реттелетін газ жолы конфигурациясында тамаша өнімділікті көрсетеді.

Теңдесі жоқ тазалық:

Қоспаларды жою: Әрбір кеуекті керамикалық вакуумдық патрон 1200°C температурада 1,5 сағат бойы қоспалардан тазартылады және бетінің жаңа сияқты таза болуын қамтамасыз етеді.

Вакуумды қаптама: Таза күйді сақтау үшін Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон сақтау және тасымалдау кезінде ластануды болдырмау үшін вакууммен оралған.

Тамаша тегістік:

Қатты пластинаның адсорбциясы: Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон пластинаның қатты адсорбциялануын қамтамасыз етіп, жоғары жылдамдықты беру кезінде оның құлап кетуіне жол бермей, вафлиді орналастырғанға дейін және кейін сәйкесінше -60кПа және -70кПа адсорбциялық күшті сақтайды.

Дәл өңдеу: Тасымалдаушының артқы жағы толығымен тегіс бетті қамтамасыз ету үшін дәл өңделген, осылайша тұрақты вакуумды тығыздағышты сақтайды және ағып кетуді болдырмайды.

Арнайы дизайн:

Тұтынушыға бағытталған: Vetek Semiconductor тиімділік пен өнімділікті оңтайландыру үшін олардың арнайы технологиялық талаптарына сәйкес келетін газ жолы конфигурацияларын жобалау үшін тұтынушылармен тығыз жұмыс істейді.

Қатаң сапа сынағы:

Vetek оның сапасын қамтамасыз ету үшін Poous SiC вакуумдық патронның әрбір бөлігінде жан-жақты сынақтар жүргізеді:

Тотығу сынағы: SiC вакуумдық патрон нақты тотығу процесін имитациялау үшін оттегісіз ортада 900°C дейін жылдам қызады. Бұған дейін оңтайлы өнімділікті қамтамасыз ету үшін тасымалдаушы 1100°C температурада күйдіріледі.

Металл қалдығы сынағы: Ластанудың алдын алу үшін, тұндырылған металл қоспаларының бар-жоғын анықтау үшін тасымалдаушы 1200°C жоғары температурада қыздырылады.

Вакуумдық сынақ: Кеуекті SiC вакуум патронының вафлиі бар және онсыз қысым айырмашылығын өлшеу арқылы оның вакуумды тығыздау өнімділігі қатаң тексеріледі. Қысым айырмашылығы ±2кПа шегінде бақылануы керек.

Кеуекті керамикалық вакуумдық патрон сипаттамалары кестесі:

VeTek жартылай өткізгіш кеуекті SiC вакуумдық патрон цехтары: