Тантал Карбид (TAC) дегеніміз не?

Тантал Карбид (TAC)Тантал (TA) және көміртегі (C) екілік қосылысы, әдетте, химиялық формуласы бар, әдетте, TACₓ (мұнда x 0,4-тен 1-ге дейін). Ол керемет керамикалық материал ретінде жіктеледі, өте қаттылық, жоғары температуралы тұрақтылық және металл өткізгіштік.

1. Тантал карбидінің құрылымы

1.1 Химиялық құрам және кристалды құрылым

Тантал Карбиді - бұл тантал (ТК) және көміртегі (C) -ден тұратын екілік керамикалық қосылыс.

Оның кристалды құрылымы - бұл жоғары деңгейдегі текше (FCC), бұл өте жақсы қаттылық пен тұрақтылық береді.

1.2 Бекітілдіру қасиеттері

Күшті ковалентті байланыс тантал көмірсущін өте қиын және деформацияға төзімді етеді.

TAC өте төмен диффузиялық коэффициенті бар және тіпті жоғары температурада да тұрақты болып қалады.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны

2. Тантал Карбидінің физикалық қасиеттері

2.1 Ультра жоғары балқу нүктесі

Балқу нүктесі 3 880 ° C-мен тантал карбидінде кез-келген белгілі материалдың ең жақсы балқу нүктелерінің бірі бар, нәтижесінде температурада керемет тұрақтылық тудырады.

2.2 Тамаша қаттылық

Мохтың қаттылығымен шамамен 9-10, ол гауһарға жақын, сондықтан олар тозуға төзімді жабындарда кеңінен қолданылады.

2.3 электр өткізгіштік жақсы

Көптеген керамикалық материалдардан айырмашылығы, TAC жоғары металл тәрізді электр өткізгіштікке ие, бұл белгілі бір электрондық құрылғылардағы қосымшалар үшін құнды етеді.

2.4 Коррозия және тотығу кедергісі

TAC қышқыл коррозиясына өте төзімді және ұзақ уақыт бойы қатал ортадағы құрылымдық тұтастықты сақтайды.

Алайда, TAC эфирдегі танталға (Ta₂o₅) 1,500 ° C-тан жоғары болуы мүмкін. 

3. Жалпы дайын тантал карбидтері

3.1 Тантал Карбидке арналған жабылған

● CVD танталға арналған карбид: Жартылай өткізгіштің эпитаксиінде және температураны жоғары өңдеуде қолданылады.

● Тантал көмірсутегі қапталған графит бөліктері: Жоғары температуралы пештерде және вафли өңдеу камераларында қолданылады. Мысалдарға Тантал карбидімен қапталған Карбидті қабық графиті кіреді, бұл кристалды өсу, жылу стрессін азайту, жылу біркелгіні жақсартып, коррозияға төзімділікті жақсартып, кірленетін қоспаны жақсартады.

● Тантал көмірсутегі қапталған бұрылыс тақтайшасы: Veteksemicon-дің TAN-дің айналу тақтасы LPE EPI System, Aixtron System, Nuflare жүйесі, TEL CVD жүйесі, Veeco System, TSI жүйесінде кеңейтілген және тығыз және біркелкі құрылымға ие. Жүйелер, TSI жүйелері.

● TAC жабынды жылытқышы.

● Тантал көмірсущы: CVD TAC-мен қапталған кристранттар PVT-де SIC жалғыз кристалдарының өсуінде маңызды рөл атқарады.

3.2 Кесу құралдары мен тозуға төзімді компоненттер

● Tantalum Carbide қапталған карбидті кесу құралдары: Құралдың өмірі мен өңдеу дәлдігін жақсарту.

● Аэроғарыш саңылаулары және жылу қалқандары: Төтенше жылу және коррозиялық ортада қорғауды қамтамасыз етіңіз.

3.3 Tantalum Carbide жоғары өнімділігі керамикалық бұйымдар

● Ғарыш аппараттарының термиялық қорғау жүйелері (TPS): ғарыш кемесі және гиперсониялық көліктер үшін.

● ядролық отын жабындары: Ядролық отын таблеткаларын коррозиядан қорғау.

4. Жартылай өткізгіш өндіріске арналған тантал карбиді қосымшалары

4.1 Тантал көмірсутегі қапталған тасымалдаушылар (сезімтал) эпитакситтік процестер

Рөлі: Графитті тасымалдаушыларға қолданылатын тантал карбидінің жабындары химиялық бумен тұндыру (CVD) және металл-органикалық химиялық будың (MOCVD) процестеріндегі жылу біркелгін және химиялық тұрақтылықты жақсартады.

Артықшылығы: технологиялық ластану және кеңейтілген тасымалдаушы өмірі.

4.2 etch және тұндыру компоненттері

Вафлиді трансферлік сақиналар мен қалқандар: Тантал көмірсутегі жабыны плазмалық этчтер камераларының беріктігін жақсартады.

Артықшылығы: агрессивті ортаны қарсы алып, ластағыштардың жауын-шашынын азайтады.

4.3 Жоғары температуралы қыздыру элементтері

SIC CVD-дегі қолдану

4.4 Жартылай өткізгіштер үшін қорғаныс жабындары

Неліктен сізге TAC жабыны керек?  Жартылай өткізгіштік өндіріс өте температура мен коррозиялық газдарды қамтиды, ал Тантал көмірсутегі жабындары жабдықтардың тұрақтылығы мен өмір сүруін жақсартуда тиімді.

5. Неліктен таңдауЖартылайон?

Ветексемикон - жетекші өндіруші және жеткізушіТантал көмірсутегі жабыныҚытайдағы жартылай өткізгіш өнеркәсіпке материалдар. Біздің негізгі өнімдерімізге CVD танталға арналған карбид қосылған бөлшектер, SIC Crystal өсуі немесе жартылай өткізгіш эпитакси процестеріне арналған так қосылған бөлшектер кіреді. Ветексемикон Тантал көмірсутегі индустриясының жаңашыл және көшбасшысы болып табылады және үздіксіз ҒЗЖ және технологиялар итерациясы арқылы.