Өнімдер
TAC жабыны тұғырды тіреу табақшасы
  • TAC жабыны тұғырды тіреу табақшасыTAC жабыны тұғырды тіреу табақшасы

TAC жабыны тұғырды тіреу табақшасы

TAC жабыны 2200 ℃ жоғары температураға төтеп бере алады. Ветек жартылайдюсторы Қытайда 5PPM-ден төмен қоспалармен жоғары тазалық жабынын ұсынады. TAC жабыны тұғырын тіреу тақтасы epitaxial құрылғысының реакциясы орталығында аммиак сутегі, Аргонинді қарсы алады. Сіз талаптарды ұсынасыз, біз теңшелеміз.

Ветек жартылайдюсторы, ол Қытай өндірушісі және жеткізушісі, ол негізінен CVD TAC CORCEPS, кіретін сақиналар, вафли Chunck, TAC жабыны, TAC жабыны, тасты тірек табақшасы көп. Сізбен іскерлік қарым-қатынас орнатуға үміттенемін.


TAC Ceramics-тің балқу нүктесі, 3880 ℃ дейін, жоғары қаттылық (Mohs қаттылығы 9 ~ 10), үлкен жылу өткізгіштік (22 зертпен)-1· K-1), ірі иілу күші (340 ~ 400 МПа), ал шағын жылу кеңейту коэффициенті (6,6 × 10)-6K-1) және керемет термохимиялық тұрақтылық пен керемет физикалық қасиеттерді көрсету. Оның графитімен және механикалық үйлесімділігі бар, сондықтан TAC COMPOSITE, сондықтан TAC жабыны аэроғарыштық термиялық қорғаныс кезінде кеңінен қолданылады, жартылай өткізгіш өнеркәсіпте Aixtron, LPE EPI реакторлары сияқты біртұтас кристаллдық өсу және эпитаксиальды реакторлар кеңінен қолданылады. 


TAC қапталған графиттің құрамында ең жақсы температураға қарағанда жақсы химиялық коррозияға қарсы тұру, ең жоғары температура, эпитаксия және вафлидің үшінші буыны температура мен қоспаларды бақылау процесін, жоғары сапалы кремний карбид вафлиді және соған байланысты эпитакситті едәуір жақсартады вафли. Бұл, әсіресе, MOCVD жабдықтарында және SIC-тің бір кростальды және SIC-тің жалғыз кристаллын өсіруге жарамды, ал PVT жабдықтарында бір кристалл және жалғыз кристаллдың сапасы айқын жақсарған.


TAC жабыны және SIC жабыны қосалқы бөлшектері Біз жасай аламыз:

TaC coating and SiC coating Spare parts


TAC жабынының параметрі:

TAC жабынының физикалық қасиеттері
TAC жабыны тығыздығы 14.3 (г / см³)
Нақты эмиссия 0.3
Термиялық кеңейту коэффициенті 6.3 10-6/ К
TAC жабынының қаттылығы (HK) 2000 ж
Қарсыласу 1 × 10-5Ом * см
Жылу тұрақтылығы <2500 ℃
Графит өлшемінің өзгеруі -10 ~20um
Қаптау қалыңдығы ≥20um типтік мәні (35UM ± 10UM)


БагажникЖартылай өткізгіш чип Epitaxy Industry Өнеркәсіптік тізбек:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


Ол жартылай өткізгішTAC жабыны тұғырды тіреу табақшасыӨндіріс дүкені

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Hot Tags: TaC Coating Pedestal Support Plate
Сұрау жіберу
Байланыс ақпараты
  • Мекенжай

    Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай

  • Электрондық пошта

    anny@veteksemi.com

Кремний карбиді жабыны, тантал карбиді жабыны, арнайы графит немесе бағалар тізімі туралы сұраулар үшін бізге электрондық поштаңызды қалдырыңыз, біз 24 сағат ішінде байланысамыз.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept