Кеуекті графит

SIC субстрат өндірушілері көбінесе ыстық өріс процесі үшін кеуекті графитті цилиндрмен кресалды дизайнды қолданады. Бұл дизайн булану аймағын көбейтеді және зарядтау көлемін арттырады. Кристалл ақауларын жою, жаппай беруді тұрақтандыру және SIC Crystal сапасын жақсарту үшін жаңа процесс жасалды. Ол термиялық кеңею және стрессті жеңілдету үшін тұқымсыз кристалды кристалды науаны бекіту әдісін қамтиды. Алайда, айқышсыз графит пен кеуекті графитті нарықпен қамтамасыз ету аздаған кристалдардың сапасы мен шығымдылығына кедергі келтіреді.

Ветек жартылай өткізгіштің кеуекті графиті негізгі ерекшеліктері:

1. Температураның температуралық ортасының төзімділігі - өнім 2500 градусқа төтеп бере алады, бұл өте жақсы жылу кедергісін көрсетеді.

2.Төрелектілік бақылау - Ветек жартылайдюсторы дәйекті өнімділікті қамтамасыз ететін кері төсенішті басқаруды сақтайды.

3.Ултра-жоғары тазалық - қолданылатын кеуекті графитті материал қатаң тазарту процестері арқылы таза тазалық деңгейіне қол жеткізеді.

4. Жер бетіндегі бөлшектерді байланыстыру мүмкіндігі - Ветек жартылай өткізгішке бетінің керемет бөлшектерін байланыстыру мүмкіндігі және ұнтақты адгезияға төзімді тамаша.

5.Газды тасымалдау, диффузия және біркелкілік - графиттің кеуекті құрылымы газ бен диффузияны жеңілдетеді, нәтижесінде газдар мен бөлшектердің жақсаруы мүмкін.

6. Ветектерді бақылау және тұрақтылық - Ветек жартылай өткізгіш жоғары тазалық, ластанудың аз мөлшері, ал кристалды өсудің сапасын қамтамасыз ету үшін химиялық тұрақтылықты көрсетеді.

.

8. Ерітілген ерітінді диффузиясы және өсу қарқыны - кеуекті құрылымда біршама ерітінді таратуға, өсу қарқынын және кристалдардың біркелкілігін арттырады.