Материалдар және дизайн

Сәйкес субстрат пен жабын комбинациясын таңдау компоненттің мерзімінен бұрын істен шығуын болдырмаудың, бөлшектердің ластануын азайтудың және пластинаның шығымдылығын арттырудың кілті болып табылады. Біз тапсырыс берушінің арнайы технологиялық терезесінің (жұмыс температурасы, реактивті газ химиясы, рампа жылдамдығы) айналасында арнайы материалды және құрылымдық дизайн шешімдерін ұсынамыз.

Біздің негізгі дизайн мүмкіндіктеріміз:

• CTE кернеуінің қатаң сәйкестігі:Жылдам термиялық цикл (>100 °C/мин) үшін біз жоғары таза графит субстраттары мен CVD жабындарының CTE температура қисықтарын дәл сәйкестендіреміз, бұл жабынның қабаттасуы мен микрокрекинг қаупін түбегейлі азайтады.
• Процесс сценарийі бойынша жабынды таңдау:Si/SiC эпитаксисі (Epi), MOCVD және плазмалық сызу орталары үшін CVD SiC жабыны; Жоғары температура және қатты коррозиялық жағдайлар үшін CVD TaC жабыны (мысалы, SiC монокристалды PVT өсуі).
• Басқарылатын кедергі және жылу өткізгіштік оңтайландыру:РЖ, ESC электростатикалық патрондар немесе жылыту аймақтарының арнайы электрлік және жылу өрісі талаптарын қанағаттандыру үшін субстрат пен жабынның көлемдік кедергісі мен жылу өткізгіштігін дәл бақылау.
• Ластану көзін бақылау және COO азайту:Жоғары тазалықтағы CVD тұндыру қабаттары кеуекті графитті тығыз жабады, бөлшектердің төгілуін, ультра-іздесті металл қоспаларының диффузиясын және жоғары температурада газдан шығу қаупін айтарлықтай азайтады.

Типтік жабынды таңдауды салыстыру (бір қарағанда нұсқаулығы)

Нақты жағдай және тұтынушы артықшылықтары (тәжірибе):

Жетекші SiC эпитаксисінің (Epi) өндірушісі:Түпнұсқа компонент сәйкес келмейтін CVD TaC жабынын қолданды, бұл шамадан тыс аралық кернеуге және жоғары температурада жиі микро-жарықтарға әкеледі. Біз термодинамикалық модельдеуді қайта жүргізіп, аCTE сәйкес жоғары таза графиттік субстрат + буферлік қабат + CVD SiC жабынышешім. Нәтиже: құрамдас бөліктің орташа қызмет ету мерзімі 200 сағаттан 850 сағатқа дейін өсті; бір құралды ауыстырудың жылдық жиілігі 40-тан 9 есеге дейін төмендеді; кешенді жабдықты жөндеу және жөндеу шығындарын үнемдеу жылына 650 000 юаннан асты.

TaC және SiC жабындары үшін GDMS тазалығын талдау есебі

Жиі қойылатын сұрақтар

Эксклюзивті қызметіңізді қазір бастаңыз