Кремний нитриді

1. Жақсы химиялық тұрақтылық

Кремний Нитридті керамика өте жақсы химиялық тұрақтылығы бар және түрлі күшті қышқылдар, сілтілер және коррозиялық газдармен төтеп бере алады. Жартылай өткізгіштерде өндірістік процесте коррозиялық химикаттармен жиі айналысу керек, кремний нитридті керамикамен ұзақ мерзімді тұрақты кепілдік бере алады.

2. Тамаша механикалық қасиеттері

Силикон Нитридті керамика жоғары қаттылығы, керемет сығымдау күші және тозуға төзімділікке ие, механикалық күйзеліске және механикалық күйзеліске, деформацияға немесе жарылуға қабілетті. Бұл механикалық қасиет оны жартылай өткізгіш жабдықтардағы құрылымдық және технологиялық бөлшектерге арналған материал ретінде өте қолайлы етеді.

3. Жоғары температуралық тұрақтылық

Силикон Нитридті керамика жоғары температуралы ортада тұрақтылықты сақтай алады, жұмсарту немесе еріту оңай емес, сонымен қатар жартылай өткізгіштік өндіріс процесінде жоғары температуралы өңдеу мен өңдеуге төтеп бере алады. Бұл оған жоғары температуралы технологиялық жабдық, мысалы, грипбстер, реакциялық камера компоненттері және т.б.

4. Тамаша оқшаулағыш қасиеттері

Жартылай өткізгіш құрылғыны оқшаулағыш қасиеттері өте маңызды. Силикон Нитридті керамикада жақсы оқшаулағыш қасиеттерге ие, бұл құрылғының тұрақтылығы мен сенімділігін арттыруға көмектеседі.

5. Жылу өткізгіштік және жылу өткізгіштік

Силикон Нитридті керамикада жоғары жылу өткізгіштікке ие, құрылғыны өндіретін жылуды тиімді жүргізіп, таратады, бұл құрылғының жұмыс істеп тұрған температуралық тұрақтылығын қамтамасыз етуге көмектеседі. Бұл жартылай өткізгіш құрылғылардың жоғары өнімділігі үшін өте маңызды.

1. Электростатикалық чактар ​​және камералық компоненттерді игеру

Силикон Нитридті керамика көбінесе электростатикалық чактарға арналған материалдар ретінде қолданылады және олардың жақсы химиялық тұрақтылығына және температураның жоғары төзімділігіне байланысты жартылай өткізгіш өндірісінде камералық компоненттерді алады. Электрстатикалық чактар ​​Вафтерлерді немесе субстраттарды түзету және тұрақтандыру үшін қолданылады, ал камералық компоненттерді коррозиялық газдар мен жоғары температуралық орталарға төтеп беру үшін қолданылады.

2. Газ тарату нөмірлері мен шағылыстырғыштар

Кремний Нитридті керамика газ тарату плиталары мен шағылыстырғыштардағы жартылай өткізгіш жабдықтар өндірісінде де қолданылады. Газ тарату тақталары реакция камерасына реактивті немесе қорғаныс газдарын біркелкі тарату үшін қолданылады, ал реакция тиімділігі мен біркелкілікті арттыру үшін реакция камерасындағы жарықтың таралуы мен шағылысуын оңтайландыру үшін қолданылады.

3. Ұстап, жылу компоненттері

Силикон Нитридтік керамика көбінесе жартылай өткізгіштік өндірістік жабдықтардағы ұстаушылар мен жылу басқару компоненттері ретінде қолданылады. Бұл компоненттердің тұрақты жабдықтың жұмысын және құрылғыны өңдеудің дәлдігін қамтамасыз ету үшін жақсы механикалық, тозуға және жылу өткізгіштікке ие болуы керек.

4. Химиялық механикалық жылтырату (CMP) жастықшалары

Кремний нитридті керамика химиялық механикалық жылтырату (CMP) процесінде эстрада материалы ретінде кеңінен қолданылады. Бұл өте жақсы жазықтық және тозуға төзімді, ал жартылай өткізгіш вафли бетінің тегіс және дәлдігін қамтамасыз ету үшін жылтырату кезінде тұрақты қолдау көрсете алады.