Кремний нитриді

VeTek Semiconductor кремний нитриді өндірісіне назар аударады және аға сарапшылар мен үздік техникалық таланттардан тұратын зерттеу және әзірлеу тобына ие. Кремний нитридті керамика жалпы керамикалық материалдардың қаттылығы, ыстыққа төзімділігі, тозуға төзімділігі және коррозияға төзімділігі сияқты артықшылықтарға ие және жақсы термиялық соққыға төзімділік, жоғары температуралық сусымалы төзімділік, жақсы өзін-өзі майлау және жақсы химиялық тұрақтылық сияқты артықшылықтарға ие және кең таралған. жаңа энергетикада, химия өнеркәсібінде, аэроғарыштық және жартылай өткізгіш салаларда қолданылады.

VeTek Semiconductor кремний нитриді материалдарының келесі маңызды артықшылықтары бар:

1. Тамаша химиялық тұрақтылық

Кремний нитридті керамика тамаша химиялық тұрақтылыққа ие және әртүрлі күшті қышқылдарға, сілтілерге және коррозиялық газдарға төтеп бере алады. Жартылай өткізгішті өндіру процесінде жиі коррозиялық химиялық заттармен күресу қажет, кремний нитриді керамика ұзақ мерзімді тұрақты өнімділікке кепілдік бере алады.

2. Өте жақсы механикалық қасиеттер

Кремний нитридті керамика жоғары қаттылыққа, тамаша сығымдауға және тозуға төзімділікке ие, механикалық кернеуге және бетінің тозуына төтеп бере алады, деформациялануы немесе жарылуы оңай емес. Бұл механикалық қасиет оны жартылай өткізгішті жабдықтың құрылымдық және технологиялық бөліктері үшін материал ретінде өте қолайлы етеді.

3. Жоғары температура тұрақтылығы

Кремний нитридті керамика жоғары температуралы ортада тұрақтылықты сақтай алады, жұмсартуға немесе балқытуға оңай емес және жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде жоғары температурада өңдеуге және өңдеуге төтеп бере алады. Бұл оны жоғары температуралы технологиялық жабдықтың негізгі құрамдас бөліктерін, мысалы, ұстағыштар, реакциялық камера компоненттерін және т.б. өндіруде пайдалануға мүмкіндік береді.

4. Тамаша оқшаулау қасиеттері

Оқшаулау қасиеттері жартылай өткізгіш құрылғылар өндірісінде маңызды болып табылады. Кремний нитридті керамика жақсы оқшаулағыш қасиеттерге ие, олар электр тізбегінің құрамдас бөліктерін токтың ағып кетуінен немесе электромагниттік кедергілерден тиімді оқшаулап, қорғай алады, бұл құрылғының тұрақтылығы мен сенімділігін арттыруға көмектеседі.

5. Жылу өткізгіштік және жылу өткізгіштік

Кремний нитридті керамика жоғары жылу өткізгіштікке ие, құрылғы шығаратын жылуды тиімді өткізіп, тарата алады, жұмыс процесінде құрылғының температуралық тұрақтылығын сақтауға көмектеседі. Бұл жартылай өткізгіш құрылғылардың жоғары өнімді жұмысы үшін өте маңызды.

VeTek Semiconductor кремний нитриді материалдарының күн және жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолданылуы негізінен мыналарды қамтиды:

1. Электростатикалық патрондар және ою камерасының құрамдас бөліктері

Кремний нитридті керамика өте жақсы химиялық тұрақтылыққа және жоғары температураға төзімділігіне байланысты жартылай өткізгіштер өндірісінде электростатикалық патрондар мен ою камерасының компоненттері үшін материалдар ретінде жиі пайдаланылады. Электростатикалық патрондар пластиналарды немесе астарларды бекіту және тұрақтандыру үшін пайдаланылады, ал ою камерасының құрамдас бөліктері коррозиялық газдар мен жоғары температура орталарына төтеп беру үшін қолданылады.

2. газ тарату тақталары мен шағылдырғыштар

Кремний нитридті керамика газ тарату пластиналарында және шағылыстырғыштарда жартылай өткізгіш жабдықтарды өндіруде де қолданылады. Газ тарату тақталары реактивті немесе қорғаныс газдарын реакция камерасына біркелкі тарату үшін қолданылады, ал рефлекторлар реакцияның тиімділігі мен біркелкілігін жақсарту үшін реакция камерасында жарықтың таралуын және шағылуын оңтайландыру үшін қолданылады.

3. Ұстағыштар мен термиялық компоненттер

Кремний нитридті керамика көбінесе жартылай өткізгіштерді өндіру жабдықтарында ұстағыштар және жылуды басқару компоненттері ретінде пайдаланылады. Жабдықтың тұрақты жұмысын және құрылғыны өңдеу дәлдігін қамтамасыз ету үшін бұл компоненттер жақсы механикалық беріктікке, тозуға төзімділікке және жылу өткізгіштікке ие болуы керек.

4. Химиялық механикалық жылтырату (CMP) төсемдері

Кремний нитриді керамика Химиялық механикалық жылтырату (CMP) процесінде төсеніш материал ретінде кеңінен қолданылады. Ол тамаша тегістік пен тозуға төзімділікке ие және жартылай өткізгіш пластинаның бетінің тегістігі мен дәлдігін қамтамасыз ету үшін жылтырату процесінде тұрақты қолдауды қамтамасыз ете алады.