Қызметтер және ресурстар

Оңтайландыру және жаппай өндіріс

Жаңа өнімді енгізуден (NPI) жоғары көлемді өндіріске (HVM) біркелкі көшудегі ең үлкен қиындық - жүйелілік. Процесті құлыптау, SPC статистикалық процесті бақылау және далалық қайтарылған бөлшектерді терең диагностикалау арқылы біз 1000-шы өнімнің сапасы бойынша бірінші үлгіден айырмашылығы жоқ екеніне кепілдік береміз.

Жаппай өндірісті қамтамасыз ету жүйесі:

  • Үлкен сыйымдылықты CVD өндіру мүмкіндігі және біркелкі жылу өрісі:Бірнеше үлкен өлшемді, көп аймақты жоғары тазалықтағы CVD реакторлары ірі графиттік негіздерге тиімді тұндыру мүмкіндігін береді, бұл сериялы өндіріс кезінде термиялық және ағындық өрістердің өте жоғары консистенциясын қамтамасыз етеді.
  • «Көшіру-дәл» қатаң бақылау:Жаппай өндіріс валидациясынан кейін графит шикізатының партиялары, CNC өңдеу жолдары, CVD реакциясы-газ тазалығы, пештің температуралық рампасының қисықтары және камера қысымы құлыпталады, бұл партиядан партияға ауытқуды азайтады.
  • SPC статистикалық процесті бақылау:Көлемді өндіру кезінде пленка қалыңдығының таралуы, беттің кедір-бұдырлығы және кедергісі сияқты маңызды көрсеткіштерді толық процесті бақылау, деректердің толық қадағалану мүмкіндігімен негізгі параметрлерді тұрақты конвергенцияға апарады.
  • Өріске қайтарылған бөлшектердің терең диагностикасы:Төтенше жұмыс жағдайларынан қайтарылған бөлшектердің микроскопиялық диагностикасын (SEM + көлденең қимасын талдау) орындау, жергілікті тозу мен кернеудің шоғырлану нүктелерін дәл анықтау үшін тұтынушылармен бірлесіп жұмыс жасаңыз.
  • Құрылым мен процесс рецептерін динамикалық дәл баптау:Камераның тозуының нақты деректеріне сүйене отырып, ізгілікті циклды құра отырып, көзден кейінгі партиялардың қызмет ету мерзімін ұзарту үшін құрамдас геометрияны және тұндыру процесінің параметрлерін кері оңтайландырыңыз.

Нақты жағдай және тұтынушы артықшылықтары (тәжірибе):

TOPCon жетекші фотоэлектрлік ұяшық өндірушісі:Бастапқы енгізу кезінде графитті қайықтың керек-жарақтары жабынның біркелкілігіне әсер етіп, партиялар арасында пленка қалыңдығының (±15%) өзгеруін көрсетті. Біз толық технологиялық SPC мониторингін бастадық және үш маңызды процесс параметрін құлыптадық (тұндыру температурасы, газ ағынының жылдамдығы, камераның қысымы).3 апта ішінде пленка қалыңдығының біркелкі ауытқуы ±15%-дан ±3%-ға дейін тарылды.Қазір желі 200-ден астам партияға тұрақты түрде жеткізілді, партияның өту жылдамдығы тұрақты түрде 99,2%-дан жоғары, бұл тұтынушыға пластинаның сыну жылдамдығын 1,5%-ға азайтуға көмектесті.

SPC process control chart

Жиі қойылатын сұрақтар

1. Сұрақ: CVD SiC жабыны мен CVD TaC жабыны арасында қалай таңдау керек?

▼

A:Процесс температурасына және газ фазасының коррозия қарқындылығына қараңыз. Егер процесс температурасы 1000 °C-тан төмен болса және негізінен Cl₂/F₂ негізіндегі оюлауды немесе әдеттегі эпитаксиканы қамтыса, таңдаңыз.CVD SiCең жақсы құны бойынша өнімділік үшін; егер процесс температурасы 1200 °C-тан асса және қатты коррозияға ұшырайтын атмосфераны қамтыса (мысалы, SiC PVT монокристалды өсімі), біз ұсынамызCVD TaC, ол жоғары температура мен коррозияға төзімділікті ұсынады. Біз сіздің нақты процесс параметрлеріңізге негізделген таңдау бойынша тегін ұсыныс есебін ұсына аламыз.

2. С: Сіз бір бөлікті/шағын топтаманы прототиптеуді қолдайсыз ба? Жеткізу уақыты қандай?

▼

A:Иә! Кері инженерлік прототиптер үшін,MOQ 1 дана. Кәдімгі қарапайым бөлшектер үшін үлгіні алудан бастап картаға түсірілген бөлікті жеткізуге дейін ең жылдам жеткізу уақыты шамамен.10-15 жұмыс күні; күрделі жабу процестерін қамтитын бөлшектер үшін шамамен20-25 жұмыс күні. Жедел бағалау үшін инженерлерімізге хабарласыңыз.

3. С: Қолдану кезінде графит бөліктеріндегі CVD жабынының деламинациясының себебі неде? Оны шешуге бола ма?

▼

A:Деламинация жағдайларының 90%-ы графиттік субстрат пен жабынның термиялық кеңею коэффициенті (CTE) арасындағы сәйкессіздіктен туындайды, бұл жылдам қыздыру/салқындату кезінде шаршау пилингіне әкеледі. Біздің шешіміміз: алдымен бастапқы бөліктің CTE қисығын дәл өлшеңіз, содан кейін екі CTE жоғары сәйкес келетіндей субстрат тығыздығы мен тұндыру температурасының градиентін арнайы реттеңіз. Байланыстың беріктігін одан да көп жақсартуға болады1,5 есеөнеркәсіптің дәстүрлі деңгейі.

4. Сұрақ: Сіз өнімдерге CoA (талдау сертификаты) бере аласыз ба? Оған қандай деректер кіреді?

▼

A:Әрбір жөнелтілген өнім стандартты түрде жеткізіледібірегей сериялық нөмір + толық CoA есебі. Есепке мыналар кіреді: сыни өлшемді CMM тексеру деректері, көп нүктелі жабын қалыңдығын бөлу картасы, беттің кедір-бұдырлығы (Ra) мәндері және материал тазалығы (GDMS) талдау қорытындылары.

Эксклюзивті қызметіңізді қазір бастаңыз

Телефон: +86-18069220752(Тина);+86-15988690905(Сера)

Электрондық пошта: anny@veteksemi.com

X
Біз cookie файлдарын сізге жақсырақ шолу тәжірибесін ұсыну, сайт трафигін талдау және мазмұнды жекелендіру үшін пайдаланамыз. Осы сайтты пайдалану арқылы сіз cookie файлдарын пайдалануымызға келісесіз. Құпиялылық саясаты
ҚабылдамауҚабылдау