Электростатикалық Чак (ESC) дегеніміз не?

Электростатикалық Чак (ESC), сонымен қатар электростатикалық Чак (ESC, e-Chuck) деп аталады, бұл электростатикалық адсорбция принципін қолданып, адсорбцияланған материалдарды ұстау қағидасын қолданады. Ол вакуумдық және плазмалық орталарға жарамды. Оның негізгі функциясы - adsorb ultra-Жіңішке парақтарды (мысалы, кремний вафли сияқты) тазалаңыз және адсорбцияланған материалды жақсы тегісте сақтаңыз, бұл процесс кезінде адсорбцияланған материалдың деформациясын тежеуі мүмкін және ол адсорбляцияның температурасын реттей алады.

Электростатикалық Чак (ESC) - бұл электростатикалық күшті пайдалану үшін, оларды ұстап, басып, заттарды (дайындамаларды) пайдаланады. Кез-келген материал көзге көрінбейтін оң және теріс зарядтарды жүзеге асырады. Егер esc және биполярлы кернеу қосылған кезде, ESC ішкі электродтарына қолданылады, оң және теріс зарядтар ESC ішкі электродтарының полярлығын сәйкестендіру үшін оң және теріс зарядтарға ауысады. ESC және материал арасындағы бұл тартымдылық электростатикалық күш деп аталады және сонымен қатар біздің Чактардың негізгі қағидасы болып табылады.

Өнім артықшылықтары

Оның кең жұмыс температурасы бар (-50-ден 700 ₸)

Бұл электростатикалық сору шыныаяқтары керемет күш, жылу өткізгіштік және жылу соққыларына әсер етеді және NGK-тың меншікті керамикалық көлеміне төзімділігі арқылы кең температуралық диапазонға бейімделеді.

Жоғары коррозияға төзімділік

Бұл электростатикалық сору тостағандар галоген газдарына өте жақсы коррозияға төзімділігі бар.

Бөлшектердің төмендігі

Бөлшектерден төмен бөлшектерді емдеу және арнайы тазалау арқылы қол жеткізуге болады

Жоғары тазалық

99,9% немесе одан жоғары тазалығы бар өнімдер қол жетімді.

Қыздыру функциясы

Жоғары дәлдікті қыздыру элементінің ендірілу технологиясымен жылытқыш функциясымен біріктіруге болады, ал вафли температурасын ± 1% басқаруға болады.

Салқындату функциясы

Бұл электростатикалық сорғыш кубогы жоғары жылу өткізгіштіктері мен салқындатқыш плиталары бар керамикалық плиталар арқылы өте жоғары салқындатуға ие.

Радиожиілік электродасы

Металл электродтары бір уақытта тұрақты вафлиді қысқыш және радио жиіліктегі плазмалық плазмалық буын қамтамасыз ете алады.

Pарамет

1.Жартылай өткізгіш және электронды өндіріс саласында: Жартылай өткізгіш және электронды өндіріс процесінде, электростатикалық сорулар кезінде жұқа және нәзік кремний вафлиі, вафли және т.б.

2

3

4. Автоматтандырылған өндірістік желілер: Автоматтандырылған өндірістік желілерде, электростатикалық сору кубогы өндірістік желінің автоматтандыру және тиімділігі жоғарылату, өңдеу және құрастыру және т.б.