CVD TAC жабыны

TAC жабынының айналуы Сусептурациясы CVD және MBE сияқты жоғары температуралы тұндыру процестерінде негізгі рөл атқарады және жартылай өткізгіш өндірісінде вафлиді өңдеудің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Олардың арасында,TAC жабыныВафлиді өңдеу кезінде жоғары дәлдік пен жоғары сапаны қамтамасыз ететін, температураның жоғары төзімділігі, коррозияға төзімділігі және химиялық тұрақтылығы бар.

CVD TAC жабыны, әдетте, әдетте TAC жабынынан тұрады жәнеграфигісубстрат. Олардың ішінде TAC - еріген нүктелі керамикалық материал, еріген нүктесі 3880 ° C-қа дейін. Оның қатты қаттылығы (викерлер қаттылығы 2000 г.В.), химиялық коррозияға төзімділік және күшті тотығу кедергісі бар. Сондықтан, TAC жабыны - бұл жартылай өткізгішті өңдеу технологиясындағы жоғары температураға төзімді материал.

Графит субстраты жақсы жылу өткізгіштікке ие (жылу өткізгіштік шамамен 21 Вт / м / м / м / м) және керемет механикалық тұрақтылыққа ие. Бұл сипаттама графит мінсіз жабынға айналатындығын анықтайдысубстрат.

CVD TAC жабыны Күрделі жөндеу негізінен жартылай өткізгіштерді өңдеудің келесі технологияларында қолданылады:

Вафли өндірісі: Ветек жартылай өткізгіш CVD TAC жабыны жоғары температураға төзімді (еріген нүктесі 3880 ° C-ге дейін) және коррозияға төзімділікке ие, сондықтан ол көбінесе жоғары температуралы будың тұндыру процестерінде (CVD) және эпитаксиальды өсу. Өнімнің ультра жоғары температуралық тұрақтылықпен біріктірілген, бұл жабдықтың өте қатал жағдайда ұзақ уақыт жұмыс істей алатындығын қамтамасыз етеді, осылайша өндірістің тиімділігі мен вафлидің сапасын тиімді түрде жақсарта алады.

Эпитаксиалды өсу процесі: Мысалы, эпитакситтік процестердеХимиялық будың тұнбасы (CVD)және молекулалық сәулелер эпитаксиі (MBE), CVD TAC жабыны Кәдімгі рөл атқарады. Оның TAC жабыны материалдың жоғары температурада және коррозиялық атмосферада, сонымен қатар реакторлардың реактордың материалдық және коррозиясының, өндіріс процесінің дұрыстығын және өнімнің коррозиясының алдын алады.

Қытайдың жетекші CVD-та TAC TAC TAC-ті ең жақсы өндіруші және жетекші, Ветек жартылайдеттемесі сіздің жабдықтың және технологиялық талаптарға сәйкес арнайы өнімдер мен техникалық қызметтерді қамтамасыз ете алады. Біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуға шын жүректен үміттенеміз.

Микроскопиялық көлденең қимада тантал карбид (TAC) жабыны：

TAC жабынының физикалық қасиеттері：

Ол жартылай өткізгіш CVD TAC жабыны: