TAC жабыны

Ветек жартылайстағы, TACEPSPENTOR, оның ерекше тасты жабыны бар, бұл ерекше шешімдерден бөлек, оны әдеттегі жүйелерден бөлек етеді. Оның сенімді өнімділігі және сапалы TAC жабыны SIC Epitaxy процестеріне ерекше нәтиже береді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Three views of TaC coated susceptor

Ветек жартылайдюстриорының TAC in Suckceptor жәнеTAC қапталғансылдыратуLPE Silicon Carbide Epitaxial өсу реакторында бірге жұмыс істеу:

● Жоғары температураға төзімділік::TAC жабыныСусептордың жоғары температураға төзімділігі жоғары, олар 1500 ° C-қа дейін температураға төтеп бере аладыLPE реакторы. Бұл ұзақ мерзімді жұмыс кезінде жабдықтар мен компоненттер деформацияланбайды немесе бүлінбейді.

● Химиялық тұрақтылық: TAC жабыны Сусептор, коррозиялық кремний карбидінің өсу ортасында өте жақсы орындайды, реактор компоненттерін коррозиялық компоненттерді коррозиялық химиялық шабуылдан тиімді түрде қорғайды, осылайша олардың қызмет ету мерзімін ұзарту.

● Жылу тұрақтылығы: TAC жабыны Сусепторы жақсы жылу тұрақтылығына ие, бұл кремний карбидінің эпитаксилі қабаттарының жоғары сапалы өсуіне пайдалы, бұл реактордағы температура өрісінің біркелкілігін қамтамасыз етеді.

● Ластануға қарсы: Temp Temp Tain қапталған беті және жоғары TPD (температураны бағдарламаланған десорбция) өнімділігі эпитаксиальды қабаттардың ластануын болдырмайтын бөлшектер мен қоспалардың жинақталуы мен адсорбциясын азайтады.

Қорытындылай келе, TAC SUSPEPTOR және RING SUSPEPREPTOR және RINK LPE кремний карбидінің эпитаксиалды өсу реакторында, жабдықтың ұзақ мерзімді жұмысын және эпитаксиальды қабаттардың жоғары сапалы өсуін қамтамасыз етеді.