LPE реакторына арналған 8 дюймдік жартысы

Кәсіби өндіруші ретінде Ветек жартылайдюсторы сізге LPE реакторы үшін 8 дюймдік жарты бойлық бөлігін бергісі келеді.

Vetek жартылай өткізгішті LPE реакторына арналған 8 дюйм дюймдік жартысының жартысы жартылай өткізгіш өндіріс процестерінде, әсіресе SIC Epitaxial жабдықтарында пайдаланатын маңызды құрамдас бөлік болып табылады. Ветек жартылайдюсторы LPE реакторына 8 дюймдік жартысының жартысының жартысына жартысының жартысымен өндіретін және оларда 8 дюймдік жартысының бір бөлігін, біркелкі жабын және ерекше ұзақ өмір сүруді қамтамасыз ететін патенттелген технология бар. Сонымен қатар, бұл бөліктер керемет химиялық тұрақтылық пен жылу тұрақтылық қасиеттерін көрсетеді.

LPE реакторына арналған 8 дюймдік жарты бойғы бөлігінің негізгі корпусы жоғары тазалық графиттен жасалады, бұл өте жақсы термиялық өткізгіштік пен механикалық тұрақтылық береді. Жоғары сапалы графитті эпитаксиальды өсу процесінде минималды ластануды қамтамасыз ету үшін жоғары сапалы графит таңдалады. Оның беріктігі оған ЖКК реакторындағы талап етілетін жағдайларға төтеп беруге мүмкіндік береді.

Ветек жартылай өткізгіш SIC жабынды графит графиті жарты қыста бөлшектер өте дәлдікпен және егжей-тегжейге назар аударылады. Пайдаланылған материалдардың жоғары тазалығы жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары көрсеткіштер мен сенімділікке кепілдік береді. Осы бөлшектердегі бірыңғай жабындар олардың қызмет ету мерзіміне жүйелі және тиімді жұмыс істеуді қамтамасыз етеді.

Біздің SIC қапталған графит графиті жартыжылдықтың негізгі артықшылықтарының бірі - олардың керемет химиялық тұрақтылығы. Олар жартылай өткізгіштік өндіріс ортасының коррозиялық сипатына төтеп бере алады, ұзақ мерзімді беріктікті қамтамасыз етеді және жиі ауыстыру қажеттілігін азайту. Сонымен қатар, олардың ерекше жылу тұрақтылығы оларға жоғары температуралы жағдайларда құрылымдық тұтастық пен функционалды сақтауға мүмкіндік береді.

Біздің SIC қапталған графитті графитті жартыжылдық бөлшектер SIC эпитаксилі жабдықтарының қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін мұқият жасалған. Олардың сенімді жұмысымен, бұл бөліктер жоғары сапалы ӘИЖ фильмдерінің тұндыруына мүмкіндік беретін эпитаксиальды өсу процестерінің сәттілігіне ықпал етеді.

CVD SIC жабатын пленканың Кристаллдық құрылымы: