TaC жабу сақинасы

VeTek жартылай өткізгішінің TaC жабу сақинасы жоғары сапалы графиттен жасалған және тантал карбидімен (TaC) қапталған, оның жоғары қасиеттерімен танымал материал жартылай өткізгіш пластинаны өңдеуде таптырмас компонент болып табылады.

Vetek жартылай өткізгіштерінің негізгі ерекшеліктері мен артықшылықтары:

● Жоғары жылу тұрақтылығы: Тантал көмірсутекті сақинасының бір ерекшелігі - бұл жоғары температураға төтеп беру, жартылай өткізгіштің сыни факторы. SICE процесі жоғары температура мен реактивті газдардың әсерін қамтиды, ал тантал карбид жабыны сақинаның тұрақты болып қалады және осы қатал жағдайда да құрылымдық тұтастығын сақтайды. Бұл термиялық тұрақтылық құрамдас бөлігі ұзақ уақыт бойы оңтайлы орындауды жалғастырады.

●  Жақсартылған механикалық беріктік: Жоғары берік графит пен TAC жабынының тіркесімі жетілдірілген механикалық қасиеттері бар компонентке, тасты қапталған сақинаны киюге және жыртылуға өте төзімді. Оның механикалық беріктігі SIC вафлилерін өте маңызды, дәл мықтап ұстап, процесс кезінде кез-келген деформацияны алдын-алуды және алдын алуға мүмкіндік береді.

●  Химиялық коррозияға төзімділік: SiC ою сияқты жартылай өткізгіш процестерде компоненттер жиі агрессивті химиялық заттар мен реактивті газдардың әсеріне ұшырайды. Тантал карбиді жабыны коррозиядан тамаша қорғайды, сақинаның пайдалану мерзімін едәуір ұзартады және жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады. Бұл төзімділік әсіресе компоненттер химиялық реактивті заттармен үнемі байланыста болатын өрнектеу процесінде маңызды.

● Жақсартылған өнімділік үшін Superies Coatitac жабындары: Графит сақинасындағы тантал карбидінің жабыны компоненттердің жалпы өнімділігін арттыратын сенімді бетке ие. Тантал Карбиді оның жоғары балқу нүктесі үшін әйгілі (шамамен 3,880 ° C) және оның химиялық реакцияларға өте жақсы қарсылығы, әсіресе жартылай өткізгіш өндіріс процестері кезінде әдетте агрессивті ортада. Бұл тантал көмірсутегі жабыны шығарылған графикалық сақиналармен салыстырғанда жоғары беріктігін қамтамасыз ететін өнімнің қызмет ету мерзімін едәуір жақсартады.

●  Жақсартылған механикалық беріктік: Жоғары берік графит пен TAC жабынының тіркесімі жетілдірілген механикалық қасиеттері бар компонентке, тасты қапталған сақинаны киюге және жыртылуға өте төзімді. Оның механикалық беріктігі SIC вафлилерін өте маңызды, дәл мықтап ұстап, процесс кезінде кез-келген деформацияны алдын-алуды және алдын алуға мүмкіндік береді.

Жетекші TAC жабыны сақинасы ретінде Қытайда өндіруші және зауыттық, Ветек Жартылай өткізгіш дамыған TAC жабыны сақиналы өнімдері мен жартылай өткізгіш өнеркәсіптің техникалық шешімдерін ұсынуға және өнімге арналған қызметтерді қолдайды. Ветексеми шын жүректен Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеді.

TaC жабынының физикалық қасиеттері

VeTek жартылай өткізгішінің TaC Coating Ring өнім цехтары