Жартылай өткізгіш өрістегі TAC қапталған бөлшектердің нақты қолданылуы қандай?

Тантал Карбидінің (TAC) физикалық қасиеттері

Жартылай өткізгіш өрісіне тантал карбидін (TAC) қолдану

1. Эпитаксиальды өсу реактор компоненттері

TAC жабыны химиялық будың тұндыруында (CVD) кеңінен қолданылады, галлий нитридінің (gan) эпитаксиалды және кремний карбидінің (SIC) эпитаксиалды, соның ішіндевафли тасымалдаушылар, спутниктік ыдыс-аяқ, саңылаулар және сенсорлар. Бұл компоненттер жоғары температурада және коррозиялық ортада өте жоғары және тұрақтылықты қажет етеді. TAC жабыны қызмет ету мерзімін тиімді кеңейтіп, өнімділікті арттыра алады.

2. Бірыңғай кристалды өсу компоненті

SIC, gan және алюминий нитридi (AIN) сияқты материалдардың бір кристалды өсу процесінде,TAC жабыныКрюбилер, тұқымдық хрусталь ұстағыштар, бағыттаушы сақиналар мен сүзгілер сияқты негізгі компоненттерге қолданылады. TAC жабыны бар графит материалдары қоспалық көші-қонды азайтуға, кристалды сапаны жақсартуға және ақаулардың тығыздығын азайтуға мүмкіндік береді.

3. Жоғары температуралы өнеркәсіптік компоненттер

TAC жабыны төзімді қыздыру элементтері, инжекторлық саңылаулар, қорғайтын сақиналар мен бразиндік арматуралар сияқты жоғары температуралы өнеркәсіптік қосымшаларда қолдануға болады. Бұл компоненттер жоғары температуралы ортада жақсы өнімділікке ие болуы керек, ал TAC Ыстыққа төзімділігі мен коррозияға төзімділігі оны ең жақсы таңдау етеді.

4. MOCVD жүйелеріндегі жылытқыштар

TAC-қапталған графит жылытқыштары металл органикалық бумалық бумен (MOCVD) жүйелерде сәтті енгізілді. PBN-дің дәстүрлі жылытқыштарымен салыстырғанда, TAC жылытқыштары тиімділігі мен біркелкілігін, қуатты тұтынуды азайтуға және бетті эмиссияларды азайтуға, осылайша тұтастықты жақсарта алады.

5. Вафли тасымалдаушылар

TAC-қапталған вафли тасымалдаушылар үшінші буынды жартылай өткізгіш материалдарды дайындауда маңызды рөл атқарады, мысалы, SIC, AIN және gan. Зерттеулер дәлелденгендей, коррозияTAC жабындарыЖоғары температуралы аммиак пен сутегі ортасында, одан әлдеқайда төменSic жабындары, бұл оны ұзақ мерзімді пайдалануда жақсы және беріктігін жақсы көрсетеді.