Кварц газын тарату тақтасы

Quartz газ тарату тақталары, сонымен қатар кварц душаздары деп аталады, жартылай өткізгішті дайындауда маңызды компоненттер. Ерекше тазалықты, жоғары температураға төзімділікті және кварц коррозияға төзімділігін, бұл плиталардың коррозияға төзімділігін, бұл тақтайшалардың вафли бетіне технологиялық газдардың біркелкі және тұрақты ағымын қамтамасыз етеді. Бұл нақты жеткізу сақталған фильмдердің сапасы мен біркелкілігін сақтау үшін қажет.

Таза тазалығы бар кварцтың негізгі ерекшеліктері

● материал: 99,99% жоғары тазалыққа арналған кварц

● Жоғары температураға төзімділік: 1000-нан жоғары температуралар

● Коррозияға төзімділік: Технологиялық газдар мен плазмалық орталарға қарағанда керемет төзімділік

● Дәлдік газ ағыны: Газды оңтайлы жеткізу және тұндырудың біркелкілігіне арналған біркелкі микро-сіктерді бөлу

● Реттелетін дизайн: Көлемі, тесік үлгісі және монтаждау мүмкіндіктері арнайы жабдық модельдеріне бейімделуі мүмкін

Жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі рөлдер

1. Физикалық будың тұндыруы (PVD) және химиялық будың тұнбасы (CVD)

Рғының раты: ПВD және CVD процестерінде газ тарату тақтасы реактивті газдарды (мысалы,, сильан, сильан, аммиген, оммиген, оттегі) немесе прекурсорларды қажетті жұқа пленканы қалыптастыру үшін ватферге дәл бағыттайды.

Нақты пайдаланады:

● Біркелкілікті басқару: Пластинаның дәл жобаланған микро саңылаулары газдың ағуы мен концентрациясы барлық вафли бетіне біркелкі болатындығына көз жеткізеді. Бұл фильмдерді дәйекті қалыңдығы мен өнімділігімен сақтау үшін өте маңызды.

● Ластанудың алдын-алу: кварцтың жоғары тазалығы пластинаның технологиялық газдармен немесе қоспалармен реакциядан бермейді. Бұл фильмнің тазалығын сақтайды және вафли бетіне ақаулардың алдын алады.

2. Плазмалық жақсартылған химиялық будың тұнбасы (Pecvd)

Рғының раты: Pecvd-де Quartz душ қабылдағыш тек реактивті газдарды жеткізіп қана қоймайды, сонымен қатар плазмалық буынға арналған электрод ретінде жұмыс істейді.

Нақты пайдаланады:

● Плазмалық тұтану: душ қабылдағыш әдетте плазманы құру үшін радио жиілікке (RF) қуат көзіне қосылады. Плазмадағы жоғары қуатты бөлшектер газ тәріздес реактивтерінің ыдырауына ықпал етеді, төмен температурада пленкалы реактивтер.

● Жылу тұрақтылығы: Кварц керемет термиялық тұрақтылықты көрсетеді, бұл оның жоғары температуралы плазмалық ортаға төтеп беруге мүмкіндік береді. Бұл технологиялық камерада біркелкі температураны сақтауға көмектеседі, әрі қарай фильм сапасы мен консистенциясын қамтамасыз етеді.

3. Құрғатпау

Рғының раты: Құрғақ мөлшерде, газ таратушы пластинада ETCH камерасына газ тарату тақтасы реактивті газдар (мысалы,, фторлар, хлор) енгізеді.

Нақты пайдаланады:

● Эшч біркелкілік: Пластинасы вафлидің дәйекті тереңдігі мен профиліне сәйкес келетін газдардың біркелкі ағынын және концентрациясын қамтамасыз етеді. Бұл алдыңғы қатарлы жартылай өткізгіш құрылғыларға қажет нақты үлгілерге қол жеткізу үшін өте маңызды.

● Коррозияға қарсы тұрақтылық: Газдың күшті коррозиялық қасиеттері ұзаққа созылатын материалды қажет етеді. Кварцтың жоғары коррозияға төзімділігі душхананың қызмет ету мерзімін ұзартады және технологиялық үзілістер қаупін азайтады.

4. Вафли тазалау

Рғының раты: Нақты вафлиді тазалау процестерінде кварц газ тарату тақтасы тазалағыш газдарды (мысалы, o.Г., озон, аммиак) қалдықтар мен ластаушы заттарды алу үшін ватферге біркелкі жеткізу үшін қолданылады.

Нақты пайдаланады:

● Тазалау: Тазалау газдардың тазалағыш газдардың барлық бөліктеріне қол жеткізіп, мұқият және біркелкі тазалау процесін қамтамасыз етеді.

● Химиялық үйлесімділік: Кварцтың тазалағыш химиялық заттардың кең спектрімен үйлесімділігі реакциялардың алдын алады және тазарту процесінің тазалығын және тиімділігін сақтайды.