QR коды

Біз туралы
Өнімдер
Бізбен хабарласыңы
Телефон
Факс
+86-579-87223657
Электрондық пошта
Мекенжай
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай
Негізгі материалPecvd графиті қайығы(Плазмалық жақсартылған химиялық будың графиті қайық) жоғары тазалықтан жасалғанизотропты графит материалы(Тазалық әдетте ≥99.999%) және арнайы процестермен өзгертіледі (мысалы, химиялық бумен тұндыру CVD немесе беттік жабын). Жоғары тазалық графиті PECVD жүйелерінде кеңінен қолданылады, бұл электр өткізгіштік пен жоғары жылу өткізгіштікке байланысты (80 ~ 150 Вт / м / м.). ОсыЖоғары сапалы графит материалыЖоғары температуралы ортада жақсы құрылымдық тұрақтылық пен химиялық тұрақтылықты сақтай алады және реактивті газдар мен плазмадан коррозияға қарсы тұра алады.
Pecvd графиттік қайықтарының физикалық қасиеттеріне мыналар жатады:
● Электр өткізгіштік: Изостатикалық графит электрлік өткізгіштікке ие, бұл электр энергиясын тиімді басқаруға және PECVD процесінде плазманы өндіруге және техникалық қызмет көрсетуге мүмкіндік береді.
● Жылу өткізгіштік: Графиттің жоғары термиялық өткізгіштігі (шамамен 80 ~ 150 Вт / м / м.) Тұрақты температуралық ортаға тұрақты температуралық ортаны сақтауға және жұқа қабықтардың біркелкі тұндыруын қамтамасыз етеді.
● Тығыздық: Коммерциялық поликристалды графиттің тығыздығы 1,30 г / см³ 1,88 г / см³. Тығыздық неғұрлым көп болса, онда өнімнің қызмет ету мерзімін жақсарта алатын физикалық және механикалық қасиеттер.
Қарапайым графит қайықтарымен салыстырғанда, Pecvd графиті қайықтарымен салыстырғанда келесі артықшылықтар бар:
Өлшемдер
Pecvd графиті қайығы
Қарапайым графит қайық
Тазалық пен тығыздық
≥99.99%, кеуектілік <5%
Төмен тазалық (95 ~ 99%), жоғары кеуектілік (> 10%)
Құны
Жоғары бастапқы құны, бірақ техникалық қызмет көрсету құны төмен
Бастапқы құны төмен, бірақ жиі ауыстыру жалпы құнын арттырады
Ластануды бақылау
Қоспалық құрамы <1pp, бөлшектердің төмендеу жылдамдығы
Жоғары металл қоспалар, бөлшектердің ластану қаупі жоғары
Коррозияға төзімділік
Плазма / химиялық коррозиядан қорғау
Реактивті газдармен оңай бүлінген (мысалы, CL₂, O₂)
Процесс үйлесімділігі
Төмен температуралы, жоғары энергиялы плазмалық ортаға бейімделген
Тек жоғары температуралы CVD немесе диффузиялық процестер үшін жарамды
Қызмет ету мерзімі
> 1000 технологиялық цикл (жабынды сәтсіз аяқталды)
Ұнтақтау және крекинг <500 цикл
Барлығы білетініміздей, Ветексемикон жетекші өндіруші және жартылай өткізгіш жабын өнімдерін жеткізуші жәнеГрафит өнімдеріҚытайда. БіздіңPecvd графиті қайықтарыНегізінен жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өнеркәсіптерде, әсіресе Pecvd және CVD процестерінде қолданылады.
Графиттік қайықтар әдетте жоғары температуралы және плазмалық ортада қауіпсіз өңдеуді және тасымалдауды қамтамасыз ету үшін кремнийді вафлиді немесе басқа материалдарды тасымалдау үшін пайдаланылады. Мысалы, жартылай өткізгішті шығару процесінде Ветексемиконның Пексемиконның графиттік қайықтары плазмалық жақсартылған химиялық бумен тұндыру процестеріне арналған. Графит қайық кремний нитриді (Sinₓ) пассивациялар және төменгі диэлектрлік тұрақты (LOW-K) фильмдер депондау рөлін атқарады.
Photovoltaic өрісінде Pecvd графиті қайықтары кремний негізіндегі жұқа пленкалық күн батареяларын дайындау үшін қолданылады (мысалы, Amorhous Silicon A-Si: H) және Перк ұяшықтарының арқалық пассивті қабаттары. Ветексемиконның Pecvd графиті қайығы киликон вафлиді тиімді араластыру және бірыңғай жабынға тигізуге қол жеткізу үшін жабынның процесін оңтайландырады.
Ең бастысы, Ветексемикон жеке өнімдер мен техникалық қызметтерді ұсына алады және сіздің нақты технологиялық талаптарға сәйкес графикалық қайық өнімдерін жобалай және өндіре алады. Ветексемикон таңдау дегеніміз - өндіріс көшбасшысын жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік салалардағы берік күшпен таңдау. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуыңызды шын жүректен күтеміз.
+86-579-87223657
Вангда жолы, Зияг көшесі, Вуй округ, Джинхуа қаласы, Чживян провинциясы, Қытай
Авторлық құқық © 2024 Vetek Semicontustor Technology Co., Ltd. Барлық құқықтар қорғалған.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |