Кварц қайық дегеніміз не?

Кварцтық қайық - жартылай өткізгішті өндіріс процесінде қолданылатын негізгі мойынтірек компоненті, негізінен, диффузия, тотығу және тазарту сияқты вафлиді жоғары температурада өңдеу үшін қолданылады. Оның керемет жылу тұрақтылығы, ластану сипаттамалары мен коррозияға төзімділігі оны жартылай өткізгіш өнеркәсіпте ажырамас материал етеді. Бұл мақала кварцтық қайық пен Pecvd графиті қайық арасындағы материалдар, физикалық қасиеттер, жіктеу, қолдану сценарийлері мен айырмашылықтарында әзірленеді.

Ⅰ. Кварц қайықының материалы

Кварц тасымалдаушысының негізгі компоненті - бұл жоғары тазалық кремний диоксиді (SiO₂), ал тазалығы әдетте 99,99% -дан асады (жартылай өткізгіштік). Бұл жоғары тазалық кварц материалы кварц тасымалдаушысының вафлидегі металл қоспалардың ластануын азайту үшін жартылай өткізгішті шығару кезінде қоспаларды енгізбейтінін қамтамасыз етеді.

Дайындық процесіне сәйкес, кварц материалдарын екі санатқа бөлуге болады:

● Табиғи кварц: Hydroxyl мөлшері жоғары (шамамен 100-200 бет / мин), төмен шығындар, бірақ жоғары температураға дейін төмендетілген кристалды тазартудан жасалған.

● Синтетикалық кварц: Химиялық бумен тұндыру (CVD) немесе электрофузия, төмен гидроксил (-OH), жақсы термиялық тұрақтылықпен және жоғары температуралы тұрақтылыққа сәйкес келеді және жоғары температуралы процестерге жарамды (тотығу және диффузия).

Сонымен қатар, кейбір кварцтық қайықтар даформацияға төзімділікті жақсарту үшін титан (Ti) немесе алюминий (Al) сияқты металдармен, немесе ультрафиолет процестерінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін түзетіледі.

Ⅱ. Кварц қайықтарының негізгі физикалық қасиеттері қандай?

● Жоғары температураға төзімділік: Кварцтың балқу нүктесі 1713 ° C-тан жоғары, және ол ұзақ уақыт бойы 1200 ° C деңгейінде жұмыс істей алады және қысқа уақыт ішінде 1500 ° C-қа қарсы алады.

● Төмен термиялық кеңейту коэффициенті: Жылу кеңею коэффициенті тек 0,55 × 10 және ° C құрайды. Бұл керемет өнімділік жоғары температурада өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді және жылу кернеуіне байланысты крекингтен аулақ болады.

● Химиялық инерстік: Гидрофланың қышқылын қоспағанда, ыстық фосфор қышқылынан басқа, кварц берік қышқылдар, күшті қышқылдар, күшті сілтілер және ең коррозиялық газдар (мысалы, CL₂, O₂) қарсы тұрады.

● Электр оқшаулау: Қысылып, плазмалық процестің электр өрісін тарату кедергілерінен аулақ болу.

● Жеңіл жіберу: Жеңіл жұмыс істеуге жарамды (мысалы, ультракүлгін емдеу) үшін, инфрақызыл топқа ультракүлгін ультракүлгін ультрадыбыстық таратқыш (90%).

Iii. Кварц қайықтарының жіктелуі

Әр түрлі дизайнерлік құрылымдар мен пайдалану сценарийлеріне сәйкес, кварцтық қайықтарды келесі санаттарға бөлуге болады:

● көлденең кварц қайық

Тотығу, диффузия, тазарту және басқа процестер үшін қолданылатын көлденең түтік пеші (көлденең диффузиялық пеш) үшін қолданылады.

Ерекшеліктері: әдетте ашық немесе жартылай жабық дизайнмен 100-200 вафлиді тасымалдай алады.

● Тік кварц қайық

LPCVD процестері, тотығу және тазарту процестері үшін қолданылатын тік пештерге (тік пешке) қолданылады.

Ерекшеліктері: Құрылымның көп бөлігі, вафлидің тасымалдану қабілетін арттыруға және процесс кезінде бөлшектердің ластануын азайтуға болады.

● Реттелген кварц қайық

Әр түрлі технологиялық талаптарға сәйкес жасалған, бір вафли қолдауы немесе арнайы қысқыш құрылымы вафлиді өңдеудің әсерін оңтайландыру үшін пайдаланылуы мүмкін.

Қытайда жетекші кварцтың қайық өндірушісі және жеткізушісі ретінде,Ветексемикон сіздің нақты қажеттіліктеріңізге сәйкес кварцтың тасымалдаушы өнімдерін жобалай және өндіре алады. Өнім туралы қосымша ақпарат алу үшін:

Iv. Жартылай өткізгіш өндірісіндегі кварц қайықының қосымшасы қандай?

Кварцтық қайықтар жартылай өткізгіш өндірісінің көптеген негізгі процестерінде кеңінен қолданылады, негізінен келесі қосымшалар сценарийлері:

4.1 Жылу тотығу

● Процес сипаттамасы: вафли кремний диоксиді (SiO₂) пленкасын қалыптастыру үшін жоғары температуралы оттегі немесе су буының ортасында қызады.

● Кварц қайықының ерекшеліктері:

1) Жоғары температура, 1000 ~ 1200 ° C жоғары температураға төтеп бере алады.

2) химиялық инерстер, кварциялық қайықтар қатты қышқылдарға, күшті сілтілерге және коррозиялық газдарға төзімді, сондықтан ол оксид қабығының сапасына әсер етуі мүмкін.

4.2 Диффузиялық процесс

● Процес сипаттамасы: қоспалар (мысалы, фосфор және бор) допинг қабатын қалыптастыру үшін жоғары температуралы жағдай бойынша кремний вафлиіне таратылған.

● кварцтың қайық ерекшеліктері:

1) Төмен ластану, металл ластануының допинг концентрациясын тигізетін мөлшеріне әсер етуі мүмкін.

2) термиялық тұрақтылық, жылу кеңею коэффициенті бар, тек 0,55 × 10⁻⁶ / ° C, біркелкі диффузиялық процесті қамтамасыз етеді.

4.3 Қуыру процесі

● Процес Сипаттама: Жоғары температуралы өңдеу стрессті жою үшін пайдаланылады, материалдық кристалды құрылымды жақсартады немесе иондық имплантация қабатын іске қосыңыз.

● кварцтың қайық ерекшеліктері:

1) Ерушемді нүктемен 1713 ° C-тан жоғары, ол термиялық стресстен туындаған крекингтің алдын алу үшін тез қызып, салқындатуға төтеп бере алады.

2) біркелкі жылытуды қамтамасыз ету үшін нақты мөлшерде бақылау.

4.4 Төмен қысымды химиялық будың тұнбасы (LPCVD)

● Процес сипаттамасы: Төмен қысымды ортада, мысалы, кремний нитриді (SI₃N₄) сияқты біркелкі жұқа пленка газ фазасы реакциясы арқылы пайда болады.

● Кварц қайықының ерекшеліктері:

1) Тік пештің түтіктері үшін қолайлы, пленкалар тұндыруды оңтайландыруға болады.

2) бөлшектердің аз ластануы, кинофильм сапасын жақсарту.

Ⅴ. Кварцтық қайық пен Pecvd графиті қайықының арасындағы айырмашылықтар қандай?

Типтік айырмашылық сценарийлері:

● Pecvd процесі: Графит қайықтары олардың өткізгіштігіне байланысты плазмалық біркелкілікті оңтайландырады және төмен температуралық ортада кварцтың жоғары температуралық өнімділігін қажет етпейді (300-400 ° C).

● Жоғары температуралы тотығу пештері: Ветексемикон кварцтық қайықтары олардың жоғары температураға төзімділігі үшін алмастырылмайды, ал графит камераны ластайтын оттегі ортасында ко / Co₂ жасау үшін тотығады.