Кеуекті кремний карбиді (SIC) керамикалық плиталар: жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары өнімді материалдар

Ⅰ. Кеуекті Sic керамикалық табақ дегеніміз не?

Кеуекті кремний карбидті керамикалық табақ - бұл арнайы процестер бойынша кремний карбидінен (SIC) жасалған кеуекті құрылымы (мысалы, көбіктену, 3D басып шығару немесе тері жамылғысы). Оның негізгі ерекшеліктері:

● Бекітілетін кеуектілік: 30% -70% әр түрлі қолдану сценарийлерінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін реттеледі.

● Тері тесігінің біркелкі мөлшері: Газ / сұйықтықтың берілуінің тұрақтылығын қамтамасыз ету.

● Жеңіл дизайн: жабдықтың энергиясын тұтынуды азайту және пайдалану тиімділігін арттыру.

Кеуекті сиктік керамикалық плиталардың физикалық қасиеттері мен пайдаланушылық мәні

1. Жоғары температураға төзімділік және жылу менеджменті (негізінен жылу жеткіліксіздігінің жабдықтарын шешу үшін)

● Төтенше температураның төзімділігі: Үздіксіз жұмыс температурасы 1600 ° C-қа жетеді (алюминий керамикасынан 30% жоғары).

● Жоғары тиімділік термиялық өткізгіштік: Жылу өткізгіштік коэффициенті 120 Вт / (Мықты), жылдам жылуды тарату сезімтал компоненттерді қорғайды.

● Ультра төмен жылу кеңеюі: Жылу кеңею коэффициенті тек 4,0 × 10⁻⁶ / ° C, жоғары температурада жұмыс істеуге жарамды, жоғары температураның деформациясын тиімді болдырмайды.

2. Химиялық тұрақтылық (коррозиялық ортадағы техникалық қызмет көрсету шығындарын азайту)

● Күшті қышқылдар мен сілтілерге төзімді: HF және H₂SO₄ сияқты коррозияға ұшырайды

● Плазмалық эрозияға төзімді: Құрғақ мөлшердегі жабдықтардың өмірі 3 еседен астамға артты

3. Механикалық беріктік (жабдықтың өмірі)

● Жоғары қаттылық: Mohs қаттылығы 9,2-ге дейін, тозуға төзімділік тот баспайтын болаттан жақсы

● Иілу күші: 300-400 МПа, вафлиді қолдайтын вафли

4. Кеуекті құрылымдарды функционалдандыру (процестің кірістілігін арттыру)

● Біркелкі газ тарату: CVD технологиялық пленкалық формасы 98% дейін ұлғайтылды.

● Адсорбциялық бақылауды бақылау: Электростатикалық Чактың (ESC) орналасу дәлдігі ± 0,01М.

5. Тазалық кепілдігі (жартылай өткізгіштік стандарттарға сәйкес)

● Нөлдік металды ластану: тазалық> 99,99%, вафли ластанудан аулақ болыңыз

● Өздігінен тазалау сипаттамалары: Микропоралы құрылым бөлшектердің тұнбасын азайтады

Iii. Жартылай өткізгіш өндірістегі кеуекті SIC плиталарының төрт негізгі қосымшасы

1-сценарий: Жоғары температуралы технологиялық жабдық (диффузиялық пеші / тазарту пеші)

● пайдаланушының ауырсыну нүктесі: Дәстүрлі материалдар оңай даформацияланады, нәтижесінде вафли

● Шешім: Тасымалдаушы табақ ретінде ол 1200 ° C-қа дейін тұрақты жұмыс істейді

● Деректерді салыстыру: Жылулық деформация алюминийден 80% төмен

2-сценарий: химиялық будың тұнбасы (CVD)

● пайдаланушының ауырсыну нүктесі: Біркелкі емес газ тарату фильмнің сапасына әсер етеді

● Шешім: Кеуекті құрылым реакцияның реакциясы 95% құрайды

● Өнеркәсіп жағдайы: 3D флэш-жадына жағылады

3-сценарий: Құрғаттайтын жабдық

● пайдаланушының ауырсыну нүктесі: Плазмалық эрозияRTENS компоненттерінің өмірі

● Шешім: Плазмалық көрсеткіштер техникалық қызмет көрсету циклын 12 айға дейін созады

● шығын тиімділігі: Жабдық жұмыс уақыты 40% -ға азайды

4-сценарий: Вафлиді тазарту жүйесі

● пайдаланушының ауырсыну нүктесі: Қышқыл және сілтілі коррозияға байланысты бөлшектерді жиі ауыстыру

● Шешім: HF қышқылына төзімділік қызмет мерзімі 5 жылдан асады

● Тексеру деректері: Күшті сақтау бағамы> 1000 тазалау циклынан кейін 90%

Iv. Дәстүрлі материалдармен салыстырғанда 3 негізгі іріктеу артықшылығы

V. Салалық пайдаланушылар үшін FAQ

1-сұрақ: галлий нитриді (GAN) құрылғысын өндіруге қолайлы кеуекті Sic керамикалық тақтайы ма?

Жауап беру: Иә, оның жоғары температураға төзімділігі және жоғары жылу өткізгіштігі әсіресе ган эпитаксиальды өсу процесіне жарамды және 5G базалық станциясының чипін өндіруге қатысты.

Q2: Кеоректік параметрін қалай таңдауға болады?

Жауап беру: Қолданба сценарийіне сәйкес таңдаңыз:

● Газды таратупион: 40% -50% ашық кеуектілік ұсынылады

● Вакуумдық адсорбция: 60% -70% жоғары кеуектік ұсынылады

3-сұрақ: Басқа кремний карбидінің керамикаларымен қандай айырмашылық бар?

Жауап беру: Тығызмен салыстырғандаСиктік керамика, кеуекті құрылымдар келесі артықшылықтарға ие:

● 50% салмақты азайту

● белгілі бір бетінің аймағында 20 есе өседі

● Жылу күйзелісінің 30% төмендеуі