Вафлиді өңдеу Эфектор

Вафлиді өңдеу Эффектор - бұл әдетте жартылай өткізгіш өнеркәсіп үшін арнайы жасалған робот қолының түрі, әдетте, өңдеуге және беруге арналғанвафли. Вафлилердің өндірістік ортасы өте жоғары тазалықты қажет етеді, өйткені ұсақ бөлшектер немесе ластаушы заттар өңдеу кезінде чиптердің істен шығуына әкелуі мүмкін. 

Керамикалық материалдар осы қолдардан олардың физикалық және химиялық қасиеттеріне байланысты кеңінен қолданылады.

Тазалық және құрамы

Алюминийдің тазалығы әдетте ≥99,9%, ал металл қоспалар (мысалы, MO, мысалы, MO, CAO, SiO₂) плазмалық илемдеудің кедергі жасау үшін 0,05% -дан 0,8% -ға дейін бақыланады.

α-фазалық алюминий (корандұм құрылымы) - бұл кристалл типі тұрақты, тығыздығы тығыздық 3,98 г / см³, ал қысылғаннан кейінгі нақты тығыздық - 3,6 ~ 3,9 г / см³.

Механикалық меншік

Қаттылық: Mohs қаттылығы 9 ~ 9.5, Викерлердің қаттылығы 1800 ~ 2100 г.В., тот баспайтын болаттан және қорытпадан жоғары.

Иілу күші: 300 ~ 400 МПа, ол вафлидің жоғары жылдамдықпен күресу механикалық күйзелісіне төтеп бере алады.

Серпімді модуль: 380 ~ 400 GPA, қолмен жұмыс істеп тұрғанын және Деформациядан оңай емес екеніне көз жеткізу үшін.

Жылу және электрлік қасиеттер

Жылу өткізгіштік: 20 ~ 30 Вт / (Мықты), тұрақты оқшаулау (төзімділік> 10¹⁴ 10¹⁴).

Температураның төзімділігі: Ұзақ мерзімді пайдалану температурасы 850 ~ 1300 ℃, вакуумға арналған жоғары температура ортасына дейін жетуі мүмкін.

Беттік сипаттама

Беттің кедір-бұдырлығы: Raf 0.2μм (жылтыратқаннан кейін) вафли сызаттарын болдырмас үшін

Вакуум адсорбциясының кеуектілігі: Изостатикалық басу арқылы, кеуектілік <0,5% қол жеткізді.

Екіншіден, құрылымдық дизайн ерекшеліктері

Жеңіл және күшті оңтайландыру

Біріктірілген қалыптау процесін қолдана отырып, салмағы металл қолдың тек 1/3 бөлігі ғана, инерция туындаған орналасу қатесін төмендетеді.

Соңғы эффектор гриппер немесе вакуумдық сіңіргіш ретінде жасалған, ал контакт беті 710 вафлидің 710 электростатикалық адсорбциясын ластамас үшін антистатикалық жабынмен қапталған.

Ластану кедергісі

Жоғары сапалы алюминий химиялық инертті, металл иондарын шығармайды және жартылай F47 тазалық стандартына сәйкес келмейді (бөлшектердің ластануы <10 PPM).

Үшіншіден, өндірістік процеске қойылатын талаптар

Қалыптастыру және біршама

Материалдың тығыздығын қамтамасыз ету үшін изостатикалық басу (қысым 200 ~ 300 МПа)> 99,5%.

Жоғары температура (1600 ~ 1800 ℃), дәнді өлшемді бақылау, 1 ~ 5 мкм, күш пен қаттылық.

Дәлдік техника

Гауһар ұнтақтауды өңдеу, өлшемді дәлдік ± 0,01 мм, тегіс, тегі 0,05мм / м

Жартылайон Өнімдер дүкендері: