Жартылай өткізгіштік керамикалық саптама

Жартылай өткізгіш керамикалық саптама маңызды рөл атқарадыHDP-CVD процесі, газ ағынын дәл бақылау және қамтамасыз ету үшін қолданыладыЖоғары сапалы пленкалар. Керамикалық саптама спрейі газ реакция камерасына түскен кезде ықтимал турбуленттілікті азайту үшін тұрақты және басқарылатын газ ағынының жылдамдығын қамтамасыз ету үшін дәл жасалған.

Техникалық сипаттамалар:

1. материалдық құрам:

VeTeK жартылай өткізгіш Керамикалық құмды үрлеу саптамалары әдетте алюминий оксиді (Al2O3) сияқты жартылай өткізгіш керамикадан жасалады,Кремний карбид (SIC), немесе цирконий оксиді (ZrO2), бұл материалдар тамаша қасиеттерге ие:

    • Жоғары жылу тұрақтылығы (1000 ℃ жоғары температураға төтеп бере алады)

    • қолданылатын реактивті газдар арқылы коррозияға төзімділікCVD процестері(силан, аммиак сияқты)

    • үздіксіз плазмалық әсерге төзімділік.

2. Құрылымдық жобалау:

    • Саңылау өлшемі: Жартылай өткізгіш керамикалық саптаманың тесігі газ ағынын дәл басқаруға мүмкіндік беретін ғылыми жобаланған, бұл өз кезегінде пленканың біркелкілігі мен қалыңдығына әсер етеді.

    • Бұрыштар мен геометриялар: тұндырылған қабаттағы ақауларды азайтып, субстрат бойынша газдың біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін дәл жасалған.

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде жартылай өткізгіш керамикалық жарылыс саптамалары ең алдымен HDP-CVD процесінде маңызды рөл атқарады. Олар сонымен қатар микроэлектроника өндірісі үшін жұқа пленкаларды тұндыру үшін қолданылады, бұл біркелкі және ластаушы заттарсыз жоғары сапалы беткі жабындарды қамтамасыз етеді.

Ветек жартылай өткізгіштік керамикалық сапа дүкендері: