Вакуумдық чак

Қолдану: 

Вакуумның жоғары тиімділігі вакуумдық шұңқырлар вафлиді және құймаларды нақты бекіту үшін дайындалған. Ол қолайлы жағдайларға, сонымен қатар жартылай өткізгіштерді, вафлиді кесу, дәл өңдеу, жоғары температуралы эпитактивті, иондау және ион имплантациясы.

Негізгі параметрлер:

● Реттелетін кеуектілік (10-дан 20000 мкм).
● Ультра - жоғары температураны (v1600 ° C-қа дейін) қарсы алуға қабілетті және керемет термиялық кедергіні көрсетуге қабілетті.
● adsorction вакуумы: стандарт - 90 кпа (100 кпаға жету үшін теңшелетін).

● Сору шыныаяқтың өлшемдері: 4/6/8/12 - дюймдік вафлиді қолдайды, ал құймалы мөлшері белгілі бір қажеттіліктерге сәйкес бейімделуге болады.

Ⅰ. Түсіндірме

Ветексемикон керамикалық вакуумдық Чак кеуекті керамика мен металл сақинаның аралас құрылымын қолданады. Ауа арналары мен тері тесігін жеке дизайны арқылы, ол адсорбция күші мен жоғары тұрақтылықты да түсінеді. Бұл Чак жартылай өткізгішті, вафлиді кесуге, дәл өңдеуге, дәл өңдеуге және т.б. үшін сәйкес келеді. Ол жоғары температуралы және жоғары жылдамдықты қозғалыс параметрлерінде жұмыс істей алады және әр түрлі мөлшердегі вафли / құймалардағы үйлесімділік талаптарына сәйкес келеді.

Ⅱ. Негізгі құрылымы және материалдық артықшылықтары

Көп қабатты композициялық орналасу:

✔ беттік қабаты: Кеуекті керамикадан жасалған (кеуекті кремний карбиді немесе кеуекті графитті таңдауға болады). Тері тетігі диаметрі түзетілуі мүмкін (10 - 200 мкм), бұл адсорбциялық күш вафлидің бетіне біркелкі аударылатынына кепілдік береді, осылайша жергілікті стресстің алдын алады.

✔ Матрица: Құрылымдық тіреуіш және ауа өткізбейтінді ұсынатын жоғары қатаң металл жақтаудан (тот баспайтын болаттан немесе алюминий қорытпасынан) тұрады.

✔ әуе жолдары мен тері тесігі: Дәл өңделген ішкі ауа жолдары біркелкі аралық микропорельдермен қатар желіні құрайды. Бұл орнату тез вакуумды өндіруді қолдайды (адсорбция күші - 90 км) және лезде шығару.

Ⅲ . Салыстыру MAТерлиалдық сипаттамасы

1. Материалдық қасиеттерді салыстыру

2. Қолдану сценарийлері және істер

✔ Жартылай өткізгіш Fabricatio

Эпитаксиальды өсім: ол жоғары температурада мықтап адсорбамен мықтап, вафлиді ластанған және ластанудың алдын алады.

Литография және Ичинг: Бұл графикалық туралаудың дәлдігін қамтамасыз ете отырып, жоғары жылдамдықты қозғалмалы платформаларда (Qw10G) дәл орналастыруға мүмкіндік береді.

✔ Құқық өңдеу

Кесу және тегістеу: ол ауыр құймаларды (мысалы, сапфир және кремний және кремний сияқты - карбид құймалары), дірілге байланысты жиектерді азайтуы мүмкін.

✔ Ғылыми-зерттеу және арнайы технологиялар

Жоғары температуралы тазарту: кеуекті кремний - карбидінің сору кубогы 1600 ° C-тан 1600 ° C температурада деформациясыз немесе желдетусіз үздіксіз жұмыс істей алады.

Вакуумдық қаптау: Ауаның жоғары - тығыздығы бар дизайны бар, ол PVD / CVD қуыс ортасына бейімделе алады.

3. Реттелген қызмет

✔ Біз мөлшері мен салмағы үшін баптауды ұсынамыз.

✔ Стомата мен әуе жолын нақты талаптарға сай оңтайландыруға болады.

✔ Оны арнайы орталарға бейімдеуге болады.

Ⅳ. ЖИІ ҚОЙЫЛАТЫН СҰРАҚТАР:

Вакуумдық Chucks көп өлшемді вафлиге қалай қол жеткізеді (мысалы, 12/8/6 »)?

С: Бір уақытта бір саты қалай жарасады? Физикалық қайта құрылымдау қажет пе?

Ж:Бейімделгіш ауа жолы және стоматалды бөлу арқылы көп өлшемді үйлесімділік:

✔ Динамикалық стоматикалық бақылау: Сорғыштың бетіне стомата ринг аймағында таратылады, ал әртүрлі аймақтардағы ауа тізбегіне сыртқы клапан басқарылады.

Мысалы, 8 дюймдік вафлиді сіңірген кезде, тек орталық аймақтағы тері тесігі қосылған және сыртқы тері тесігі жабылады (адсорбция күшінің ағуын болдырмау үшін).

✔ Иілгіш әуе жолы дизайны: Порт желісінде бірыңғай өлшемдегі вафлидің жиектеріне сәйкес келетін модульдік орналасу бар, ол бірыңғай адсорбция күшін қамту үшін әртүрлі мөлшердегі борыштарға сәйкес келеді. жіне Артықшылықтары келесідей:

НҰСҚАУЛЫҚ ЖАБДЫҚТАРДЫ ҚАБЫЛДАУ: Сору кубогын алып тастаудың немесе ауыстырудың қажеті жоқ, бағдарламалық жасақтама немесе газ клапанының қосқышы арқылы әр түрлі өлшемдерге бейімделуі мүмкін.

Шығындарды үнемдеу: жабдықты жаңарту шығындары мен үзілістерін азайтыңыз және өндіріс сызығының икемділігін арттырыңыз.