Керамикалық электростатикалық Чак

Жартылай өткізгіш өндіріс процестері, әсіресе вафлиді өңдеу, вакуумдық ортада жүргізіледі, ал механикалық қысқыштығы бар 

белгілі бір тәуекелдер. Қысқыш нүктеге дейін күшейген кезде, сынғыш кремний вафлиі ұсақ фрагменттерді төгуге, вафли өндірісіне елеулі зиян келтіре алады.

Бұл жағдайда керамикалық электростатикалық Чак электростатикалық күшпен вафлиді бекітетін жақсырақ таңдау болады. Электростатикалық күш вафалда біркелкі әрекет етеді, сондықтан вафлиді процестің дұрыстығын арттырады.

Тиісті ғылыми жұмыстарға сәйкес, керамикалық электростатикалық Чак басқа электростатикалық Чактарға қарағанда күшті соруды күшейтеді. Мысалы, керамикалық электростатикалық Чак үй жануарларының пленкулостатикалық электростатикалық Чактардан әлдеқайда күшті сорулары көп.

Керамика Чак әдетте AL2O3, ALN немесе SIC сияқты жоғары сапалы керамикалық материалдардан жасалған, ол жоғары ыстыққа төзімділігі, оқшаулау және коррозияға төзімділігі жоғары. Кеуекті Sic Ceram Cheric Cherce тек температурада ғана емес, сонымен қатар керамикалық электронды Чакты өндірістік процестер мен плазманың арқасында деградациядан сақтайды.

Температураны бақылау: Керамикалық материалдардың жоғары жылу өткізгіштігі және тұрақты жылулық қасиеттері алюминий керамикалық вакуумды, температураны тиімді басқаруға мүмкіндік береді, осылайша процесс кезінде температураны оңтайландыруға мүмкіндік береді.

Вакуумдық бейімделу: Керамикалық электростатикалық Чак вакуумдық ортаға, әсіресе төмен қысыммен және жоғары дәлдіктегі процестерде жарамды.

Бөлшектердің төмен деңгейі: Кеуекті Sic Ceram Cerame e-Chuck-тің тегіс беті бар, бұл вафлиді бекіту кезінде бөлшектердің ластануын азайтады және өнімнің шығымдылығын арттыруға көмектеседі.

Өтінім: негізінен жартылай өткізгіш өндірісінде, шешілетін керамикалық электростатикалық хакта қолданылады, бұл литография, итермелеу және басқа жартылай өткізгіштер үшін өте пайдалы өндірістік процестер үшін өте пайдалы. Вафлиді өңдеу кезінде сақтап, чип өндірісінің сапасын жақсартуды қамтамасыз етіңіз.

Ол жартылай өткізгішКерамикалық электронды Чак өндірісі дүкендері: