Алюминий нитридті керамикалық диск

Ветек жартылай өткізгіш алюминий Нитридті керамикалық плиткалар - бұл жоғары жылулықпен қамтамасыз етілген идеалды оқшаулағыш-керамикалық бұйым, жоғары термиялық коэффициенті, жоғары температурасы, жоғары температурасы, химиялық коррозияға төзімділік, жоғары төзімділік және диэлектрлік шығындар. Алюминий нитридтік керамика улы бериллий оксидін ауыстыра алады және электроника саласында кеңінен қолданылады.

Өнімділіктің артықшылығы:

Алюминийлі керамикамен салыстырғанда, алюминий нитридімен салыстырғанда 100 градус, жылу өткізгіштікке, жылу өткізгіштік 170 Вт / м.к., алюминий оксидінің жылу өткізгіштігі шамамен 15-35 Вт / (Мықты), аллюминий нитриді алюминий оксидінен 5 еседен асады.

Алюминий нитридті керамикалық материалдың қаттылығы, әдетте, алюминий нитридтік керамиканың қаттылығы, жартылай өткізгіш қаптамада, әдетте, алюминий нитридті керамикалық кесектер жақсы жылулық, термиялық өткізгіштік тақтайшамен және механикалық берікті жақсарту үшін алюминийге арналған керамикалық кесе қолданылады.

Мұндай керамика түріндегі сызықтық кеңейту коэффициенті, әдетте, 4-тен 5 × 10 ^ аралығында болады^-6/ ℃, бұл оны металл материалдардың кеңею коэффициентімен сәйкестендіреді, стресстің ұрпағын азайтуға көмектеседітемператураның өзгеруінен туындаған ермальды стресс.

Сонымен бірге, алюминий нитридті керамиканың иілгіш күші әдетте 300-ден 700 МПа аралығында, бұл циркония мен алюминий сияқты көптеген керамикалық материалдардан жоғары.

Температура тұрғысынан алюминий нитридті керамика жоғары температуралы ортада тұрақты жұмыс істей алады және оны қолдану температурасы 1500 ℃ дейін жетеді, бұл жоғары температура процестері мен қосымшаларға сәйкес келеді.

Инертті газдарға төзімділігімен қатар, алюминий нитрифидті керамикалық дискілердің химиялық тұрақтылығы және қышқылдар мен сілтілер сияқты коррозияға ұшыраған бұқаралық ақпарат құралдарына жоғары қарсылық көрсетіледі, олар химия өнеркәсібінде кеңінен қолданылады.

Алюминий нитридті керамикалық диск жоғары төзімділікке ие, әдетте, 10 ^ арасында¹⁴және 10 ^¹⁵Электр оқшаулау қасиеттері қажет болған жағдайлар үшін қолайлы болатын жағдайлар. Алюминий нитридтік керамикада өте төмен диэлектрлік шығынға ие, демек, энергия шығынын диэлектрлік қосымшаларда азайтуға болады.

Қолдану аймағы:

Жартылай өткізгіш қаптамасы: қуат модульдері үшін (мысалы, IGBTS), жоғары қуатты чиптік тасымалдаушылар, қатты күйдегі тасымалгерлер, қатты күйдегі реляцтер және т.б., 3410 жылуды қамтамасыз ету.

Электрондық субстрат: Жіңішке қабат / қалың пленкалық схема тақтасы ретінде, жоғары дәлдікті өңдеуге қолдау көрсетіңіз (мысалы, 0,3 мкм бетінің кедір-бұдыры) 410.

RF / микротолқынды құрылғылар: төмен диэлектрлік шығындар (Tanδ ≤3 × 10⁻⁴, 1MHz) сипаттамалары Жоғары жиілікті схема үшін қолайлы 1018.

Басқа өнеркәсіптік сценарийлер: мысалы, вакуумды жабатын жабдық бөлшектері, хиг

Өңдеу және теңшеу қызметтері

Дәлдік өңдеу: кесу, бұрғылау, тегістеу, жылтырату, жылтырату (жер бетіндегі кедір-бұдырғы val 0,3 мкм) және арнайы жасалған арнайы пішінді құрылымы 410.

Беттік өңдеу: Ынталған субстрат беттік тегістігін жақсарту үшін қайта өңдеуге болады (мысалы, 30 микроинча RA-дан 1 микроинч) 4.

Ол жартылай өткізгішАлюминий нитридті суамдық дискілердің дүкендері: